热处理装置和热处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及热处理领域，公开了一种热处理装置和热处理方法，所述热处理装置包括：热处理腔室(1)，所述热处理腔室设置有加热件；分隔件(2)，所述分隔件将所述热处理腔室分隔为缓冲室(12)和加热室(11)，所述分隔件具有导通所述加热室和所述缓冲室的导通位置和分隔所述加热室和所述缓冲室的分隔位置；以及载物台(10)，所述载物台能够在所述热处理腔室内移动，其中，当所述分隔件处于所述导通位置时，所述载物台能够在所述加热室和所述缓冲室之间切换。本发明专利技术所提供的热处理装置的操作简单，且可精确、稳定实现工件的加热、冷却，有助于获取更加准确的试验数据，提高产品质量。

Heat treatment device and method

The invention relates to the field of heat treatment, and discloses a heat treatment device and a heat treatment method. The heat treatment device comprises a heat treatment chamber (1), which is provided with a heating element, a separator (2), which divides the heat treatment chamber into a buffer chamber (12) and a heating chamber (11), and the separator has a conducting position for conducting the heating chamber and the buffer chamber. The separating position of the heating chamber and the buffer chamber is separated, and the carrier table (10) can move in the heat treatment chamber, where the carrier table can switch between the heating chamber and the buffer chamber when the separator is in the conducting position. The heat treatment device provided by the invention has simple operation, can accurately and stably realize the heating and cooling of the workpiece, and is helpful to obtain more accurate test data and improve product quality.

【技术实现步骤摘要】
热处理装置和热处理方法
本专利技术涉及热处理领域，具体地涉及一种热处理装置和热处理方法。
技术介绍
随着LTPSOLED(LowTemperaturePoly-siliconOrganicLight-EmittingDiode，低温多晶硅有机发光二极管)技术的快速发展，LTPSOLED显示器所使用的玻璃基板及柔性LTPSOLED用载板玻璃要求具有良好的热收缩性能。研究热收缩性能时，精确的热处理过程是保障研究成果的重要前提，进行热处理过程中的升温、冷却步骤的装置和方法必须能够精确的符合预设的热处理要求。传统中，通常使用加热炉(包括方形加热炉、管式加热炉等)来进行玻璃基板的热处理，但是这种热处理方法存在以下问题：一、现有方形加热炉加热空间较大，容易受外界影响，导致炉内温度不稳定、不均匀，现有管式加热炉的加热有效区空间较小、受外界影响较小，然而，管式加热炉的加热装置一般为硅钼棒或加热管外缠绕铂铑丝，硅钼棒热点集中，加热区温度不均匀，而加热管外缠绕铂铑丝的方式，存在铂铑丝易高温氧化的问题，使用寿命较短；二、传统中加热炉的升温速度和降温速率不可控，尤其是降温过程受环境影响较大，并且在放置和取出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括：热处理腔室(1)，所述热处理腔室(1)设置有加热件；分隔件(2)，所述分隔件(2)将所述热处理腔室(1)分隔为缓冲室(12)和加热室(11)，所述分隔件(2)具有导通所述加热室(11)和所述缓冲室(12)的导通位置和分隔所述加热室(11)和所述缓冲室(12)的分隔位置；以及载物台(10)，所述载物台(10)能够在所述热处理腔室(1)内移动，其中，当所述分隔件(2)处于所述导通位置时，所述载物台(10)能够在所述加热室(11)和所述缓冲室(12)之间切换。

【技术特征摘要】
1.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括：热处理腔室(1)，所述热处理腔室(1)设置有加热件；分隔件(2)，所述分隔件(2)将所述热处理腔室(1)分隔为缓冲室(12)和加热室(11)，所述分隔件(2)具有导通所述加热室(11)和所述缓冲室(12)的导通位置和分隔所述加热室(11)和所述缓冲室(12)的分隔位置；以及载物台(10)，所述载物台(10)能够在所述热处理腔室(1)内移动，其中，当所述分隔件(2)处于所述导通位置时，所述载物台(10)能够在所述加热室(11)和所述缓冲室(12)之间切换。2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括管状主体(3)，所述管状主体(3)的两端分别设置炉盖(5)和炉门(6)，所述管状主体(3)的内部空腔形成为所述热处理腔室(1)。3.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述管状主体(3)的管壁包括由内向外依次布置的加热层和保温层，其中，所述加热件布置于所述加热层。4.根据权利要求3所述的热处理装置，其特征在于，所述加热件包括设置于所述加热室(11)的第一加热件和设置于所述缓冲室(12)的第二加热件，其中，所述第一加热件形成为第一铂铑管，所述第一铂铑管的两端分别安装于加热室法兰(111)，所述加热室(11)形成于所述第一铂铑管内部，所述第二加热件形成为第二铂铑管，所述第二铂铑管的两端分别安装于缓冲室法兰(121)，所述缓冲室(12)形成于所述第二铂铑管内部。5.根据权利要求3所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括用于冷却所述缓冲室(12)的冷却管路(122)，所述冷却管路(122)设置于所述缓冲室法兰(121)处；和/或所述保温层包括加热室保温层和缓冲室保温层，所述加热室保温层包括第一密封固化层(32)、第一支撑层(33)和保温砖层(34)，所述缓冲室保温层包括第二密封固化层和第二支撑层。6.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理腔室(1)形成为密封腔室，所述炉盖(5)处设置有用于充入惰性气体的进气管(7)，所述炉门(6)处设置有与抽真空装置连接的出气管(8)。7.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括移动架(4)，所述载物台(10)可拆卸的安装于所述移动架(4)的一端处，并在所述移动架(4)的带动下在所述热处理腔室(1)内移动，所述分隔件(2)形成有用于避让所述移动架(4)和所述载物台(10)的避让开口。8.根据权利要求7所述的热处理装置，其特征在于，所述炉门(6)形成有沿所述管状主体(3)的长度方向延伸的移动架通道，所述移动架(4)包括杆状主体(41)，所述杆状主体(41)通过滑动轴承安装于所述移动架通道，并且所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王肖义，周波，李青，张广涛，
申请(专利权)人：东旭科技集团有限公司，东旭集团有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11