一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备，测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集测试机工作时所产生的抖动数据；该测试机的控制方法包括：接收抖动数据采集器采集的抖动数据；将抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；基于对比结果实现控制测试机的工作状态。本发明专利技术实施例的技术方案能够及时的发现测试机不稳定现象并及时维修，大幅度降低了测试时间与测试成本，减少了非芯片因素产生的报废品率。

A Control Method, Device, Medium and Electronic Equipment for Testing Machine

The invention provides a control method, device, medium and electronic equipment of a test machine, and the side wall of the test machine is provided with a jitter data collector for collecting the jitter data generated by the work of the test machine. The control method of the test machine includes: receiving the jitter data collected by the jitter data collector; comparing the jitter data with the preset threshold value to obtain the comparison results; Based on the comparison results, the working state of the test machine is controlled. The technical scheme of the embodiment of the present invention can detect the instability of the tester in time and repair it in time, greatly reduce the test time and cost, and reduce the rejection rate caused by non-chip factors.

【技术实现步骤摘要】
一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备
本专利技术涉及测试机
，具体而言，涉及一种测试机的控制方法及一种测试机控制装置。
技术介绍
目前，芯片测试对测试机的水平和垂直方向的稳定性具有极高的要求，测试机头一些小小的晃动都能导致芯片测试失效或报废，乃至整片晶圆的报废。现有技术通常是将测试机头用各种螺丝连接并固定在控制杆上，然后将测试机头对接在测试机头固定柄上，最后将螺丝拧紧。然而上述现有技术中并没有相关参数以反映测试机头的稳定性，并且不能及时地检测到螺丝出现松动的状况，以至于在测试的过程中出现异常或测试良品率大幅降低或芯片/晶圆被压坏才发现该问题，此时已经造成不可挽回的损失。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的在于提供一种测试机的控制方法以及一种测试机控制装置，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的无法及时发现测试机不稳定而造成的测试良品率大幅降低或芯片/晶圆被压坏等一个或者多个问题。本专利技术实施例的其他特性和优点将通过下面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试机控制装置，其特征在于，所述测试机控制装置连接于抖动数据采集器和测试机，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；具体包括：接收模块，用于接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据；对比模块，用于将所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；控制模块，用于基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态。

【技术特征摘要】
1.一种测试机控制装置，其特征在于，所述测试机控制装置连接于抖动数据采集器和测试机，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；具体包括：接收模块，用于接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据；对比模块，用于将所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；控制模块，用于基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态。2.根据权利要求1所述的测试机控制装置，其特征在于，所述测试机控制装置还用于：每当所述抖动数据采集器设置于所述测试机的侧壁时，对所述抖动数据采集器进行归零初始化，确定出基准水平面。3.根据权利要求2所述的测试机控制装置，其特征在于，所述测试机控制装置还用于：当所述测试机进行作业时，所述抖动数据采集器随所述测试机抖动而连续地偏离所述基准水平面，产生多个偏离角度值；将所述多个偏离角度值转换为数字信号后，生成抖动数据。4.根据权利要求1所述的测试机控制装置，其特征在于，所述对比模块具体用于：将所述抖动数据与预设的阈值进行对比；当所述抖动数据小于所述预设的阈值时，生成第一对比结果；当所述抖动数据大于等于预设的阈值时，生成第二对比结果。5.根据权利要求1所述的测试机控制装置，其特征在于，所述控制模块具体用于：当所述对比结果为第一对比结果时，确定所述测试机处于稳定状态，并继续接收所述对比结果；当所述对比结果为第二对比结果时，确定所述测试机处于不稳定状态，生成测试机抖动异常的报警信号，并向所述测试机发送停止当前作业的控制信号。6.一种测试机，其特征在于，包括：抖动数据采集器和测试机控制器，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；所述测试机控制器连接于所述抖动数据采集器，用于获取所述测试机工作时所产生的抖动数据；所述测试机控制器电连接于所述测试机。7.根据权利要求6所述的测试机，其特征在于，所述测试机控制器接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据；测试机控制器基于所述抖动数据实现控制所述测试机的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆玉斌，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34