The invention belongs to the field of semiconductor aging testing technology, and discloses a device supporting high-temperature aging testing of semiconductor devices, including a test unit, a backplane, a test unit connected with the backplane and placed in a high-temperature box; a first and a second trachea are arranged on the backplane; a test unit includes a PCB board, ATE veneer, DUT, a heat insulation chamber, and a DUT is located on the top of the PCB board. TE veneer is connected with the bottom of PCB board, and the heat insulation chamber is connected with the bottom of PCB board. ATE veneer is located in the inside of the heat insulation chamber, and there are air intake and air outlet on the heat insulation chamber; the air intake is connected with the first gas pipe, and the air outlet is connected with the second gas pipe. The invention solves the problem that the aging test device in the prior art is difficult to apply to high temperature and high speed semiconductor test.
【技术实现步骤摘要】
一种支持半导体器件高温老化测试的装置
本专利技术涉及半导体老化测试
,尤其涉及一种支持半导体器件高温老化测试的装置。
技术介绍
在半导体的TDBI系统中,针对器件规格等级,分为了不同的温度测试范围。商业级别器件温度范围是0~70℃,工业级器件温度范围是-40~+85℃,汽车工业级的器件工作高温会达到105~125℃,军工和航天级的器件高温达到150℃。针对超高温(>105℃)的半导体测试场景,我们需要寻找一种更可靠、成本更低的解决办法。同时,在半导体的研发过程中,实验室环境中也需要进行超高温的摸底测试,去评估当前制程、工艺的可靠性,同样需要支持超高温的测试解决办法。现有的技术方案都是将自动测试设备(ATE)和被测试器件(DUT)分开,将DUT放置在温箱中,支持宽范围的环境温度,而ATE放置在常温环境中。ATE和DUT通过PCB和连接器进行连接,连接如图1所示。但是该方案无法解决某些特定场景的应用,例如针对高速总线的测试(>1Gbps+),要求测试设备和被测试单元不能太远,否则高频能量衰减过大。
技术实现思路
本申请实施例通过提供一种支持半导体器件高温老化测试的装置,解决了现有技术中的老化测试装置难以应用于高温高速半导体测试的问题。本申请实施例提供一种支持半导体器件高温老化测试的装置,包括:被测试单元、背板,所述被测试单元与所述背板连接,所述被测试单元与所述背板均放置在高温箱内;所述背板上设置有第一气管、第二气管;所述被测试单元包括PCB板、ATE单板、DUT、隔热腔体,所述DUT位于所述PCB板的顶面,所述ATE单板与所述PC ...
【技术保护点】
1.一种支持半导体器件高温老化测试的装置,其特征在于,包括:被测试单元、背板,所述被测试单元与所述背板连接,所述被测试单元与所述背板均放置在高温箱内;所述背板上设置有第一气管、第二气管;所述被测试单元包括PCB板、ATE单板、DUT、隔热腔体,所述DUT位于所述PCB板的顶面,所述ATE单板与所述PCB板的底面连接,所述隔热腔体与所述PCB板的底面连接,所述ATE单板位于所述隔热腔体的内部,所述隔热腔体上设置有进气口、出气口;所述进气口与所述第一气管对接,所述出气口与所述第二气管对接。
【技术特征摘要】
1.一种支持半导体器件高温老化测试的装置,其特征在于,包括:被测试单元、背板,所述被测试单元与所述背板连接,所述被测试单元与所述背板均放置在高温箱内;所述背板上设置有第一气管、第二气管;所述被测试单元包括PCB板、ATE单板、DUT、隔热腔体,所述DUT位于所述PCB板的顶面,所述ATE单板与所述PCB板的底面连接,所述隔热腔体与所述PCB板的底面连接,所述ATE单板位于所述隔热腔体的内部,所述隔热腔体上设置有进气口、出气口;所述进气口与所述第一气管对接,所述出气口与所述第二气管对接。2.根据权利要求1所述的支持半导体器件高温老化测试的装置,其特征在于,紧贴所述PCB板的底面设置有柔性隔热材料。...
【专利技术属性】
技术研发人员:裴敬,杜建,邓标华,
申请(专利权)人:武汉精鸿电子技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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