【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体测试，更具体地，涉及一种高精度电压电流校准系统。
技术介绍
1、半导体测试是半导体芯片制造流程中不可或缺的质量控制环节。它贯穿半导体芯片制造的整个过程，对半导体芯片进行功能、性能、参数和可靠性的全面验证。其目标是确保只有符合规格、性能达标且可靠的半导体芯片才能交付给客户，同时通过识别和剔除缺陷品来控制成本、提高良率、并为制造工艺改进提供反馈，半导体测试设备是确保芯片性能与可靠性的核心工具。
2、随着国内集成电路的发展，对半导体测试设备的自动化提出更高的要求。目前集成电路测试过程中，需要对半导体某些引脚进行加压测流测量，在此之前需要对加压测流通道进行测量校准，以确保加压测流通道输出的电学参数是在误差范围之内。目前常用方法是人工使用万用表对加压测流通道输出的电参数进行测量，再基于测量值进行加压测流通道的校准。大规模集成电路的加压测流测试往往涉及成百上千个加压测流通道的校准，此时如果还是使用人工去进行就需要耗费大量的人力且效率低下。因此亟需一种和半导体测试设备配套的加压测流通道校准系统，实现对加压测流通道的自动测量
【技术保护点】
1.一种高精度电压电流校准系统，用于加压测流通道输出电参数的校准，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，包括多个量程选择通道，各量程选择通道中量程负载的阻值各不相同。
3.根据权利要求1所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，所述量程选择通道包括量程通道开关、量程通道运放和量程负载；
4.根据权利要求1所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，所述参数测量通道包括参数通道开关和参数通道运放；
5.根据权利要求3或4所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，还包括电源单元，所述电...
【技术特征摘要】
1.一种高精度电压电流校准系统，用于加压测流通道输出电参数的校准，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，包括多个量程选择通道，各量程选择通道中量程负载的阻值各不相同。
3.根据权利要求1所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，所述量程选择通道包括量程通道开关、量程通道运放和量程负载；
4.根据权利要求1所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，所述参数测量通道包括参数通道开关和参数通道运放；
5.根据权利要求3或4所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，还包括电源单元，所述电源单元包括电源子单元、电源转换器、第一低压差线性稳压器和第二低压差线性稳压器，其中：
6.根据权利要求1所述的高精度电压电流校准系统，其特征在于，所述微控制器单元还用于接收并解析加压测流通道的通道地址，并将所述通道地址附加到校准参数和待校准参数中后上传至半导体测试设备的校准单元，由此实现多个加压测流通道输出电参数的校准。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：王整，刘伟，王魁，何琛，黄磊，彭亮，叶泸洁，魏海波，彭骞，
申请(专利权)人：武汉精鸿电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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