下载一种支持半导体器件高温老化测试的装置的技术资料

文档序号:20240828

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本发明属于半导体老化测试技术领域,公开了一种支持半导体器件高温老化测试的装置,包括被测试单元、背板,被测试单元与背板连接,并放置在高温箱内;背板上设置有第一气管、第二气管;被测试单元包括PCB板、ATE单板、DUT、隔热腔体,DUT位于PC...
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