AZO靶材的制备方法及AZO靶材技术

本发明专利技术属于新材料领域，具体涉及一种AZO靶材的制备方法，包括：通过AZO原料制备AZO喷涂材料；以及将AZO喷涂材料通过喷涂方式制成AZO靶材。本申请的制备方法通过制备AZO喷涂材料和喷涂工艺两步制成AZO靶材，提高了靶材的均匀性，也简化了靶材的生产工艺，提高了生产效率，节约了生产成本。

Preparation of AZO Targets and AZO Targets

The invention belongs to the field of new materials, and specifically relates to a preparation method of AZO target material, including: preparing AZO spraying material through AZO raw material; and making AZO target material by spraying method. The preparation method of this application is to prepare AZO target material by two steps of preparing AZO spraying material and spraying process, which improves the uniformity of target material, simplifies the production process of target material, improves production efficiency and saves production cost.

【技术实现步骤摘要】
AZO靶材的制备方法及AZO靶材
本专利技术涉及新材料领域，具体涉及一种AZO靶材的制备方法及AZO靶材。
技术介绍
目前的AZO靶材制备方法是将原材料添加粘合剂进行混合，并送至搅拌机中进行搅拌后进行脱脂烧结，并且在制备过程中容易造成各组分的分布不均匀，影响靶材的质量及使用效果。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种AZO靶材的制备方法及AZO靶材。为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种AZO靶材的制备方法，包括：通过AZO原料制备AZO喷涂材料；以及将AZO喷涂材料通过喷涂方式制成AZO靶材。进一步，所述AZO原料按重量份组成包括：氧化锌95-99份；氧化铝1-5份。进一步，所述制备AZO喷涂材料的方法包括：在AZO原料中加入粘结剂，进行混合搅拌后形成AZO料浆；在AZO料浆内通入高压空气，并进行加压处理；对AZO料浆进行离心处理；喷雾干燥形成AZO颗粒；对AZO颗粒进行脱脂处理；以及真空烧结，得到AZO喷涂材料。进一步，所述AZO颗粒的粒径为45～75μm。进一步，所述制备AZO喷涂材料的方法包括：在AZO原料中加入粘结剂后进行加热，形成AZO固体；对AZO固体进行脱脂处理；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种AZO靶材的制备方法，其特征在于，包括：通过AZO原料制备AZO喷涂材料；以及将AZO喷涂材料通过喷涂方式制成AZO靶材。

【技术特征摘要】
1.一种AZO靶材的制备方法，其特征在于，包括：通过AZO原料制备AZO喷涂材料；以及将AZO喷涂材料通过喷涂方式制成AZO靶材。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述AZO原料按重量份组成包括：氧化锌95-98份；氧化铝2-5份。3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述制备AZO喷涂材料的方法包括：在AZO原料中加入粘结剂，进行混合搅拌后形成AZO料浆；在AZO料浆内通入高压空气，并进行加压处理；对AZO料浆进行离心处理；喷雾干燥形成AZO颗粒；对AZO颗粒进行脱脂处理；以及真空烧结，得到AZO喷涂材料。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述AZO颗粒的粒径为45~75μm。5.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述制备AZO喷涂材料的方法包括：在A...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，董冬青，
申请(专利权)人：江苏迪丞光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32