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本发明属于新材料领域，具体涉及一种AZO靶材的制备方法，包括：通过AZO原料制备AZO喷涂材料；以及将AZO喷涂材料通过喷涂方式制成AZO靶材。本申请的制备方法通过制备AZO喷涂材料和喷涂工艺两步制成AZO靶材，提高了靶材的均匀性，也简化了...
该专利属于江苏迪丞光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏迪丞光电材料有限公司授权不得商用。

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