一种硅片自动化加工用下料装置制造方法及图纸

技术编号:20223502 阅读:71 留言:0更新日期:2019-01-28 21:34
本发明专利技术涉及一种硅片自动化加工用下料装置,包括硅片原料传送带,硅片原料传送带端部设有倾斜的导料板,导料板的下方设有硅片抛光机构,硅片抛光机构的一侧设有硅片成品下料传送带,所述硅片抛光机构与导料板之间设有下料传送机构,所述硅片抛光机构包括抛光盘,抛光盘的背面连接第一旋转电机,第一旋转电机的尾部连接固定的升降气缸;抛光盘的下方设有抛光工位盘,抛光工位盘上设有多个抛光工位槽,抛光工位槽贯穿抛光工位盘,抛光工位盘的下方设有托盘,托盘的表面与抛光工位盘的底部接触。该装置实现了硅片的加工以及下料的自动化。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片自动化加工用下料装置
本专利技术涉及硅片加工领域,尤其是一种硅片自动化加工用下料装置。
技术介绍
硅原料属于重要的半导体材料,化学元素符号Si,电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料,它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平,硅原料在进行硅片加工时需要将硅块原料进行均匀筛选,然后通过上料机构上料并将硅块原料导入到硅片加工设备内,硅片的加工工序包括开方、切割、研磨、抛光、清洗,硅片原料被切割完成后需要进行等厚度抛光,现在的硅片加工设备在进行硅片抛光时无法达到等厚度抛光的效果,而且硅片抛光后都是逐个下料,下料效率低。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术存在的缺陷,提供一种硅片自动化加工用下料装置。为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案是:一种硅片自动化加工用下料装置,包括硅片原料传送带,硅片原料传送带端部设有倾斜的导料板,导料板的下方设有硅片抛光机构,硅片抛光机构的一侧设有硅片成品下料传送带,所述硅片抛光机构与导料板之间设有下料传送机构,所述硅片抛光机构包括抛光盘,抛光盘的背面连接第一旋转电机,第一旋转电机的尾部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片自动化加工用下料装置,包括硅片原料传送带,硅片原料传送带端部设有倾斜的导料板,导料板的下方设有硅片抛光机构,硅片抛光机构的一侧设有硅片成品下料传送带,其特征在于,所述硅片抛光机构与导料板之间设有下料传送机构,所述硅片抛光机构包括抛光盘,抛光盘的背面连接第一旋转电机,第一旋转电机的尾部连接固定的升降气缸;所述抛光盘的下方设有抛光工位盘,抛光工位盘上设有多个抛光工位槽,抛光工位槽贯穿抛光工位盘,抛光工位盘的下方设有托盘,托盘的表面与抛光工位盘的底部接触,托盘的下方设有横向折板,横向折板上设有第二旋转电机,托盘的中部设有通孔,第二旋转电机的电机轴穿过通孔与所述抛光工位盘连接,横向折板上固...

【技术特征摘要】
1.一种硅片自动化加工用下料装置,包括硅片原料传送带,硅片原料传送带端部设有倾斜的导料板,导料板的下方设有硅片抛光机构,硅片抛光机构的一侧设有硅片成品下料传送带,其特征在于,所述硅片抛光机构与导料板之间设有下料传送机构,所述硅片抛光机构包括抛光盘,抛光盘的背面连接第一旋转电机,第一旋转电机的尾部连接固定的升降气缸;所述抛光盘的下方设有抛光工位盘,抛光工位盘上设有多个抛光工位槽,抛光工位槽贯穿抛光工位盘,抛光工位盘的下方设有托盘,托盘的表面与抛光工位盘的底部接触,托盘的下方设有横向折板,横向折板上设有第二旋转电机,托盘的中部设有通孔,第二旋转电机的电机轴穿过通孔与所述抛光工位盘连接,横向折板上固定伸缩气缸,伸缩气缸的气缸杆与托盘的底部连接。2.根据权利要求1所述的一种硅片自动化加工用下料装置,其特征在于,所述下料传送机构包括位于所述导料板下方的振动盘,振...

【专利技术属性】
技术研发人员:周建明
申请(专利权)人:常山千帆工业设计有限公司
类型:发明
国别省市:浙江,33

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