【技术实现步骤摘要】
一种硅片自动化生产用上料装置
本专利技术涉及半导体材料加工领域，尤其是一种硅片自动化生产用上料装置。
技术介绍
硅原料属于重要的半导体材料，化学元素符号Si，电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平，硅原料在进行硅片加工时需要将硅块原料进行均匀筛选，然后通过上料机构上料并将硅块原料导入到硅片加工设备内，在硅原料加工领域，现在还没有机械化的硅原料上料机构，亟待一种硅片自动化生产用上料装置来提高硅原料的上料效率。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术存在的缺陷，提供一种硅片自动化生产用上料装置。为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种硅片自动化生产用上料装置，包括硅原料存放箱，硅原料存放箱的底部设有出料口，出料口连接原料导出机构，原料导出机构的底部设有初步上料机构，初步上料机构的顶部设有水平传送带，水平传送带的端部设有硅片加工设备，水平传送带和硅片加工设备之间设有原料夹取机构；所述原料导出机构包括设置在硅原料存放箱底部与硅原料存放箱内腔连通的导出管，导出管上...
【技术保护点】
1.一种硅片自动化生产用上料装置，包括硅原料存放箱，硅原料存放箱的底部设有出料口，出料口连接原料导出机构，其特征在于，原料导出机构的底部设有初步上料机构，初步上料机构的顶部设有水平传送带，水平传送带的端部设有硅片加工设备，水平传送带和硅片加工设备之间设有原料夹取机构；所述原料导出机构包括设置在硅原料存放箱底部与硅原料存放箱内腔连通的导出管，导出管上设有阀板组件；所述初步上料机构包括设置在导出管下方的倾斜传送带，倾斜传送带上设有隔板组件，隔板组件包括固定在倾斜传送带一侧的固定座，固定座上设有插入口，插入口内插入隔板，倾斜传送带上相邻的隔板之间形成原料存放腔。
【技术特征摘要】
1.一种硅片自动化生产用上料装置，包括硅原料存放箱，硅原料存放箱的底部设有出料口，出料口连接原料导出机构，其特征在于，原料导出机构的底部设有初步上料机构，初步上料机构的顶部设有水平传送带，水平传送带的端部设有硅片加工设备，水平传送带和硅片加工设备之间设有原料夹取机构；所述原料导出机构包括设置在硅原料存放箱底部与硅原料存放箱内腔连通的导出管，导出管上设有阀板组件；所述初步上料机构包括设置在导出管下方的倾斜传送带，倾斜传送带上设有隔板组件，隔板组件包括固定在倾斜传送带一侧的固定座，固定座上设有插入口，插入口内插入隔板，倾斜传送带上相邻的隔板之间形成原料存放腔。2.根据权利要求1所述的一种硅片自动化生产用上料装置，其特征在于，所述原料夹取机构包括设置在水平传送带上方的固定箱，固定箱的一侧设有夹取机械手，夹取机械手的端部设有两个夹钳，两个夹钳的尾部铰接且通过夹紧气缸连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片自动化生产用上料装置，其特征在于，所述夹取机械手的尾部连接摆动气缸，夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：周建明，
申请(专利权)人：常山千帆工业设计有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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