下载一种硅片自动化生产用上料装置的技术资料

文档序号:20346902

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本发明涉及一种硅片自动化生产用上料装置,包括硅原料存放箱,硅原料存放箱的底部设有出料口,出料口连接原料导出机构,原料导出机构的底部设有初步上料机构,初步上料机构的顶部设有水平传送带,水平传送带的端部设有硅片加工设备,水平传送带和硅片加工设备...
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