一种可变间距的电子元件巨量转移装置与方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可变间距的电子元件巨量转移装置，多个固晶托架均与固晶导轨滑动连接，每一固晶托架的下方均设置有固晶转移头，固晶连杆设有等间距排列的固晶活动节点，每一固晶活动节点与一固晶托架铰接，固晶直线电机设置在固晶导轨的一端，固晶直线电机的输出端驱动固晶连杆伸缩活动；多个覆晶托架均与覆晶导轨滑动连接，每一覆晶托架的下方均设置有覆晶转移头，覆晶连杆设有等间距排列的覆晶活动节点，每一覆晶活动节点与一覆晶托架铰接，覆晶直线电机设置在覆晶导轨的一端，覆晶直线电机的输出端驱动覆晶连杆伸缩活动；覆晶旋转电机的输出端与覆晶导轨连接，用于将覆晶导轨翻转；本发明专利技术可实现电子元件间距完全可控的巨量转移。

【技术实现步骤摘要】
一种可变间距的电子元件巨量转移装置与方法
本专利技术涉及新型半导体显示领域，尤其涉及一种可变间距的电子元件巨量转移装置与方法。
技术介绍
Micro-LED是一种将LED结构微小化和矩阵化，对每一个像素点单独驱动和定址控制的显示技术。由于Micro-LED技术的亮度、寿命、对比度、反应时间、能耗、可视角度和分辨率等各种指标均优于LCD和OLED技术，被视为能超越OLED及传统LED的新一代显示技术。但是，由于封装过程中极高效率、99.9999％良品率和正负0.5μm以内转移精度的需要，而Micro-LED元器件尺寸基本小于50μm且数目是几万到几百万个，因此在Micro-LED产业化过程中仍需克服的一个核心技术难题就是Micro-LED元器件的巨量转移(MassTransfer)技术；目前Micro-LED巨量转移方法主要有，静电力吸附方法、范德华力转印方法、电磁力吸附方法、图案化镭射激光烧蚀方法，流体装配方法等。其中静电力吸附方法、范德华力转印方法和电磁力吸附方法，分别通过静电力、范德华力和电磁力作用，将巨量的Micro-LED精确吸附，再转移到目标衬底，并精准释放。然而，上述三种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可变间距的电子元件巨量转移装置，其特征在于，包括固晶焊臂、固晶驱动运动平台、覆晶焊臂、覆晶驱动运动平台和操作台；所述固晶焊臂为多个，每一所述固晶焊臂包括固晶导轨、固晶托架、固晶转移头、固晶连杆和固晶直线电机，所述固晶托架为多个，多个所述固晶托架均与所述固晶导轨滑动连接，每一所述固晶托架的下方均设置有固晶转移头，所述固晶连杆设有等间距排列的固晶活动节点，每一固晶活动节点与一所述固晶托架铰接，所述固晶直线电机设置在所述固晶导轨的一端，所述固晶直线电机的输出端驱动所述固晶连杆伸缩活动；所述固晶焊臂与所述固晶驱动运动平台连接，所述固晶驱动运动平台驱动所述固晶焊臂沿X、Y和Z轴移动；所述覆晶焊臂...

【技术特征摘要】
1.一种可变间距的电子元件巨量转移装置，其特征在于，包括固晶焊臂、固晶驱动运动平台、覆晶焊臂、覆晶驱动运动平台和操作台；所述固晶焊臂为多个，每一所述固晶焊臂包括固晶导轨、固晶托架、固晶转移头、固晶连杆和固晶直线电机，所述固晶托架为多个，多个所述固晶托架均与所述固晶导轨滑动连接，每一所述固晶托架的下方均设置有固晶转移头，所述固晶连杆设有等间距排列的固晶活动节点，每一固晶活动节点与一所述固晶托架铰接，所述固晶直线电机设置在所述固晶导轨的一端，所述固晶直线电机的输出端驱动所述固晶连杆伸缩活动；所述固晶焊臂与所述固晶驱动运动平台连接，所述固晶驱动运动平台驱动所述固晶焊臂沿X、Y和Z轴移动；所述覆晶焊臂的数量与所述固晶焊臂的数量一致，每一所述覆晶焊臂包括覆晶旋转电机、覆晶导轨、覆晶托架、覆晶转移头、覆晶连杆和覆晶直线电机，所述覆晶托架为多个，多个所述覆晶托架均与所述覆晶导轨滑动连接，每一所述覆晶托架的下方均设置有覆晶转移头，所述覆晶连杆设有等间距排列的覆晶活动节点，每一覆晶活动节点与一所述覆晶托架铰接，所述覆晶直线电机设置在所述覆晶导轨的一端，所述覆晶直线电机的输出端驱动所述覆晶连杆伸缩活动；所述覆晶旋转电机的输出端与所述覆晶导轨连接，用于将所述覆晶导轨翻转；所述覆晶焊臂与所述覆晶驱动运动平台连接，所述覆晶驱动运动平台驱动所述覆晶焊臂沿X、Y和Z轴移动，所述覆晶驱动运动平台设有视觉伺服对准系统；所述固晶直线电机、所述固晶驱动运动平台、所述覆晶旋转电机、所述覆晶直线电机和所述覆晶驱动运动平台分别与所述操作平台电连接。2.根据权利要求1所述的一种可变间距的电子元件巨量转移装置，其特征在于，所述固晶转移头和所述覆晶转移头均为双极转移头，施于正电压时抓取Micro-LED，施于负电压时释放Micro-LED；所述固晶连杆与所述覆晶连杆均为平行四边形机构，所述平行四边形机构包括多个第一连杆与多个第二连杆，所述第一连杆与所述第二连杆长度相同，每一所述第一连杆的中点与一所述第二连杆的中点相互铰接，形成X形模块，相邻两个X形模块相互铰接形成所述平行四边形机构，相邻两个所述X形模块铰接处为所述活动节点；所述平行四边形机构两端还设有第三连杆与第四连杆，所述第三连杆的一端与位于所述平行四边形的一端的第一连杆的端部铰接，所述第三连杆的另一端为所述活动节点；所述第四连杆的一端与位于所述平行四边形的另一端的第二连杆的端部铰接，所述第四连杆的另一端为所述活动节点。3.根据权利要求1所述的一种可变间距的电子元件巨量转移装置，其特征在于，所述所述操作台包括可视化PLC屏幕和集成PLC控制系统，所述PLC集成控制系统分别与所述固晶直线电机、所述固晶驱动运动平台、所述覆晶旋转电...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈新，贺云波，麦锡全，崔成强，刘强，张凯，高健，杨志军，陈桪，陈云，汤晖，张昱，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44