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一种可变间距的电子元件巨量转移装置与方法制造方法及图纸
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下载一种可变间距的电子元件巨量转移装置与方法的技术资料
文档序号:20223496
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本发明公开了一种可变间距的电子元件巨量转移装置,多个固晶托架均与固晶导轨滑动连接,每一固晶托架的下方均设置有固晶转移头,固晶连杆设有等间距排列的固晶活动节点,每一固晶活动节点与一固晶托架铰接,固晶直线电机设置在固晶导轨的一端,固晶直线电机的...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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