【技术实现步骤摘要】
一种可调节靶材
本技术涉及一种靶材
，具体为一种可调节靶材。
技术介绍
目前，现有的靶材还存在着一些不足的地方，例如；现有的靶材一般都是一个整体的形状，不能让靶芯在靶座的内部进行上下移动，缩小了靶材使用过程中的范围，容易导致靶材出现过低或过高的现象，降低了靶材使用过程中的灵活性，而且现有的靶材在使用过程中的抗氧化性和耐腐蚀性比较低，容易导致靶材使用过程中出现变形的现象，降低了靶材的强韧性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可调节靶材，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可调节靶材，包括靶座，所述靶座上设有靶芯和凹槽，所述靶芯活动连接在所述靶座的上方，所述凹槽位于所述靶座的底部，所述靶座的内部设有固定板、螺柱和螺纹槽，所述固定板固定连接在所述靶座的内部，所述螺柱固定连接在所述固定板上，所述螺纹槽位于所述靶芯的表面，所述靶座和靶芯的表面均设有抗氧化层、耐腐蚀层和加强层，所述抗氧化层位于所述耐腐蚀层的外表面，所述耐腐蚀层位于所述加强层的外表面，所述加强层固定连接在所述靶座和靶芯的外表面。作为本技术的一种优选实施方式，所述靶座和靶...
【技术保护点】
1.一种可调节靶材，包括靶座(1)，其特征在于：所述靶座(1)上设有靶芯(2)和凹槽(3)，所述靶芯(2)活动连接在所述靶座(1)的上方，所述凹槽(3)位于所述靶座(1)的底部，所述靶座(1)的内部设有固定板(4)、螺柱(5)和螺纹槽(6)，所述固定板(4)固定连接在所述靶座(1)的内部，所述螺柱(5)固定连接在所述固定板(4)上，所述螺纹槽(6)位于所述靶芯(2)的表面，所述靶座(1)和靶芯(2)的表面均设有抗氧化层(7)、耐腐蚀层(8)和加强层(9)，所述抗氧化层(7)位于所述耐腐蚀层(8)的外表面，所述耐腐蚀层(8)位于所述加强层(9)的外表面，所述加强层(9)固定连...
【技术特征摘要】
1.一种可调节靶材，包括靶座(1)，其特征在于：所述靶座(1)上设有靶芯(2)和凹槽(3)，所述靶芯(2)活动连接在所述靶座(1)的上方，所述凹槽(3)位于所述靶座(1)的底部，所述靶座(1)的内部设有固定板(4)、螺柱(5)和螺纹槽(6)，所述固定板(4)固定连接在所述靶座(1)的内部，所述螺柱(5)固定连接在所述固定板(4)上，所述螺纹槽(6)位于所述靶芯(2)的表面，所述靶座(1)和靶芯(2)的表面均设有抗氧化层(7)、耐腐蚀层(8)和加强层(9)，所述抗氧化层(7)位于所述耐腐蚀层(8)的外表面，所述耐腐蚀层(8)位于所述加强层(9)的外表面，所述加强层(9)固定连接在所述靶座(1)和靶芯(2)的外表面。2...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟华，
申请(专利权)人：江苏迪丞光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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