半导体单晶炉热场吊装机构制造技术

本实用新型专利技术提供半导体单晶炉热场吊装机构，包括支架，支架包括底座、立柱，底座与立柱可拆卸连接；还包括三爪连杆机构，三爪连杆机构包括滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，第一连杆的上端与滑块铰接，第一连杆的中央与第二连杆的上端转动连接，第二连杆的下端与底座转动连接；第一连杆的下端与卡爪的中央转动连接，卡爪靠近立柱端与第三连杆的下端相连，第三连杆的上端与第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；卡爪与第一连杆转动连接处的径向外侧为卡爪接触并支撑热场部件侧；还包括一驱动滑块沿着立柱上下运动的牵拉机构。本专利通过优化三爪连杆机构，便于实现对中空的热场部件的吊装，操作方便。

Hoisting mechanism for thermal field of semiconductor single crystal furnace

The utility model provides a heat field hoisting mechanism for a semiconductor single crystal furnace, including a support, which comprises a base, a column, and a detachable connection between the base and the column; a three-claw linkage mechanism, which comprises a slider and three connecting rod groups; each connecting rod group comprises a first connecting rod, a second connecting rod, a third connecting rod and a claw; the upper end of the first connecting rod is hinged with the slider, and the first connecting rod is hinged with the slider group. The center of the connecting rod is rotated and connected with the upper end of the second connecting rod, and the lower end of the second connecting rod is rotated and connected with the base; the lower end of the first connecting rod is rotated and connected with the center of the claw, the claw is connected with the lower end of the third connecting rod near the end of the column, and the upper end of the third connecting rod is rotated and connected with the first connecting rod near the first connecting rod; the radial outer side of the rotating connection between the claw and the first connecting rod is The utility model also supports the side of the thermal field component, and comprises a traction mechanism which drives the slider to move up and down the column. By optimizing the three-claw connecting rod mechanism, the patent is convenient for hoisting hollow thermal field components and operation.

【技术实现步骤摘要】
半导体单晶炉热场吊装机构
本技术涉及机械
，具体涉及吊装机构。
技术介绍
以前的晶体生长炉热场的安装都是靠人工，一个零件一个零件向炉内运输，费时费力，容易损坏昂贵的热场零件，效率低。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供半导体单晶炉热场吊装机构，以解决上述至少一个技术问题。本技术的技术方案是：半导体单晶炉热场吊装机构，其特征在于，包括一支架，所述支架包括一底座、一立柱，所述底座与所述立柱可拆卸连接，所述立柱的上端与一吊环螺钉螺纹连接；还包括三爪连杆机构，所述三爪连杆机构包括一滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，所述第一连杆的上端与滑块铰接，所述第一连杆的中央与所述第二连杆的上端转动连接，所述第二连杆的下端与底座转动连接；所述第一连杆的下端与所述卡爪的中央转动连接，所述卡爪靠近所述立柱端与第三连杆的下端相连，所述第三连杆的上端与所述第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；所述卡爪与所述第一连杆转动连接处的径向外侧的上表面覆盖有为一特氟龙制成的垫板，所述垫板的上表面为接触并支撑热场部件侧；还包括一用于对滑块进行限位的调节螺母，所述调节螺母与所述立柱螺纹连接，所述调节螺母位于所述滑块的下方；还包括一驱动滑块沿着所述立柱上下运动的牵拉机构，所述牵拉机构的上端部安装在所述立柱上。本专利的创造点在于：(1)通过优化三爪连杆机构，便于实现对中空的热场部件的吊装，操作方便。(2)通过调节螺母与螺母螺纹连接，便于保证调节螺母的高度调整，实现滑块最低限位处的高度微调，实现在整个装置张开支撑热场部件时，三爪连杆机构张开度的微调。(3)通过特氟龙制成的垫板，由于特氟龙具有耐高温耐腐蚀性，保证使用寿命。所述滑块包括从下至上依次设置的特氟龙垫圈、滑套、爪套、一导向杆座以及一螺母；所述特氟龙垫圈通过螺钉与所述滑套可拆卸连接；所述滑套与所述螺母螺纹连接，且所述爪套以及所述导向杆座夹设在所述滑套与所述螺母之间；所述牵拉机构的下端安装在所述导向杆座上。本专利通过优化滑块的结构，通过特氟龙垫圈，防止与锁紧螺母接触时的相互磨损。通过滑套与螺母的结合，便于实现爪套与导向杆座的可拆卸安装。所述牵拉机构还包括一导向杆，所述导向杆的下端安装在所述导向杆座上；所述牵拉机构包括一快速夹钳，所述快速夹钳安装在所述立柱上，所述快速夹钳包括一驱动导向杆竖直运动的手柄，所述手柄与所述导向杆的上端传动连接。便于通过手柄的操作，实现导向杆的上下运动，进而实现三爪连杆机构的张开与收拢。所述快速夹钳包括一支架，所述手柄与所述支架铰接连接；所述快速夹钳还包括一随着手柄相对于支架的转动上下运动的第四连杆，所述第四连杆与所述导向杆的上端相连；所述支架上设有用于引导第四连杆上下运动的通道，所述第四连杆的上端与一连接件铰接，所述连接件的另一端与所述手柄铰接。便于通过手柄的旋转运动，驱动导向杆的竖直运动。所述第四连杆的下端安装有一螺母，所述导向杆的上端与螺母螺纹连接。便于通过螺母与导向杆的螺纹连接，便于实现导向杆的高度的调整。所述立柱包括一固定轴、一导向套以及活动轴；所述活动轴的下端与所述导向套螺纹连接；所述固定轴是一上下导通的中空管，所述中空管的上端设有内螺纹，所述活动轴的外壁上设有与所述内螺纹相匹配的外螺纹；所述中空管设有内螺纹的下端与所述导向套滑动连接。所述固定轴的下端与所述底座螺纹连接。所述导向套最大外径处的外径大于所述活动轴的下端部的外径。便于防止活动轴与固定轴的相对旋转而向上运动与固定轴脱离连接。本专利通过优化立柱的结构，便于实现立柱整体高度的调整。通过活动轴向下旋出，进而实现活动轴下滑，实现整体高度的控制，减少占用空间。所述底座上开设有至少三个以底座的中心轴线为中心线呈环状排布的缺口。便于减轻自重。所述快速夹钳安装在一夹钳座上，所述夹钳座安装在所述活动轴上；所述夹钳座上开设有活动轴穿过的通孔，所述通孔的内壁与所述活动轴的外壁存有间隙。便于保证活动轴的转动。附图说明图1为本技术张开状态下的示意图；图2为本技术收起状态下的示意图；图3为本技术张开状态下的俯视图；图4为本技术收起状态下的俯视图。图中：1为底座，2为固定轴，3为第二连杆，4为第三连杆，5为第一连杆，6为卡爪，7为垫板，8为短销轴，9为长销轴，10为调节螺母，11为特氟龙垫圈，12为滑套，13为爪套，14为导向杆座，15为锁紧螺母，16为导向套，17为活动轴，18为导向杆，19为螺母，20为快速夹钳，21为固定环，22为夹钳座，23为吊环螺钉，24为热场部件。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明。参见图1、图2、图3和图4，半导体单晶炉热场吊装机构，包括一支架，支架包括一底座1、一立柱，底座1与立柱可拆卸连接，立柱的上端与一吊环螺钉螺纹连接；还包括三爪连杆机构，三爪连杆机构包括一滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆5、第二连杆3、第三连杆4以及卡爪6，第一连杆5的上端与滑块铰接，第一连杆5的中央与第二连杆3的上端转动连接，第二连杆3的下端与底座1转动连接；第一连杆5的下端与卡爪6的中央转动连接，卡爪6靠近立柱端与第三连杆4的下端相连，第三连杆4的上端与第二连杆3的靠近第一连杆5处转动连接；卡爪6与第一连杆5转动连接处的径向外侧的上表面覆盖有一特氟龙制成的垫板7，垫板的上表面为接触并支撑热场部件侧；还包括一用于对滑块进行限位的调节螺母10，调节螺母10与立柱螺纹连接，调节螺母10位于滑块的下方；还包括一驱动滑块沿着立柱上下运动的牵拉机构，牵拉机构的上端部安装在立柱上。本专利的创造点在于：(1)通过优化三爪连杆机构，便于实现对中空的热场部件24的吊装，操作方便。(2)通过调节螺母与螺母螺纹连接，便于保证调节螺母的高度调整，实现滑块最低限位处的高度微调，实现在整个装置张开支撑热场部件24时，三爪连杆机构张开度的微调。(3)通过特氟龙制成的垫板7，由于特氟龙具有耐高温耐腐蚀性，保证使用寿命。垫板靠近立柱侧设有一向上的翻边。便于实现防止热场部件接触到第一连杆，实现对热场部件的保护。立柱的上端与吊环螺钉23螺纹连接。滑块包括从下至上依次设置的特氟龙垫圈11、滑套12、爪套13、一导向杆座14以及一螺母；特氟龙垫圈11通过螺钉与滑套12可拆卸连接；滑套12与螺母螺纹连接，且爪套13以及导向杆座14夹设在滑套12与螺母之间；牵拉机构的下端安装在导向杆座14上。本专利通过优化滑块的结构，通过特氟龙垫圈11，防止与锁紧螺母接触时的相互磨损。通过滑套12与螺母的结合，便于实现爪套13与导向杆座14的可拆卸安装。牵拉机构是一可竖直方向伸缩的伸缩机构。或者，牵拉机构还包括一导向杆，导向杆的下端安装在导向杆座14上；牵拉机构包括一快速夹钳20，快速夹钳20安装在立柱上，快速夹钳20包括一驱动导向杆竖直运动的手柄，手柄与导向杆的上端传动连接。便于通过手柄的操作，实现导向杆的上下运动，进而实现三爪连杆机构的张开与收拢。快速夹钳20包括一支架，手柄与支架铰接连接；快速夹钳20还包括一随着手柄相对于支架的转动上下运动的第四连杆，第四连杆与导向杆的上端相连；支架上设有用于引导第四连杆上下运动的通道，第四连杆的上端与一连接件铰接，连接件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.半导体单晶炉热场吊装机构，其特征在于，包括一支架，所述支架包括一底座、一立柱，所述底座与所述立柱可拆卸连接，所述立柱的上端与一吊环螺钉螺纹连接；还包括三爪连杆机构，所述三爪连杆机构包括一滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，所述第一连杆的上端与滑块铰接，所述第一连杆的中央与所述第二连杆的上端转动连接，所述第二连杆的下端与底座转动连接；所述第一连杆的下端与所述卡爪的中央转动连接，所述卡爪靠近所述立柱端与第三连杆的下端相连，所述第三连杆的上端与所述第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；所述卡爪与所述第一连杆转动连接处的径向外侧的上表面覆盖有为一特氟龙制成的垫板，所述垫板的上表面为接触并支撑热场部件侧；还包括一用于对滑块进行限位的调节螺母，所述调节螺母与所述立柱螺纹连接，所述调节螺母位于所述滑块的下方；还包括一驱动滑块沿着所述立柱上下运动的牵拉机构，所述牵拉机构的上端部安装在所述立柱上。

【技术特征摘要】
1.半导体单晶炉热场吊装机构，其特征在于，包括一支架，所述支架包括一底座、一立柱，所述底座与所述立柱可拆卸连接，所述立柱的上端与一吊环螺钉螺纹连接；还包括三爪连杆机构，所述三爪连杆机构包括一滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，所述第一连杆的上端与滑块铰接，所述第一连杆的中央与所述第二连杆的上端转动连接，所述第二连杆的下端与底座转动连接；所述第一连杆的下端与所述卡爪的中央转动连接，所述卡爪靠近所述立柱端与第三连杆的下端相连，所述第三连杆的上端与所述第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；所述卡爪与所述第一连杆转动连接处的径向外侧的上表面覆盖有为一特氟龙制成的垫板，所述垫板的上表面为接触并支撑热场部件侧；还包括一用于对滑块进行限位的调节螺母，所述调节螺母与所述立柱螺纹连接，所述调节螺母位于所述滑块的下方；还包括一驱动滑块沿着所述立柱上下运动的牵拉机构，所述牵拉机构的上端部安装在所述立柱上。2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉热场吊装机构，其特征在于：所述滑块包括从下至上依次设置的特氟龙垫圈、滑套、爪套、一导向杆座以及一螺母；所述特氟龙垫圈通过螺钉与所述滑套可拆卸连接；所述滑套与所述螺母螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖章田，贺贤汉，夏孝平，黄保强，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31