【技术实现步骤摘要】
一种可调节的阵列式阳极
本技术涉及工业电镀领域,具体涉及一种可调节的阵列式阳极。
技术介绍
随着半导体/半导体封装/被动元件技术的快速发展,半导体元件或被动元件均需要在金属表面镀上一薄层金属或合金以提高其耐腐蚀性、导电性、反光性等综合性能。因此,对电镀的均匀性提出了很高的要求,如何改善电镀的均匀性具有很多方法,基本出发点都是改变电力线分布。电镀的电力线分布与磁力线类似,边缘密中间疏,与电镀装置的结构和电镀工件的形状直接相关,如果工件的表面形状从圆形变成方形,或者大小改变,电力线就会因装置结构和工件不匹配而导致均匀性不佳。目前面对不同的产品存在不同的阳极形状,通过固定不变的设备结构已经无法满足多样化的需求,因此可以对阳极的形状结构作出改进,使其作出调节,使得阳极的位置和电流在针对多样化产品时,达到电镀均匀性的目的。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题,本技术的目的在于提供一种可调节的阵列式阳极,通过调节齿轮与啮合边的啮合位置,可以调节阳极板在阳极插板内的位置,而且阳极板形状多变,可以适应不同形状大小的电镀工件,使得阳极的位置和电流针对多样化产品时电镀更加均匀。本技术的目的 ...
【技术保护点】
1.一种可调节的阵列式阳极,包括阳极插板(100)、阳极板(200),阳极板(200)设于阳极插板(100)内,其特征在于,所述阳极板(200)的两侧边设有锯齿状的啮合边(210),所述阳极插板(100)的两侧固定有齿轮安装座(220),齿轮安装座(220)的上端连接有调节齿轮(230),调节齿轮(230)与啮合边(210)相互啮合,调节齿轮(230)的上端设有控制调节齿轮(230)旋转的齿轮把手(240);所述阳极插板(100)包括:一具有空腔的阳极插板主体(110),阳极插板主体(110)内设有容置阳极板(200)的卡槽(120);所述阳极板(200)上设有矩形阵列分布 ...
【技术特征摘要】
1.一种可调节的阵列式阳极,包括阳极插板(100)、阳极板(200),阳极板(200)设于阳极插板(100)内,其特征在于,所述阳极板(200)的两侧边设有锯齿状的啮合边(210),所述阳极插板(100)的两侧固定有齿轮安装座(220),齿轮安装座(220)的上端连接有调节齿轮(230),调节齿轮(230)与啮合边(210)相互啮合,调节齿轮(230)的上端设有控制调节齿轮(230)旋转的齿轮把手(240);所述阳极插板(100)包括:一具有空腔的阳极插板主体(110),阳极插板主体(110)内设有容置阳极板(200)的卡槽(120);所述阳极板(20...
【专利技术属性】
技术研发人员:翁振国,侯利然,
申请(专利权)人:安徽宏实自动化装备有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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