一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统技术方案

本发明专利技术公开一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其中包括：一光刻胶瓶；一光刻胶过滤系统，光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；一光刻胶喷涂系统，光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴。本发明专利技术的技术方案有益效果在于：把整个光刻胶输送系统分为过滤系统与喷涂系统，在过滤系统中增加压缩泵和多个过滤器，同时增加循环回路，以进行循环过滤提高过滤效果，在喷涂系统中增加压缩泵，能够精确地输送光刻胶的喷涂，进一步提高光刻胶喷涂的稳定性。

A Photoresist Conveying System with Multiple Filtration Capability

The invention discloses a photoresist conveying system with multiple filtering capabilities, which is used in the process of conveying photoresist, including: a photoresist bottle; a photoresist filtering system, which comprises a first photoresist storage tank, a photoresist filter group, a first photoresist buffer tank, a first photoresist compression pump, a second photoresist storage tank and a second photoresist buffer. The photoresist spraying system includes a second photoresist compression pump, a third photoresist buffer tank and a nozzle. The technical scheme of the present invention has the beneficial effect that the whole photoresist conveying system is divided into a filtering system and a spraying system, a compression pump and multiple filters are added in the filtering system, and a circulation loop is added at the same time, so as to improve the filtering effect, and a compression pump is added in the spraying system, which can accurately convey the spraying of photoresist and further improve the stability of photoresist spraying. Qualitative.

【技术实现步骤摘要】
一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统
本专利技术涉及光刻胶过滤
，尤其涉及一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统。
技术介绍
随着集成电路技术的发展，新的工艺对光刻胶微粒的过滤和喷涂提出更为严格的要求。为了提高光刻胶的过滤性能，提出两个方向：(1)减小过滤器的孔径；(2)增加过滤膜的种类；而这两种方案对传统的光刻胶输送系统形成严格的挑战，同时降低了喷涂的稳定性，会出现微气泡，覆盖不全等光刻胶喷涂问题。传统的光刻胶输送系统由泵、过滤器及若干阀门组成，如图1所示，其中包括光刻胶瓶T1、光刻胶罐T2、光刻胶过滤器T3、第一光刻胶缓冲罐T4、光刻胶压缩泵T5、第二光刻胶缓冲罐T6、压力控制阀门T7、喷嘴T8，泵放置在过滤器钱，泵抽去瓶内的光刻胶通过过滤器并送达至喷嘴，结构简单，由单一泵完成光刻胶的过滤和输送，使得喷胶稳定性差，容易出现微气泡等缺陷。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统。具体技术方案如下：一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其中包括：一光刻胶瓶；一光刻胶过滤系统，光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；所述第一光刻胶储存罐的入口端连接所述光刻胶瓶的出口端，所述第一光刻胶缓冲罐的入口端通过所述光刻胶过滤器组连接所述第一光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶储存罐的入口端通过所述第一光刻胶压缩泵连接所述第一光刻胶缓冲罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的入口端连接所述第二光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的第一出口端通过一循环回路连接所述所述第一光刻胶储存罐的入口端；一光刻胶喷涂系统，所述光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴；所述第三光刻胶缓冲罐的入口端通过所述第二光刻胶压缩泵连接所述第二光刻胶缓冲罐的第二出口端，所述喷嘴的入口端通过一压力控制阀门连接所述第三光刻胶缓冲罐的出口端。优选的，所述光刻胶过滤器组包括至少两个光刻胶过滤器，至少两个所述光刻胶过滤器串联连接，以对所述光刻胶进行多重过滤。优选的，每个所述光刻胶过滤器的顶部均设置液体阀门。优选的，所述光刻胶瓶为一圆柱形结构，以盛放所述光刻胶。优选的，所述光刻胶瓶的容量均大于所述第一光刻胶储存罐与所述第二光刻胶储存罐的容量。优选的，所述光刻胶瓶的容量均大于所述第一光刻胶缓冲罐、所述第二光刻胶缓冲罐及所述第三光刻胶第三缓冲罐的容量。优选的，所述第一光刻胶储存罐与所述第二光刻胶储存罐的顶部均设置液体阀门。优选的，所述第一光刻胶缓冲罐、所述第二光刻胶缓冲罐及所述第三光刻胶缓冲罐的顶部均设置液体阀门。优选的，所述光刻胶输送系统包括复数个输送管路，以输送所述光刻胶。优选的，所述光刻胶由尼龙和聚乙烯组成。本专利技术的技术方案有益效果在于：把整个光刻胶输送系统分为过滤系统与喷涂系统，在过滤系统中增加压缩泵和多个过滤器，同时增加循环回路，以进行循环过滤提高过滤效果，在喷涂系统中增加压缩泵，能够精确地输送光刻胶的喷涂，进一步提高光刻胶喷涂的稳定性。附图说明参考所附附图，以更加充分的描述本专利技术的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本专利技术范围的限制。图1为现有技术中，关于光刻胶输送系统的系统流程图；图2为本专利技术中，关于具有多重过滤能力的光刻胶输送系统的系统流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。本专利技术包括一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其中包括：一光刻胶瓶1；一光刻胶过滤系统2，光刻胶过滤系统2包括第一光刻胶储存罐20、光刻胶过滤器组21、第一光刻胶缓冲罐22、第一光刻胶压缩泵23、第二光刻胶储存罐24、第二光刻胶缓冲罐25；第一光刻胶储存罐20的入口端连接光刻胶瓶1的出口端，第一光刻胶缓冲罐22的入口端通过光刻胶过滤器组21连接第一光刻胶储存罐20的出口端，第二光刻胶储存罐24的入口端通过第一光刻胶压缩泵23连接第一光刻胶缓冲罐22的出口端，第二光刻胶缓冲罐25的入口端连接第二光刻胶储存罐24的出口端，第二光刻胶缓冲罐25的第一出口端250通过一循环回路251连接第一光刻胶储存罐20的入口端；一光刻胶喷涂系统3，光刻胶喷涂系统3包括第二光刻胶压缩泵30、第三光刻胶缓冲罐31、喷嘴32；第三光刻胶缓冲罐31的入口端通过第二光刻胶压缩泵30连接第二光刻胶缓冲罐25的第二出口端252，喷嘴32的入口端通过一压力控制阀门33连接第三光刻胶缓冲罐31的出口端。通过上述具有多重过滤能力的光刻胶输送系统的技术方案，如图2所示，整个光刻胶输送系统通过复数个输送管路以输送光刻胶，其中包括光刻胶瓶1、光刻胶过滤系统2、光刻胶喷涂系统3；光刻胶瓶1为一圆柱形结构，用于盛放光刻胶，光刻胶过滤系统2中增加多个光刻胶过滤器210，多个光刻胶过滤器210串联连接，以实现光刻胶的多重过滤，且适用于由尼龙和聚乙烯构成的光刻胶材料，同时增加第一光刻胶压缩泵23和循环回路251，进一步循环过滤增强光刻胶的过滤效果，光刻胶喷涂系统3单独设置第二光刻胶压缩泵30，可精确地控制光刻胶的喷量；进一步地，在光刻胶过滤系统2中，第一光刻胶储存罐20用于储存从光刻胶瓶1中抽取的光刻胶，光刻胶过滤器组21包括至少两个光刻胶过滤器210，用于实现光刻胶的多重过滤，第一光刻胶缓冲罐22用于缓存光刻胶经过光刻胶滤器组21多重过滤后的光刻胶，第一光刻胶压缩泵23用于提供光刻胶过滤系统的光刻胶循环动力，第二光刻胶储存罐24用于存储多重过滤后的光刻胶，第二光刻胶缓冲罐25的第一出口端250连接循环回路251，以实现光刻胶的循环过滤，进一步增强光刻胶的过滤效果；进一步地，在光刻胶喷涂系统3中，第二光刻胶压缩泵30用于提供光刻胶喷涂系统的喷涂动力，第三光刻胶缓冲罐31的出口端连接压力控制阀门33，压力控制阀门33用于精确控制光刻胶的喷量，进一步提高了光刻胶喷涂的稳定性。在一种较优的实施例中，光刻胶过滤器组21包括至少两个光刻胶过滤器210，至少两个光刻胶过滤器210串联连接，以对光刻胶进行多重过滤。在一种较优的实施例中，每个光刻胶过滤器21的顶部均设置液体阀门。具体地，增加至少两个光刻胶过滤器210，且串联连接以实现光刻胶的多重过滤，且每个光刻胶过滤器21设置的液体阀门，以实现整个系统的正常运行。在一种较优的实施例中，光刻胶瓶1为一圆柱形结构，以盛放光刻胶。在一种较优的实施例中，光刻胶瓶1的容量均大于第一光刻胶储存罐20与第二光刻胶储存罐24的容量。在一种较优的实施例中，光刻胶瓶1的容量均大于第一光刻胶缓冲罐22、第二光刻胶缓冲罐25及第三光刻胶第三缓冲罐31的容量。具体地，为实现多重过滤的循环回路，使得光刻胶的输送能够稳定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其特征在于，包括：一光刻胶瓶；一光刻胶过滤系统，所述光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；所述第一光刻胶储存罐的入口端连接所述光刻胶瓶的出口端，所述第一光刻胶缓冲罐的入口端通过所述光刻胶过滤器组连接所述第一光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶储存罐的入口端通过所述第一光刻胶压缩泵连接所述第一光刻胶缓冲罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的入口端连接所述第二光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的第一出口端通过一循环回路连接所述所述第一光刻胶储存罐的入口端；一光刻胶喷涂系统，所述光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴；所述第三光刻胶缓冲罐的入口端通过所述第二光刻胶压缩泵连接所述第二光刻胶缓冲罐的第二出口端，所述喷嘴的入口端通过一压力控制阀门连接所述第三光刻胶缓冲罐的出口端。

【技术特征摘要】
1.一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统，用于输送光刻胶的过程中，其特征在于，包括：一光刻胶瓶；一光刻胶过滤系统，所述光刻胶过滤系统包括第一光刻胶储存罐、光刻胶过滤器组、第一光刻胶缓冲罐、第一光刻胶压缩泵、第二光刻胶储存罐、第二光刻胶缓冲罐；所述第一光刻胶储存罐的入口端连接所述光刻胶瓶的出口端，所述第一光刻胶缓冲罐的入口端通过所述光刻胶过滤器组连接所述第一光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶储存罐的入口端通过所述第一光刻胶压缩泵连接所述第一光刻胶缓冲罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的入口端连接所述第二光刻胶储存罐的出口端，所述第二光刻胶缓冲罐的第一出口端通过一循环回路连接所述所述第一光刻胶储存罐的入口端；一光刻胶喷涂系统，所述光刻胶喷涂系统包括第二光刻胶压缩泵、第三光刻胶缓冲罐、喷嘴；所述第三光刻胶缓冲罐的入口端通过所述第二光刻胶压缩泵连接所述第二光刻胶缓冲罐的第二出口端，所述喷嘴的入口端通过一压力控制阀门连接所述第三光刻胶缓冲罐的出口端。2.根据权利要求1所述的光刻胶输送系统，其特征在于，所述光刻胶过滤器组包括至少两个光刻胶过滤器，至少两个所述光...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋海生，李德建，吴鹏，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31