一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法技术

本发明专利技术属于显示器件技术领域，公开了一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法。将ZrOCl2·8H2O溶于乙二醇单甲醚与乙二醇的混合溶剂中，配置浓度为0.3～0.6mol/L的前驱体溶液；在玻璃基板表面沉积一层图形化的ITO底栅，清洗烘干，得到ITO玻璃衬底；在ITO玻璃衬底上喷墨打印所得前驱体溶液，重复印刷过程2～3次，然后退火处理得到氧化锆绝缘层薄膜，最后通过磁控溅射镀Al电极，得到氧化锆绝缘层薄膜器件。本发明专利技术通过简单的重复印刷工艺，不需要改变溶液成分和印刷工艺，便可显著降低印刷氧化锆绝缘薄膜的缺陷和漏电流，对溶液法加工绝缘薄膜有重要意义。

【技术实现步骤摘要】
一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法
本专利技术属于显示器件
，具体涉及一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法。
技术介绍
金属氧化物绝缘层由于其优异的介电性质(电容大、漏电流低)被视为下一代薄膜电子器件中氧化硅、氮化硅等传统绝缘材料的替代品。因此，真空法制备的氧化物绝缘层被广泛应用于显示、传感器和驱动电路行业。目前一般多采用真空镀膜的方法制备金属氧化物绝缘层，但该方法加工温度高，且不利于大面积制备。溶液加工的制备方法因其低耗、简单以及适合大面积制备的优点具有很大应用前景，包括喷墨打印、旋涂和喷涂等一系列手段。然而，溶液加工法制备的绝缘薄膜器件性能未能达到真空法的水准，主要表现在开关比小，迁移率低，稳定性差和重复性差等。因此，相关的前驱体工程及印刷的工艺还有待改善。
技术实现思路
针对以上现有技术存在的缺点和不足之处，本专利技术的目的在于提供一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法。本专利技术目的通过以下技术方案实现：一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法，包括如下步骤：(1)前驱体溶液配制：将ZrOCl2·8H2O(八水氧氯化锆)溶于乙二醇单甲醚(2-MO本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)前驱体溶液配制：将ZrOCl2·8H2O溶于乙二醇单甲醚与乙二醇的混合溶剂中，配置浓度为0.3～0.6mol/L的前驱体溶液；(2)衬底制备：在玻璃基板表面沉积一层图形化的ITO底栅，清洗烘干，得到ITO玻璃衬底；(3)在ITO玻璃衬底上喷墨打印步骤(1)所得前驱体溶液，重复印刷过程2～3次，然后退火处理得到氧化锆绝缘层薄膜；(4)在步骤(3)的氧化锆绝缘层薄膜上通过磁控溅射镀Al电极，得到氧化锆绝缘层薄膜器件。

【技术特征摘要】
1.一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)前驱体溶液配制：将ZrOCl2·8H2O溶于乙二醇单甲醚与乙二醇的混合溶剂中，配置浓度为0.3～0.6mol/L的前驱体溶液；(2)衬底制备：在玻璃基板表面沉积一层图形化的ITO底栅，清洗烘干，得到ITO玻璃衬底；(3)在ITO玻璃衬底上喷墨打印步骤(1)所得前驱体溶液，重复印刷过程2～3次，然后退火处理得到氧化锆绝缘层薄膜；(4)在步骤(3)的氧化锆绝缘层薄膜上通过磁控溅射镀Al电极，得到氧化锆绝缘层薄膜器件。2.根据权利要求1所述的一种多层印...

【专利技术属性】
技术研发人员：宁洪龙，蔡炜，姚日晖，陶瑞强，陈建秋，朱镇南，魏靖林，刘贤哲，周尚雄，彭俊彪，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：广东,44