一种高效气液混合器制造技术

本实用新型专利技术公开一种高效气液混合器，其包括混合桶和气体控制模块。混合桶内设有混合填充料，混合桶包括上连接筒和下连接筒，上连接筒和所述下连接筒可拆卸地连接。气体控制模块连接于混合桶，气体控制模块包括气体传输管、调压阀、U形支管、直形支管、两个第一气动阀、第二气动阀、外支管和单向阀，调压阀设置于气体传输管上，U形支管连接于气体传输管的一侧，直形支管并排设置于U形支管之间，两个第一气动阀设置于U形支管上，第二气动阀设置于直形支管的底部，外支管的一端连接于U形支管的其中一端，单向阀设置于外支管的另一端。本实用新型专利技术混合效率高，可精确控制混合后的臭氧水浓度，不容易产生气泡，使制程工艺更加稳定安全。

A High Efficiency Gas-liquid Mixer

The utility model discloses an efficient gas-liquid mixer, which comprises a mixing barrel and a gas control module. A mixing filler is arranged in the mixing barrel. The mixing barrel comprises an upper connecting barrel and a lower connecting barrel, and the upper connecting barrel and the lower connecting barrel are detachably connected. The gas control module is connected to the mixing barrel. The gas control module includes gas transmission pipe, pressure regulating valve, U-shaped branch pipe, straight branch pipe, two first pneumatic valves, second pneumatic valve, outer branch pipe and one-way valve. The pressure regulating valve is arranged on the gas transmission pipe, the U-shaped branch pipe is connected to one side of the gas transmission pipe, the straight branch pipe is arranged side by side between the U-shaped branch pipe, and the two first pneumatic valves are arranged between the U-shaped branch pipe and the U-shaped branch pipe. On the U-shaped branch pipe, the second pneumatic valve is arranged at the bottom of the straight branch pipe, one end of the outer branch pipe is connected to one end of the U-shaped branch pipe, and the one-way valve is arranged at the other end of the outer branch pipe. The utility model has high mixing efficiency, can accurately control the concentration of ozone water after mixing, is not easy to generate bubbles, and makes the process more stable and safe.

【技术实现步骤摘要】
一种高效气液混合器
本技术涉及光伏制造的水处理
，特别是涉及一种高效气液混合器。
技术介绍
随着超大规模集成电路的发展，对硅片表面的洁净度和表面态的要求越来越高。臭氧为不稳定的气体，具有强烈的腐蚀性和氧化性，利用臭氧超净水清洗硅片，可满足更加严格的硅片表面洁净度及大直径硅片工艺的要求，且大大减少对环境的污染。目前光伏行业所使用的臭氧水主要由射流器制成，采用此种方法混合效率低，会有气泡产生，并且无法精确控制混合后的臭氧水浓度。
技术实现思路
为了克服上述问题，本技术提供一种高效气液混合器。本技术的技术方案是提供一种高效气液混合器，其包括混合桶和用以控制气体进入所述混合桶的气体控制模块。所述混合桶包括上连接筒和下连接筒，所述上连接筒和所述下连接筒可拆卸地连接。所述气体控制模块连接于所述混合桶，所述气体控制模块包括气体传输管、调压阀、U形支管、直形支管、两个第一气动阀、第二气动阀、外支管和单向阀，所述调压阀设置于气体传输管上，所述U形支管连接于气体传输管的一侧，所述直形支管并排设置于U形支管之间，所述两个第一气动阀设置于U形支管上，所述第二气动阀设置于直形支管的底部，所述外支管的一端连接于U本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效气液混合器，其特征在于包括：混合桶，所述混合桶包括上连接筒和下连接筒，所述上连接筒和所述下连接筒可拆卸地连接；以及用以控制气体进入所述混合桶的气体控制模块，连接于所述混合桶，所述气体控制模块包括气体传输管、调压阀、U形支管、直形支管、两个第一气动阀、第二气动阀、外支管和单向阀，所述调压阀设置于所述气体传输管上，所述U形支管连接于所述气体传输管的一侧，所述直形支管并排设置于所述U形支管之间，所述两个第一气动阀设置于所述U形支管上，所述第二气动阀设置于所述直形支管的底部，所述外支管的一端连接于所述U形支管的其中一端，所述单向阀设置于所述外支管的另一端；其中，所述混合桶的顶部设置有用于臭...

【技术特征摘要】
1.一种高效气液混合器，其特征在于包括：混合桶，所述混合桶包括上连接筒和下连接筒，所述上连接筒和所述下连接筒可拆卸地连接；以及用以控制气体进入所述混合桶的气体控制模块，连接于所述混合桶，所述气体控制模块包括气体传输管、调压阀、U形支管、直形支管、两个第一气动阀、第二气动阀、外支管和单向阀，所述调压阀设置于所述气体传输管上，所述U形支管连接于所述气体传输管的一侧，所述直形支管并排设置于所述U形支管之间，所述两个第一气动阀设置于所述U形支管上，所述第二气动阀设置于所述直形支管的底部，所述外支管的一端连接于所述U形支管的其中一端，所述单向阀设置于所述外支管的另一端；其中，所述混合桶的顶部设置有用于臭氧气体进出所述气体控制模块内的进气口...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振交，艾凡凡，韩培育，
申请(专利权)人：苏州中世太新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32