【技术实现步骤摘要】
本技术涉及功能水生产，尤其涉及一种具有排废防回流功能的气液混合系统。
技术介绍
1、在光伏、半导体制造中，常会用到一系列的功能水，用于清洗晶圆或硅片。功能水通常的生产方式是用气体与超纯水按一定的比例在气液混合桶内混合而成。为了稳定功能水压力和流量，会在气液混合桶的前端加一个缓冲桶，通过控制缓冲桶内存水量来确保气液混合桶的稳定输出。缓冲桶需存储足够量的水，体积相对较大，机柜内部空间限制，高度方向上通常与混合桶交错放置。当停止制备功能水时，气液混合桶的进液口和进气口停止供水和气，缓冲桶的排液阀打开排液，整个管路系统无任何外加压力的情况下，排液阀第一时间无法排空缓冲桶内的液体。连通器原理，缓冲桶内的液体会迅速回流至气液混合桶内。大量液体冲入气液混合桶内会造成气液混合桶内液体经由排气口进入尾气处理装置，由于尾气处理装置中有大量的催化剂，液体回流会造成尾气处理装置的损坏和整个系统的污染。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缓冲桶内液体回流至气液混合桶内造成气液混合桶内液体经由排气口进入尾气处理装置，使尾气处理装置损坏和整个系统污染的问题，而提出的一种具有排废防回流功能的气液混合系统。
2、为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种具有排废防回流功能的气液混合系统，包括气液混合单元、缓冲单元、连接单元和控制单元。气液混合单元包括气液混合桶，气液混合桶的上端设有进液口和排气口，气液混合桶的下端设有进气口和功能水出口；缓冲单元包括缓冲桶，缓冲桶的上端设有缓冲桶
3、较佳地，气液混合单元还包括第二液位传感器，第二液位传感器设置在气液混合桶上靠近进液口的位置，第二液位传感器的输出端与控制单元的输入端电连接。进一步地，第一液位传感器到水平面的距离与第二液位传感器到水平面的距离相等。
4、较佳地，缓冲单元还包括排液阀，排液阀位于缓冲桶外且与缓冲桶出液口连接，排液阀的输入端与控制单元的输出端电连接。进一步地，第一连接端、排液阀和缓冲桶出液口三者互相连接，第一连接端位于缓冲桶出液口和排液阀之间。
5、较佳地，连接单元还包括抽水泵，抽水泵设置在连接管上位于第一液位传感器和第一连接端之间的位置，抽水泵的输入端与控制单元的输出端电连接。
6、较佳地，气液混合单元还包括第三液位传感器，第三液位传感器设置在气液混合桶上靠近功能水出口的位置，第三液位传感器的输出端与控制单元的输入端电连接。
7、较佳地，气液混合单元还包括压力传感器，压力传感器设置在气液混合桶上靠近排气口的位置，压力传感器的输出端与控制单元的输入端电连接。
8、较佳地，气液混合单元还包括尾气处理装置，排气口与尾气处理装置连接，尾气处理装置的输入端与控制单元的输出端电连接。
9、较佳地，气液混合单元还包括气体供应装置，进气口与气体供应装置连接，气体供应装置的输入端与控制单元的输出端电连接。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果为：通过在连接管上高于第一连接端的位置设置第一液位传感器来监测缓冲桶内的液体回流到连接管内的最高液位，在连接管上靠近进液口的位置设置回液阀来控制连接管内的液体不能流入气液混合桶内，第一液位传感器与回液阀形成互锁控制，保证了在停止制备功能水且连接管内的液位达到第一液位传感器所在位置时，连接管内的液体不能流入气液混合桶内，起到了防回流的功能，从而避免了对尾气处理装置的损坏和对整个系统的污染。
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1.一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，包括气液混合单元、缓冲单元、连接单元和控制单元；
2.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述气液混合单元还包括第二液位传感器，所述第二液位传感器设置在所述气液混合桶上靠近所述进液口的位置，所述第二液位传感器的输出端与所述控制单元的输入端电连接。
3.如权利要求2所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述第一液位传感器到水平面的距离与所述第二液位传感器到水平面的距离相等。
4.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述缓冲单元还包括排液阀，所述排液阀位于所述缓冲桶外且与所述缓冲桶出液口连接，所述排液阀的输入端与所述控制单元的输出端电连接。
5.如权利要求4所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述第一连接端、所述排液阀和所述缓冲桶出液口三者互相连接，所述第一连接端位于所述缓冲桶出液口和所述排液阀之间。
6.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于
7.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述气液混合单元还包括第三液位传感器，所述第三液位传感器设置在所述气液混合桶上靠近所述功能水出口的位置，所述第三液位传感器的输出端与所述控制单元的输入端电连接。
8.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述气液混合单元还包括压力传感器，所述压力传感器设置在所述气液混合桶上靠近所述排气口的位置，所述压力传感器的输出端与所述控制单元的输入端电连接。
9.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述气液混合单元还包括尾气处理装置，所述排气口与所述尾气处理装置连接，所述尾气处理装置的输入端与所述控制单元的输出端电连接。
10.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述气液混合单元还包括气体供应装置，所述进气口与所述气体供应装置连接，所述气体供应装置的输入端与所述控制单元的输出端电连接。
...【技术特征摘要】
1.一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，包括气液混合单元、缓冲单元、连接单元和控制单元；
2.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述气液混合单元还包括第二液位传感器，所述第二液位传感器设置在所述气液混合桶上靠近所述进液口的位置，所述第二液位传感器的输出端与所述控制单元的输入端电连接。
3.如权利要求2所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述第一液位传感器到水平面的距离与所述第二液位传感器到水平面的距离相等。
4.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述缓冲单元还包括排液阀，所述排液阀位于所述缓冲桶外且与所述缓冲桶出液口连接，所述排液阀的输入端与所述控制单元的输出端电连接。
5.如权利要求4所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述第一连接端、所述排液阀和所述缓冲桶出液口三者互相连接，所述第一连接端位于所述缓冲桶出液口和所述排液阀之间。
6.如权利要求1所述的一种具有排废防回流功能的气液混合系统，其特征在于，所述连接单元还包括抽水泵，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振交，江铁军，
申请(专利权)人：苏州中世太新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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