【技术实现步骤摘要】
本技术涉及臭氧水处理，尤其涉及一种臭氧水分解设备。
技术介绍
1、随着工业技术水平的不断发展，臭氧水洁净清洗工艺在光伏和半导体制造领域的应用愈发广泛。由于臭氧水属于特殊液体，使用后对其排放有严格的要求，浓度需降低到一定标准以后才能排入厂务排废系统进行后处理，因此在臭氧水排入厂务排废系统之前，需对臭氧水进行分解处理，降低其浓度。目前市面上常用的方法是用uv紫外汞灯照射，利用光子能破坏臭氧的分子键将其分解，此方法需尽量延长臭氧水与uv紫外汞灯接触的时间，短时间的接触往往达不到理想的分解效果。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了延长臭氧水与uv紫外汞灯接触的时间，保证臭氧水的分解效果，而提出的一种臭氧水分解设备。
2、为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种臭氧水分解设备，包括槽体和紫外汞灯，紫外汞灯设置在槽体的中心位置，槽体上自紫外汞灯向外依次设有内层分解通道和外层分解通道，内层分解通道包括设置在紫外汞灯两侧的内层进液端和内层出液端，外层分解通道包括设置在紫外汞灯两侧的外层...
【技术保护点】
1.一种臭氧水分解设备，其特征在于，包括槽体和紫外汞灯，所述紫外汞灯设置在所述槽体的中心位置，所述槽体上自所述紫外汞灯向外依次设有内层分解通道和外层分解通道，所述内层分解通道包括设置在所述紫外汞灯两侧的内层进液端和内层出液端，所述外层分解通道包括设置在所述紫外汞灯两侧的外层进液端和外层出液端，所述槽体的上表面上与所述内层进液端对应的位置设有臭氧水入口，所述槽体的上表面上与所述内层出液端对应的位置设有气体出口，所述槽体的上表面上或者所述槽体的槽壁上与所述外层出液端对应的位置设有臭氧水出口，所述臭氧水入口与所述内层进液端连通，所述内层出液端与所述外层进液端连通，所述内层出...
【技术特征摘要】
1.一种臭氧水分解设备，其特征在于，包括槽体和紫外汞灯，所述紫外汞灯设置在所述槽体的中心位置，所述槽体上自所述紫外汞灯向外依次设有内层分解通道和外层分解通道，所述内层分解通道包括设置在所述紫外汞灯两侧的内层进液端和内层出液端，所述外层分解通道包括设置在所述紫外汞灯两侧的外层进液端和外层出液端，所述槽体的上表面上与所述内层进液端对应的位置设有臭氧水入口，所述槽体的上表面上与所述内层出液端对应的位置设有气体出口，所述槽体的上表面上或者所述槽体的槽壁上与所述外层出液端对应的位置设有臭氧水出口，所述臭氧水入口与所述内层进液端连通，所述内层出液端与所述外层进液端连通，所述内层出液端与所述气体出口连通，所述外层出液端与所述臭氧水出口连通。
2.如权利要求1所述的一种臭氧水分解设备，其特征在于，还包括内层螺旋式流道，所述内层螺旋式流道设置在所述内层分解通道内。
3.如权利要求2所述的一种臭氧水分解设备，其特征在于，所述内层...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振交，江铁军，
申请(专利权)人：苏州中世太新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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