The invention discloses a preparation process of ZrNx/(ZrAlFe)N/(ZrAlFeM)N composite gradient coating on the surface of zirconium alloy, in which M is any two elements of Ti, V and Nb. The specific process includes substrate pretreatment, target cleaning and deposition of ZrNx/(ZrAlFe)N/(ZrAlFeM)N composite coating. The preparation of ZrNx/(ZrAlFe)N gradient transition layer is divided into two steps: the first step is to deposit Zr coating on the substrate for 3 minutes; the second step is to deposit ZrNx from 0 SCCM to 6 SCCM with N2 flow rate of 2 sccm/min; the second step is to prepare (ZrAlFe)N multicomponent nitride coating. In the deposited (ZrAlFe) N transition layer, the atomic content of Zr varies from 100 at%-30 at% along the thickness direction, and the atomic content of Al and Fe varies from 0 at%-35 at% along the thickness direction. The atomic content of Zr, Al, Fe and M in the deposited (ZrAlFeM) N multicomponent nitride coating ranges from 10 at%-35 at% and the atomic content of N from 5 at%-20 at%. By designing the gradient structure of the coating, the process has the characteristics of relieving residual stress, high temperature oxidation resistance and excellent mechanical properties.
【技术实现步骤摘要】
抗高温氧化ZrNx/(ZrAlFe)N/(ZrAlFeM)N复合梯度涂层制备工艺
本专利技术属于反应堆核燃料锆合金包壳表面改性
,具体涉及一种采用多靶共溅射技术在锆合金表面制备出具有高温抗氧化性能、耐腐蚀和力学性能优异的ZrNx/(ZrAlFe)N/(ZrAlFeM)N复合梯度涂层制备方法。
技术介绍
核能作为一种高效清洁的能源,在解决能源危机以及保护环境问题等方面具有显著的优势。目前,锆合金具有机械加工性能好、小的中子吸收截面和良好的耐腐蚀性能、与铀燃料良好的相容性等一系列优点,因此被广泛应用于反应堆的核燃料包壳管以及结构材料等。锆合金在高温蒸汽环境中极易与水发生氧化反应形成氢气,在核反应堆失水事故工况下,锆合金管温度急剧上升并与水蒸气发生剧烈反应从而引起“氢爆”,见文献[杨忠波,赵文金.锆合金耐腐蚀性能及氧化特性概述[J].材料导报,2010,24(17):120-125]。表明现有的燃料包壳已不能满足事故安全性的要求,因此,开发新型的抗高温氧化、耐腐蚀性能、力学性能优异的核燃料包壳材料或者发展锆合金包壳材料表面涂层技术已经刻不容缓。材料表面涂覆金属或陶瓷涂层可以作为改善金属等材料表面耐腐蚀、抗高温氧化、力学性能的重要手段。自2011年福岛核事故发生之后,主要以提高锆合金事故容错能力为目标,抗水蒸气氧化性能是其最重要的性能评价指标之一,在锆合金表面沉积一层保护涂层,不仅可以提高其抗高温氧化性能,还能保护锆合金的整体性能。研究的涂层分别有金属涂层(FeCrAl)、碳化物(SiC、ZrC等)、氮化物(TiN),其中氮化物如TiN、TiAlN、ZrN等 ...
【技术保护点】
1.一种锆合金包壳表面抗高温氧化ZrNx/(ZrAlFe)N/(ZrAlFeM)N复合梯度涂层制备工艺,其特征在于包含以下步骤:a、清洗基体材料:依次采用不同粗糙度的水砂纸对锆合金(Zr4合金)基体进行研磨抛光;随后采用丙酮和乙醇做溶剂在超声波仪中进行脱脂除油清洗;随后再用去离子水清洗,干燥后放入真空室内,抽真空度<5.0×10‑4 Pa;b、沉积前对基体的处理:保持真空室真空<5.0×10‑4 Pa条件下,采用偏压反溅射清洗15 min,目的是对锆合金基体进行反溅清洗;反溅射偏压电压为‑450 V;反溅射气体为Ar;真空室内反溅射气压为3.5 Pa;c、预溅射:保持真空室真空<5.0×10‑4 Pa条件下,采用预溅射对各靶材清洗15 min,目的是去除靶材表面的杂质;预溅射功率为120 W;预溅射偏压为‑120 V;预溅射气体为Ar;真空室内预溅射气压为0.30 Pa;d、溅射沉积ZrNx/(ZrAlFe)N/(ZrAlFeM)N复合梯度涂层:采用超高真空多靶共溅射技术,向真空室内通入Ar气,在基底上沉积Zr涂层,Ar流量为50 sccm,偏压工作电压为‑80 V,沉积3 min后接 ...
【技术特征摘要】
1.一种锆合金包壳表面抗高温氧化ZrNx/(ZrAlFe)N/(ZrAlFeM)N复合梯度涂层制备工艺,其特征在于包含以下步骤:a、清洗基体材料:依次采用不同粗糙度的水砂纸对锆合金(Zr4合金)基体进行研磨抛光;随后采用丙酮和乙醇做溶剂在超声波仪中进行脱脂除油清洗;随后再用去离子水清洗,干燥后放入真空室内,抽真空度<5.0×10-4Pa;b、沉积前对基体的处理:保持真空室真空<5.0×10-4Pa条件下,采用偏压反溅射清洗15min,目的是对锆合金基体进行反溅清洗;反溅射偏压电压为-450V;反溅射气体为Ar;真空室内反溅射气压为3.5Pa;c、预溅射:保持真空室真空<5.0×10-4Pa条件下,采用预溅射对各靶材清洗15min,目的是去除靶材表面的杂质;预溅射功率为120W;预溅射偏压为-120V;预溅射气体为Ar;真空室内预溅射气压为0.30Pa;d、溅射沉积ZrNx/(ZrAlFe)N/(ZrAlFeM)N复合梯度涂层:采用超高真空多靶共溅射技术,向真空室内通入Ar气,在基底上沉积Zr涂层,Ar流量为50sccm,偏压工作电压为-80V,沉积3min后接着向真空腔以通入N2流量沉积ZrNx涂层,通入N2流量过程以流速为2sccm/min从0sccm增加至6sccm,然后同时开启Al靶、Fe靶开始共溅射沉积(ZrAlFe)N涂层,溅射工作气压为0.30Pa~0.50Pa层;在沉积过渡层过程中始终保持Zr的溅射功率为110W,Al靶溅射功率从0W以10W/min速率逐渐增加到100W,Fe靶溅射功率从0W以10W/min速率逐渐增加到100W,沉积时间10mi...
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