带有透明电极的压电薄膜和压力传感器制造技术

本发明专利技术的带有透明电极的压电薄膜(1)具备：包含第1基材薄膜(11)与具有压电性的涂层(12)的层叠体的压电薄膜(13)；以及层叠于具有压电性的涂层(12)上的第1透明电极(14)。具有压电性的涂层(12)包含氟树脂。氟树脂是偏氟乙烯的聚合物或选自偏氟乙烯、三氟乙烯、三氟氯乙烯中的2种以上的共聚物。具有压电性的涂层(12)通过将氟树脂的溶液涂布于第1基材薄膜(11)并进行干燥而得到。通过本发明专利技术的压电薄膜实现雾度值小、总透光率高的带有透明电极的压电薄膜。

Piezoelectric thin films and pressure sensors with transparent electrodes

The piezoelectric film (1) with transparent electrodes of the present invention has: a piezoelectric film (13) comprising a laminate of a first substrate film (11) and a piezoelectric coating (12); and a first transparent electrode (14) overlapped on a piezoelectric coating (12). The piezoelectric coating (12) contains fluororesin. Fluororesin is a polymer of vinylidene fluoride or more than two copolymers selected from vinylidene fluoride, trifluoroethylene and trifluorochloroethylene. A piezoelectric coating (12) is obtained by coating a solution of fluororesin on the first substrate film (11) and drying it. The piezoelectric thin film with transparent electrodes is realized by the piezoelectric thin film of the invention, which has small mist value and high total transmittance.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有透明电极的压电薄膜和压力传感器
本专利技术涉及带有透明电极的压电薄膜和压力传感器。
技术介绍
通常，对于触摸面板，对触摸触摸面板表面的手指或笔在表面上的二维位置进行检测。(以下将“手指或笔”简称为“手指”，将手指或笔在触摸面板表面上的二维位置称为“手指的XY坐标”。)在该情况下不能检测出手指触摸的压力。(以下将手指触摸的压力大小考虑为处于Z轴方向，并称为“手指的Z坐标”。)即无论手指触摸的压力(手指的Z坐标)大小如何，可检测出的仅是手指触摸位置的XY坐标。然而，根据触摸面板上使用的应用程序，有时也需要识别手指触摸的压力(手指的Z坐标)。通常的静电容量式触摸面板的情况下，通过手指触摸来选择触摸的位置，同时执行处于触摸的位置的命令。在静电容量式触摸面板的灵敏度非常高的情况下，仅通过手指接近静电容量式触摸面板(即使手指不触摸)就可选择与手指最接近的位置，同时执行处于该位置的命令。然而，例如在工作机械的操作面板等上不容许执行错误的命令的情况下，理想的是使选择与执行分开。即，为了防止误操作，理想的是，通过手指触摸(或通过手指接近)来选择命令，但仅靠这样并不会执行命令，接着通过手指施加压力才本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有透明电极的压电薄膜，其具备：包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；及在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.30 JP 2016-107051;2017.05.26 JP 2017-104591.一种带有透明电极的压电薄膜，其具备：包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；及在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。2.根据权利要求1所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面具备至少1层第2透明电极。3.根据权利要求1所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面进一步依次设置的、至少1层透明粘合层、至少1层第2透明电极、至少1层第2基材薄膜。4.根据权利要求3所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第2透明电极与所述第2基材薄膜之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。5.根据权利要求1～4中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述具有压电性的涂层与所述第1透明电极之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。6.根据权利要求5所述的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层的厚度为0.5～10μm，光学调整层的厚度为80～160nm，第1透明电极的厚度为20nm以上。7.根据权利要求5或6所述的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层的折射率为1.40～1.50，光学调整层的折射率为1.50～1.70，第1透明电极的折射率为1.90～2.10。8.根据权利要求1～7中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜与所述具有压电性的涂层之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。9.根据权利要求1～7中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述第1基材薄膜或第2基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面设置的至少1层防粘连层。10.一种带有透明电极的压电薄膜，其具备：包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；及在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。11.根据权利要求10所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面具备至少1层第2透明电极。12.根据权利要求10所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面进一步依次设置的、至少1层透明粘合层、至少1层第2透明电极、至少1层第2基材薄膜。13.根据权利要求12所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第2透明电极与所述第2基材薄膜之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。14.根据权利要求10～13中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜与所述具有压电性的涂层之间具备至少一层的选...

【专利技术属性】
技术研发人员：拝师基希，矢野孝伸，别府浩史，木曽宪俊，梨木智刚，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP