尾气处理冷阱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种尾气处理冷阱，包括：设有尾气入口的下壳体、设有尾气出口的上壳体、连接在所述下壳体上的多个柱状的由导热材料制成的冷却棒以及设有多个第一过孔的由导热材料制成的滤网板；所述上壳体与所述下壳体连接以形成冷却腔室，所述冷却棒及所述滤网板置于所述冷却腔室的内部；其中，所述滤网板通过所述第一过孔套设在所述冷却棒上，且所述冷却棒的外壁与所述第一过孔的内壁接触。相比现有的冷却设备结构，本实用新型专利技术能够获得更佳的冷却和沉积效果；而且套设结构的滤网板不仅便于拆卸和清理，在拆卸、移动滤网板时，滤网板还能够清理冷却棒外壁附着的沉积物，使其冷却效果得以保证。

【技术实现步骤摘要】
尾气处理冷阱
本技术涉及工业尾气处理领域，尤其涉及一种尾气处理冷阱。
技术介绍
在半导体行业、太阳能行业、LED行业、平板显示行业和光纤行业快速发展的今天，化学气相沉积、刻蚀等工艺使用范围越来越广泛。但是相关生产工艺大部分都涉及到有毒材料、易燃易爆材料或腐蚀性原材料，因而导致在工艺过程中产生的尾气内往往含有低熔点的副产物。例如在上述行业广泛使用的抽真空工艺产生的尾气中，所含低熔点副产物非常容易污染相关的真空设备，例如沉积在真空管道内、真空阀门的缝隙、真空规的检验入口处以及真空泵内，相应造成真空管道堵塞、阀门开启失效或关闭不严、真空规读数误差以及真空泵失效等不良后果，严重时甚至导致整个工艺线停机，对工艺生产影响较大。然而现有的冷却处理设备由于结构合理性不佳，不仅导致冷却效果不充分而且难于清理冷却后的沉积物。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种便于清理的尾气处理冷阱，用于对前述尾气进行充分冷却以有效捕捉尾气内所含副产物。本技术采用的技术方案如下：一种尾气处理冷阱，包括：设有尾气入口的下壳体、设有尾气出口的上壳体、连接在所述下壳体上的多个柱状的由导热材料制成的冷却棒以及设有多个第一过孔的由导热材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尾气处理冷阱，其特征在于，包括：设有尾气入口的下壳体、设有尾气出口的上壳体、连接在所述下壳体上的多个柱状的由导热材料制成的冷却棒以及设有多个第一过孔的由导热材料制成的滤网板；所述上壳体与所述下壳体连接以形成冷却腔室，所述冷却棒及所述滤网板置于所述冷却腔室的内部；其中，所述滤网板通过所述第一过孔套设在所述冷却棒上，且所述冷却棒的外壁与所述第一过孔的内壁接触。

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理冷阱，其特征在于，包括：设有尾气入口的下壳体、设有尾气出口的上壳体、连接在所述下壳体上的多个柱状的由导热材料制成的冷却棒以及设有多个第一过孔的由导热材料制成的滤网板；所述上壳体与所述下壳体连接以形成冷却腔室，所述冷却棒及所述滤网板置于所述冷却腔室的内部；其中，所述滤网板通过所述第一过孔套设在所述冷却棒上，且所述冷却棒的外壁与所述第一过孔的内壁接触。2.根据权利要求1所述的尾气处理冷阱，其特征在于，在所述冷却腔室的内部设有预冷腔，所述预冷腔靠近所述尾气入口并与所述冷却腔室连通；所述滤网板位于所述预冷腔外。3.根据权利要求2所述的尾气处理冷阱，其特征在于，所述尾气处理冷阱还包括设有多个气孔的匀气板，所述匀气板置于所述预冷腔与所述滤网板之间。4.根据权利要求3所述的尾气处理冷阱，其特征在于，所述匀气板设有用于套设所述冷却棒的第二过孔。5.根据权利要求1所述的尾气处理冷阱，其特征在于，在所述冷却腔室的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵青松，宁红锋，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11