【技术实现步骤摘要】
一种提高精度的小型升降平台
:本技术涉及高精度光刻机和光学仪器
,尤其涉及一种提高精度的小型升降平台。
技术介绍
:现有的光刻机通过使用升降平台来进行PCB板面成像焦距的调节,因此升降平台的稳定性和精度直接影响光刻成像的质量和效率,二现有的用于光刻机的升降平台的稳定性和精度较低,生产过程中不良率较高,生产效率低下。
技术实现思路
:针对上述问题,本技术要解决的技术问题是提供一种提高精度的小型升降平台。本技术的一种提高精度的小型升降平台,包括小型升降平台主体,所述小型升降平台主体包括安装底板、电机座、U型侧板、上台面、伺服电机、联轴器、滚珠丝杆、上极限传感器和下极限传感器,所述电机座设于安装底板上方,所述安装底板上方两侧设有U型侧板,所述U型侧板和上台面之间通过上下直线导轨连接,所述上下直线导轨连接有上下滑块,所述伺服电机固定在电机座上并通过联轴器连接滚珠丝杆,所述联轴器连接丝杆轴和电机轴,所述滚珠丝杆通过轴承座固定在安装底板上,所述滚珠丝杆连接有下斜楔块,所述下斜楔块通过斜楔直线导轨连接上斜楔块,所述上斜楔块连接上台面,所述上极限传感器和下极限传感器均连接在U型侧板 ...
【技术保护点】
1.一种提高精度的小型升降平台,其特征在于,包括小型升降平台主体,所述小型升降平台主体包括安装底板、电机座、U型侧板、上台面、伺服电机、联轴器、滚珠丝杆、上极限传感器和下极限传感器,所述电机座设于安装底板上方,所述安装底板上方两侧设有U型侧板,所述U型侧板和上台面之间通过上下直线导轨连接,所述上下直线导轨连接有上下滑块,所述伺服电机固定在电机座上并通过联轴器连接滚珠丝杆,所述联轴器连接丝杆轴和电机轴,所述滚珠丝杆通过轴承座固定在安装底板上,所述滚珠丝杆连接有下斜楔块,所述下斜楔块通过斜楔直线导轨连接上斜楔块,所述上斜楔块连接上台面,所述上极限传感器和下极限传感器均连接在U型 ...
【技术特征摘要】
1.一种提高精度的小型升降平台,其特征在于,包括小型升降平台主体,所述小型升降平台主体包括安装底板、电机座、U型侧板、上台面、伺服电机、联轴器、滚珠丝杆、上极限传感器和下极限传感器,所述电机座设于安装底板上方,所述安装底板上方两侧设有U型侧板,所述U型侧板和上台面之间通过上下直线导轨连接,所述上下直线导轨连接有上下滑块,所述伺服电机固定在电机座上并通过联轴器连接滚珠丝杆,所述联轴器连接丝杆轴和电机轴,所述滚珠丝杆通过轴承座固定在安装底板上,所述滚珠丝杆连接有下斜楔块,所述下斜楔块通过斜楔直线导轨连接上斜楔块,所述上斜楔块连接上台面,所述上极限传感器和下极限传感器均连接在U型侧板上,所述小型升降平台主体内部设有控制器、伺服驱动器和编码器,所述控制器分别与上极限传感器、下极限传感器、伺服驱动器、编码器和计算...
【专利技术属性】
技术研发人员:章卫平,胥涛棚,刘栋,刘金武,张雷,蔡瑞,
申请(专利权)人:苏州源卓光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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