【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】进口组件
本专利技术涉及用于燃烧器的进口组件和方法。技术背景辐射式燃烧器是已知的且通常用于处理来自在例如半导体或平板显示器制造业中使用的制造过程工具的流出气体流。在这样的制造期间，在从过程工具泵送的流出气体流中存在残留的全氟化合物（PFC）和其他化合物。PFC难以从流出气体移除，且不希望其释放到环境中，因为已知其具有相对高的温室活性。已知的辐射式燃烧器使用燃烧来从流出气体流移除PFC和其他化合物。通常，流出气体流是含有PFC和其他化合物的氮气流。燃料气体与流出气体流混合，且该气体流混合物被输送到由有小孔的气体燃烧器的离开表面侧向环绕的燃烧室。燃料气体和空气被同时供应到有小孔的燃烧器，以影响在离开表面处的无焰燃烧，其中，传递通过有小孔的燃烧器的空气量不仅足以消耗供应至燃烧器的燃料气体，而且还能消耗在喷射到燃烧室中的气体流混合物中的所有易燃物。在流出气体流中存在的化合物的范围和该流出气体流的流动特性能够随着过程工具的不同而变化，且因此，燃料气体和空气连同需要被引入到辐射式燃烧器中的其他气体或流体的范围也将变化。尽管存在用于处理流出气体流的技术，但是其各自具有其自己...
【技术保护点】
1.一种用于燃烧器的进口组件，所述进口组件包括：进口喷嘴，其限定进口孔口，其能够与提供流出气体流以用于通过所述燃烧器处理的进口导管联接，非圆形出口孔口，喷嘴内孔，其在所述进口孔口和所述出口孔口之间沿着纵向轴线延伸以用于将所述流出气体流从所述进口孔口输送至所述出口孔口以递送至所述燃烧器的所述燃烧室，所述喷嘴内孔具有从所述进口孔口延伸的进口部分和延伸至所述非圆形出口孔口的出口部分，联接所述进口部分与所述出口部分的挡板，所述挡板限定定位在所述喷嘴内孔内的挡板孔口，所述挡板孔口与所述出口部分的邻近所述挡板的横截面面积相比具有减小的横截面面积，以及第二气体流喷嘴，其能够与提供第二气体...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.18 GB 1608714.01.一种用于燃烧器的进口组件，所述进口组件包括：进口喷嘴，其限定进口孔口，其能够与提供流出气体流以用于通过所述燃烧器处理的进口导管联接，非圆形出口孔口，喷嘴内孔，其在所述进口孔口和所述出口孔口之间沿着纵向轴线延伸以用于将所述流出气体流从所述进口孔口输送至所述出口孔口以递送至所述燃烧器的所述燃烧室，所述喷嘴内孔具有从所述进口孔口延伸的进口部分和延伸至所述非圆形出口孔口的出口部分，联接所述进口部分与所述出口部分的挡板，所述挡板限定定位在所述喷嘴内孔内的挡板孔口，所述挡板孔口与所述出口部分的邻近所述挡板的横截面面积相比具有减小的横截面面积，以及第二气体流喷嘴，其能够与提供第二气体流的第二气体流导管联接，所述第二气体流喷嘴被定位成使所述第二气体流与所述喷嘴内孔内的所述流出气体流混合。2.根据权利要求1所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴被定位成使所述流出气体流与所述第二气体流相交。3.根据权利要求1或2所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴被定向成横向于所述纵向轴线喷射所述第二气体流。4.根据任一前述权利要求所述的进口组件，其中，所述挡板孔口被构造成在所述出口部分内的所述流出气体流中产生涡流，且所述第二气体流喷嘴被定位成喷射所述第二气体流以相切于所述涡流流动。5.根据权利要求4所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴被定位成喷射所述第二气体流以随着所述涡流的流动方向相切地流动。6.根据权利要求4或5所述的进口组件，其中，所述涡流具有靠近所述挡板孔口的内流动区域和靠近所述出口部分喷嘴内孔的外流动区域，且所述第二气体流喷嘴被定位成喷射所述第二气体流以随着所述内流动区域中的所述涡流的流动方向相切地流动。7.根据任一前述权利要求所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴靠近所述挡板被定位。8.根据任一前述权利要求所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴被定位在所述进口部分和所述出口部分中的至少一个内。...
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