进口组件制造技术

公开了一种用于燃烧器的进口组件和方法。用于燃烧器的进口组件包括：进口喷嘴，其限定进口孔口，该进口孔口能够与提供流出气体流以用于通过燃烧器处理的进口导管联接、非圆形出口孔口、喷嘴内孔，其在进口孔口和出口孔口之间沿着纵向轴线延伸以用于将流出气体流从进口孔口输送至出口孔口以递送至燃烧器的燃烧室，喷嘴内孔具有从进口孔口延伸的进口部分和延伸至非圆形出口孔口的出口部分、联接进口部分与出口部分的挡板，挡板限定定位在喷嘴内孔内的挡板孔口，挡板孔口与出口部分的邻近挡板的横截面面积相比具有减小的横截面面积，以及第二气体流喷嘴，其能够与提供第二气体流的第二气体流导管联接，第二气体流喷嘴被定位成使第二气体流与喷嘴内孔内的流出气体流混合。以这种方式，非圆形出口孔口将与第二气体混合的非圆形流出气体流流动提供到燃烧室中。非圆形流出气体流动使与第二气体混合的更大体积的流出气体流能够被引入到燃烧室中，同时仍然实现或超过所要求的消减水平。这是因为，与等效的圆形流出气体流的扩散和反应需要沿着其发生的距离相比，非圆形流出气体流提供扩散和反应需要沿着其发生的减小的距离。因此，与等效的圆形流出气体流和第二气体流混合物的体积相比，能够消减增加体积的流出气体流。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】进口组件
本专利技术涉及用于燃烧器的进口组件和方法。技术背景辐射式燃烧器是已知的且通常用于处理来自在例如半导体或平板显示器制造业中使用的制造过程工具的流出气体流。在这样的制造期间，在从过程工具泵送的流出气体流中存在残留的全氟化合物（PFC）和其他化合物。PFC难以从流出气体移除，且不希望其释放到环境中，因为已知其具有相对高的温室活性。已知的辐射式燃烧器使用燃烧来从流出气体流移除PFC和其他化合物。通常，流出气体流是含有PFC和其他化合物的氮气流。燃料气体与流出气体流混合，且该气体流混合物被输送到由有小孔的气体燃烧器的离开表面侧向环绕的燃烧室。燃料气体和空气被同时供应到有小孔的燃烧器，以影响在离开表面处的无焰燃烧，其中，传递通过有小孔的燃烧器的空气量不仅足以消耗供应至燃烧器的燃料气体，而且还能消耗在喷射到燃烧室中的气体流混合物中的所有易燃物。在流出气体流中存在的化合物的范围和该流出气体流的流动特性能够随着过程工具的不同而变化，且因此，燃料气体和空气连同需要被引入到辐射式燃烧器中的其他气体或流体的范围也将变化。尽管存在用于处理流出气体流的技术，但是其各自具有其自己的缺点。因此，期望提供用于处理流出气体流的改善的技术。
技术实现思路
根据第一方面，提供用于燃烧器的进口组件，进口组件包括：进口喷嘴，其限定：能够与提供流出气体流以通过燃烧器处理的进口导管联接的进口孔口；非圆形出口孔口；喷嘴内孔，其在进口孔口和出口孔口之间沿着纵向轴线延伸以用于将流出气体流从进口孔口输送至出口孔口以递送至燃烧器的燃烧室，喷嘴内孔具有从进口孔口延伸的进口部分和延伸至非圆形出口孔口的出口部分；联接进口部分与出口部分的挡板，挡板限定定位在喷嘴内孔内的挡板孔口，挡板孔口相比于邻近挡板的出口部分的横截面面积具有减小的横截面面积；以及第二气体流喷嘴，其能够与提供第二气体流的第二气体流导管联接，第二气体流喷嘴定位成使第二气体流与喷嘴内孔内的流出气体流混合。第一方面认识到，流出气体的处理能够造成问题，尤其是当那些流出气体的流动增加时。例如，过程工具可以输出五种流出气体流以用于处理，每一种均具有多达300升每分钟的流动速率（即，总共1,500升每分钟）。然而，现有的燃烧器进口组件通常具有四个或六个喷嘴，每一个能够支持大约仅50升每分钟的流动速率（总共能够实现仅200至300升每分钟的处理）。这是因为流出物处理机制通常依赖于在辐射式燃烧器内的扩散过程；燃烧副产物需要扩散到流出物流中以便执行消减反应。换言之，燃烧副产物需要从流出物流的外表面一直扩散到流出物流中，并且然后在流出物流离开辐射式燃烧器之前与流出物流反应。不能完全扩散到流出物流中将降低消减效力。如果通过现有的喷嘴的流动速率增加以适应增加量的流出物流，则辐射式燃烧器的长度将需要成比例地增加以确保扩散和反应可以在更快移动的流出物流离开辐射式燃烧器之前发生。同样，如果现有的喷嘴的直径增加以适应增加量的流出物流，则由于在更大直径的流出物流中发生扩散和反应所花费的时间增加，所以辐射式燃烧器的长度将需要成比例地增加。相应地，提供用于燃烧器的进口组件。进口组件可以包括进口喷嘴。进口喷嘴可以限定或成形为提供进口孔口或开口。进口孔口可以与进口导管联接或连接，进口导管提供待通过燃烧器处理的流出气体流。进口喷嘴还可以限定或成形为提供非圆形出口孔口。进口喷嘴还可以限定或成形为提供喷嘴内孔，其在进口孔口和出口孔口之间延伸。喷嘴内孔可以沿着纵向轴线或流出气体流流动轴线延伸，以将流出物流从进口孔口输送至出口孔口，以便被递送至燃烧器的燃烧室。喷嘴内孔还可以由从进口孔口延伸或靠近进口孔口的进口部分形成。喷嘴内孔还可具有出口部分，其延伸至非圆形出口孔口或靠近非圆形出口孔口。进口喷嘴还可具有第二气体流喷嘴，其可以与提供第二气体流的第二气体流导管联接或连接。第二气体流喷嘴可以定位或置放成使第二气体流与喷嘴内孔内的流出气体流混合、掺混或者组合。以这种方式，非圆形出口孔口将与第二气体混合的非圆形流出气体流流动提供到燃烧室中。非圆形流出气体流动使与第二气体混合的更大体积的流出气体流能够被引入到燃烧室中，同时仍然实现或超过所要求的消减水平。这是因为，与等效的圆形流出气体流的扩散和反应需要沿着其发生的距离相比，非圆形流出气体流提供扩散和反应需要沿着其发生的减小的距离。因此，与等效的圆形流出气体流和第二气体流混合物的体积相比，能够消减增加体积的流出气体流。在一个实施例中，第二气体流喷嘴定位成使流出气体流与第二气体流相交。相应地，第二气体流喷嘴可以置放或定位成以便流出气体流流动和第二气体流流动相交、交叉或重叠，以便改善第二气体流与流出气体流的混合。在一个实施例中，第二气体流喷嘴定向成横向于纵向轴线喷射第二气体流。相应地，第二气体流喷嘴可以定向或定位成沿横向、偏斜或倾斜于流出气体流大体沿着其流动的纵向轴线的方向喷射或提供第二气体流流动。再次，这帮助改善第二气体流与流出气体流的混合。在一个实施例中，挡板孔口构造成在出口部分内的流出气体流中产生涡流，且第二气体流喷嘴定位成喷射第二气体流以相切于涡流流动。相应地，挡板孔口可以构造成或布置成在出口部分内的气体流中产生涡流、紊流或漩涡。这样的涡流可以在流出气体流离开挡板孔口时的膨胀期间产生。第二气体流喷嘴可以定位、定向或置放成沿相切于涡流的相交部分流动的方向喷射或提供第二气体流。在一个实施例中，第二气体流喷嘴定位成喷射第二气体流以随着涡流的流动方向相切地流动。相应地，第二气体流喷嘴可以定位、置放或者定向成沿相切地流动的方向连同涡流的相交部分的流动方向喷射或提供第二气体流。相应地，第二气体流可以与涡流的那部分一起流动，以帮助传播涡流，这进一步辅助第二气体流与流出气体流的稳定混合。在一个实施例中，涡流具有靠近挡板孔口的内流动区域和靠近出口部分喷嘴内孔的外流动区域，且第二气体流喷嘴定位成喷射第二气体流以随着内流动区域中的涡流的流动方向相切地流动。相应地，涡流可以具有两个区域或部分。内流动区域可以被提供为最接近挡板孔口的径向最内部，且外流动区域可以被提供为最接近出口部分喷嘴内孔的径向最外部。第二气体流喷嘴可以定位、置放或者定向成沿相切于内流动区域中的涡流的流动方向的方向喷射或提供第二气体流流动。这帮助以稳定方式改善第二气体流与流出气体流的混合。在一个实施例中，第二气体流喷嘴靠近挡板定位。相应地，第二气体流可以靠近、接近或者邻近挡板定位或置放。这帮助确保第二气体流在其中混合是最剧烈的位置处被引入。在一个实施例中，第二气体流喷嘴定位在进口部分和出口部分中的至少一个内。相应地，第二气体流喷嘴可以定位在进口部分或出口部分内，或者第二气体流喷嘴可以放置在两者中。在一个实施例中，第二气体流喷嘴定向成以相对于纵向轴线在0°和90°之间的角度喷射第二气体流。相应地，第二气体流喷嘴可以定向、置放或定位成以相对于流出气体流的流动方向成0°至90°的角度喷射或提供第二气体流流动。这帮助混合第二气体流与流出气体流。在一个实施例中，第二气体流喷嘴定向成以相对于纵向轴线在10°和40°之间的角度喷射第二气体流。在一个实施例中，第二气体流喷嘴定向成以相对于纵向轴线在10°和30°之间的角度喷射第二气体流。在一个实施例中，第二气体流喷嘴定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于燃烧器的进口组件，所述进口组件包括：进口喷嘴，其限定进口孔口，其能够与提供流出气体流以用于通过所述燃烧器处理的进口导管联接，非圆形出口孔口，喷嘴内孔，其在所述进口孔口和所述出口孔口之间沿着纵向轴线延伸以用于将所述流出气体流从所述进口孔口输送至所述出口孔口以递送至所述燃烧器的所述燃烧室，所述喷嘴内孔具有从所述进口孔口延伸的进口部分和延伸至所述非圆形出口孔口的出口部分，联接所述进口部分与所述出口部分的挡板，所述挡板限定定位在所述喷嘴内孔内的挡板孔口，所述挡板孔口与所述出口部分的邻近所述挡板的横截面面积相比具有减小的横截面面积，以及第二气体流喷嘴，其能够与提供第二气体流的第二气体流导管联接，所述第二气体流喷嘴被定位成使所述第二气体流与所述喷嘴内孔内的所述流出气体流混合。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.18 GB 1608714.01.一种用于燃烧器的进口组件，所述进口组件包括：进口喷嘴，其限定进口孔口，其能够与提供流出气体流以用于通过所述燃烧器处理的进口导管联接，非圆形出口孔口，喷嘴内孔，其在所述进口孔口和所述出口孔口之间沿着纵向轴线延伸以用于将所述流出气体流从所述进口孔口输送至所述出口孔口以递送至所述燃烧器的所述燃烧室，所述喷嘴内孔具有从所述进口孔口延伸的进口部分和延伸至所述非圆形出口孔口的出口部分，联接所述进口部分与所述出口部分的挡板，所述挡板限定定位在所述喷嘴内孔内的挡板孔口，所述挡板孔口与所述出口部分的邻近所述挡板的横截面面积相比具有减小的横截面面积，以及第二气体流喷嘴，其能够与提供第二气体流的第二气体流导管联接，所述第二气体流喷嘴被定位成使所述第二气体流与所述喷嘴内孔内的所述流出气体流混合。2.根据权利要求1所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴被定位成使所述流出气体流与所述第二气体流相交。3.根据权利要求1或2所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴被定向成横向于所述纵向轴线喷射所述第二气体流。4.根据任一前述权利要求所述的进口组件，其中，所述挡板孔口被构造成在所述出口部分内的所述流出气体流中产生涡流，且所述第二气体流喷嘴被定位成喷射所述第二气体流以相切于所述涡流流动。5.根据权利要求4所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴被定位成喷射所述第二气体流以随着所述涡流的流动方向相切地流动。6.根据权利要求4或5所述的进口组件，其中，所述涡流具有靠近所述挡板孔口的内流动区域和靠近所述出口部分喷嘴内孔的外流动区域，且所述第二气体流喷嘴被定位成喷射所述第二气体流以随着所述内流动区域中的所述涡流的流动方向相切地流动。7.根据任一前述权利要求所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴靠近所述挡板被定位。8.根据任一前述权利要求所述的进口组件，其中，所述第二气体流喷嘴被定位在所述进口部分和所述出口部分中的至少一个内。...

【专利技术属性】
技术研发人员：ID本泽瓦尔，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB