一种新型梳齿电极板微加速度计及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种包含新型梳齿电极板的微加速度计。本发明专利技术中的微加速度计由下列部分组成：硅层的锚点、质量块，U型梁、栅形电极、驱动器锚点，驱动器U型梁，驱动器块、改进梳齿极板，防吸合固定质量块；衬底层；铝电极层。可动的栅形电极和固定极板的梳齿电极形成了电容对，在梳齿结构电极板上刻蚀凹槽可以有效减小阻尼，在对凹槽的具体结构做了理论分析和仿真验证之后，继续优化了凹槽的间距、形状等结构，所设计的微加速度计比传统的具有更低的压膜阻尼、更好的抗噪声性能，更高的品质因数，从而优化了微加速度计的综合性能。

【技术实现步骤摘要】
一种新型梳齿电极板微加速度计及其制作方法
本专利技术涉及一种微机械电容式加速度传感器，具体一种新型梳齿电极板微加速度计及其制作方法，属于微电子

技术介绍
MEMS加速度传感器有许多种分类方法。通常根据采用敏感信号的不同，将加速度传感器分为：压阻式、电容式、压电式、隧道电流式和谐振式。其中电容式加速度传感器是利用被测物理量转换成电容的变化进行测试的，是使用最为广泛的测量方式之一。它的检测原理基于平行极板电容，当外部给予压力、加速度、流量等变化量时，平行板的可动部分会根据外界作用力发生相应的变化，板间距或者正对面积就会随之发生变化，因此电容也发生变化。只需要测得电容的变化量，就能够反推出外部作用力的具体值。电容式加速度计又分为几种类型，如悬臂梁式硅微加速度传感器，这种结构精度高、密闭性好，但是加工难度较大。本文所设计的电容式加速度计为梳齿式结构，其典型代表为美国AD公司的ADXL系列，这种加速度传感器特点明显：既有开环控制又有闭环控制，梳齿式结构加工工艺与集成电路加工工艺兼容性非常好，还可以轻松实现单片集成。MEMS加速度计的加工工艺不仅包括IC电路加工工艺，同时也使用了微加工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型梳齿电极板微加速度计，结构包括质量块、U型梁、锚点、栅形电极板、驱动器锚点，驱动器U型梁、驱动器块、驱动器电极板，还有底部的电极层、衬底和掩膜层。

【技术特征摘要】
1.一种新型梳齿电极板微加速度计，结构包括质量块、U型梁、锚点、栅形电极板、驱动器锚点，驱动器U型梁、驱动器块、驱动器电极板，还有底部的电极层、衬底和掩膜层。2.如权利要求1所述的一种新型梳齿电极板微加速度计，其特征在于：所述的质量块，U型梁和锚点，以及中间部分的栅形电极，它们共同组成了传感器的可动敏感质量块部分；每条栅形条与下面电极层中的每对叉指互相对应；可动敏感质量块两侧的上下两端引伸出电极板，一共有4部分，分别与固定的驱动器电极板构成了梳齿电容结构；刻蚀的凹槽结构位于固定极板上。3.如权利要求1所述的一种新型梳齿电极板微加速度计，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪文涛，董林玺，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33