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本发明公开了一种包含新型梳齿电极板的微加速度计。本发明中的微加速度计由下列部分组成：硅层的锚点、质量块，U型梁、栅形电极、驱动器锚点，驱动器U型梁，驱动器块、改进梳齿极板，防吸合固定质量块；衬底层；铝电极层。可动的栅形电极和固定极板的梳齿电...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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