定子、旋转轴、干式真空泵及相关制造方法技术

用于干式真空泵(1)的定子(2)，该真空泵(1)具有至少两个转子(10、11)，它们设计成在该定子(2)的中心容腔(3)中沿相反方向同步旋转以在定子(2)的吸入口(4、5)和输出口(6)之间驱动待泵送气体，其特征在于，该定子(2)包括：‑由含有少于5％的镍的铸铁制成的定子外部部件(14)；‑定子插件(15)，构造成接纳真空泵(1)的转子(10、11)的该中心容腔(3)布置在该定子插件中，该定子插件(15)含有至少10％的镍；‑该定子外部部件(14)已经铸造在该定子插件(15)上。旋转轴构造成支承并使真空泵的至少一个转子旋转，干式真空泵包括至少一个这种定子和/或至少一个这种轴，以及制造这种定子和/或旋转轴的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】定子、旋转轴、干式真空泵及相关制造方法
本专利技术涉及干式真空泵的定子。本专利技术还涉及一种旋转轴，该旋转轴构造成支承和旋转地驱动真空泵的至少一个转子。本专利技术还涉及一种干式真空泵，它至少具有这种定子和/或至少具有这种轴，例如“罗茨”型或“爪”型真空泵，或甚至是螺旋型或螺杆型或其他类似原理的真空泵。本专利技术还涉及用于制造这种定子和/或旋转轴的方法。
技术介绍
某些制造方法—例如集成电路、光伏太阳能电池、平板显示屏和发光二极管的制造—的特征在于去除来自处理室的腐蚀性反应气体的步骤。干式真空泵被使用，它的入口连接到处理室，出口在将处理过的气体释放到大气中之前连接到气体处理装置。在泵的入口处吸入的气体被捕获在定子和沿着相反方向旋转的两个转子之间的自由空间中，并被输送到出口。该操作在转子和定子之间没有任何机械接触的情况下通过非常小的间隙进行，这允许完全无油操作。定子和转子是通常由铸铁制成的部件。由于吸入的活性气体例如氟、氯和氧的作用，这些部件的表面可能腐蚀。由此可能在部件的表面上形成腐蚀层，从而减小转子和定子之间的操作间隙，改变真空泵的性能特征，并且在最坏的情况下导致泵卡住。耐蚀镍型的富本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干式真空泵(1)的定子(2)，该真空泵(1)具有至少两个转子(10、11)，这些转子能在该定子(2)的中心容腔(3)中沿相反的方向同步旋转，以便在该定子(2)的吸入口(4、5)和输出口(6)之间驱动待泵送气体，其特征在于，所述定子(2)包括：‑定子外部部件(14)，该定子外部部件由含有少于5％的镍的铸铁制成，以及‑定子插件(15)，被构造成接纳该真空泵(1)的转子(10、11)的所述中心容腔(3)布置在该定子插件中，所述定子插件(15)含有至少10％的镍，‑所述定子外部部件(14)已经铸造在所述定子插件(15)上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.24 FR 16546501.一种干式真空泵(1)的定子(2)，该真空泵(1)具有至少两个转子(10、11)，这些转子能在该定子(2)的中心容腔(3)中沿相反的方向同步旋转，以便在该定子(2)的吸入口(4、5)和输出口(6)之间驱动待泵送气体，其特征在于，所述定子(2)包括：-定子外部部件(14)，该定子外部部件由含有少于5％的镍的铸铁制成，以及-定子插件(15)，被构造成接纳该真空泵(1)的转子(10、11)的所述中心容腔(3)布置在该定子插件中，所述定子插件(15)含有至少10％的镍，-所述定子外部部件(14)已经铸造在所述定子插件(15)上。2.根据前一权利要求所述的定子(2)，其特征在于，所述定子外部部件(14)围绕所述定子插件(15)。3.根据前述权利要求中任一项所述的定子(2)，其特征在于，与所述中心容腔(3)连通的至少一个级间管道(13)至少部分地布置在所述定子插件(15)中。4.根据前述权利要求中任一项所述的定子(2)，其特征在于，所述定子插件(15)是合金，例如铸铁、例如球墨铸铁，它含有至少10％的镍，例如含有至少30％的镍。5.根据权利要求1至3中任一项所述的定子(2)，其特征在于，所述定子插件(15)由镍制成。6.根据前述权利要求中任一项所述的定子(2)，其特征在于，所述定子外部部件(14)由铸铁制成，例如由球墨铸铁制成。7.一种干式真空泵(1)，它具有至少一个泵级(1a、1b、1c、1d、1e)，用以在吸入口(4、5)和输出口(6)之间驱动待泵送气体，其特征在于，它具有至少一个根据前述权利要求中任一项所述的定子(2)。8.一种用于制造干式真空泵(1)的定子(2)的方法(100)，其特征在于，该方法具有下列步骤：-首先，形成含有至少10％的镍的定子插件(15)(步骤101)，-然后，在该定子插件(15)上铸...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·曼达拉兹，
申请(专利权)人：普发真空公司，
类型：发明
国别省市：法国,FR