一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟制造技术

本发明专利技术属于太阳能电池制备技术领域。本发明专利技术公开了一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其由石墨舟叶、陶瓷固定柱、石墨固定块和石墨螺母；石墨舟叶的上下边缘各设有一排固定孔，陶瓷固定柱通过固定孔将若干石墨舟叶固定在一起；石墨固定块设于石墨舟叶的两端，石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端；陶瓷固定柱上设有支撑圈支撑相邻石墨舟片。本发明专利技术不仅适用于常规单、多晶工艺，并且也适用于现在流行的单、多晶PERC电池以及黑硅电池工艺等；使用本发明专利技术专利技术可以大幅度降低崩点、碎片的发生；本发明专利技术专利技术简单、便于操作、不需要改造设备等易于操作、易于大规模实施。

A Graphite Boat for Solar Cell Silicon Sheet Coating

The invention belongs to the technical field of solar cell preparation. The invention discloses a graphite boat for solar cell silicon sheet coating, which consists of graphite boat blade, ceramic fixed column, graphite fixed block and graphite nut; the upper and lower edges of graphite boat blade are provided with a row of fixed holes, and the ceramic fixed column fixes several graphite boat blades together through fixed holes; the graphite fixed block is arranged at both ends of graphite boat blade, and the graphite nut is arranged at ceramic fixed column and graphite nut. Two ends of the fixing block; a supporting ring is arranged on the ceramic fixing column to support the adjacent graphite boat piece. The invention is not only applicable to conventional single and polycrystalline processes, but also to popular single and polycrystalline PERC batteries and black silicon battery processes, etc. The patent technology of the invention can greatly reduce the occurrence of breakdown points and debris, and the patent technology of the invention is simple, easy to operate, does not need to modify equipment, and is easy to operate and implement on a large scale.

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟
本专利技术涉及太阳能电池制备
，尤其是涉及一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟。
技术介绍
太阳能电池是一种利用太阳光转换成电的光电半导体薄片，只要电池上的P-N结被太阳光照到，光子激发形成新的空穴一电子对，在P-N结电场的作用下，空穴由P区流向N区，电子由N区流向P区，电池片两极形成电势差，接通电路形成电流，在物理学上称为光伏。太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷和烧结这六大工序。太阳能电池片制造中PECVD管式镀膜工序，使用石墨舟作为工装载体，镀膜工序是采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片正面镀氮化硅膜，以减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。现有太阳能电池镀膜石墨舟，由石墨舟叶、陶瓷固定柱、石墨固定块、石墨螺母和陶瓷圈；石墨舟叶的上下边缘各设有一排固定孔，上下边缘两排固定孔数量相等，间距相等陶瓷固定柱穿过石墨舟叶固定孔通过陶瓷圈将若干相邻的石墨舟叶固定在一起。硅片进行正表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入石墨舟，一般是操作人员将花篮中的硅片插入石墨舟或者通过自动上下料机将硅片插入石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过固定卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。在人工插片时，硅片容易与支撑石墨舟的陶瓷圈发生摩擦、碰撞，导致硅片划伤、崩边、缺口，甚至碎片，影响电池产品品质，增加生产企业成本。原始石墨舟及陶瓷支撑圈见附图1及图2所示。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供了一种能够减少硅片划伤、崩片、缺口等不良情况改善硅片镀膜质量并能增加寿命的太阳能电池硅片镀膜用石墨舟。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种太阳能电池镀膜用石墨舟，其由石墨舟叶、陶瓷固定柱、石墨固定块和石墨螺母；石墨舟叶的上下边缘各设有一排固定孔，陶瓷固定柱通过固定孔将若干石墨舟叶固定在一起；石墨固定块设于石墨舟叶的两端，石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端；陶瓷固定柱上设有支撑圈支撑相邻石墨舟片。作为优选，支撑圈由陶瓷圈或石墨圈中的至少一种组成并且必须包含陶瓷圈。支撑圈可以只含有陶瓷圈，也可以既含有陶瓷圈还含有石墨圈，陶瓷圈和石墨圈可以间隔排列或者顺序排列等各种排列形式。作为优选，支撑圈由两端的石墨圈和中间的陶瓷圈组成。作为优选，支撑圈由两端的陶瓷圈和中间的石墨圈组成。作为优选，支撑圈的长度为5～20mm。作为优选，陶瓷圈的长度为1～10mm，厚度为0.1～2.0mm；石墨圈的长度为1～10mm，厚度为0.1～2.0mm。作为优选，固定孔中，上边缘固定孔水平间距为下边缘固定孔水平间距的2倍。原有石墨舟中陶瓷支撑圈的作用是支撑相邻的两片石墨舟叶，防止靠近发生短路，石墨舟中的陶瓷支撑圈是套在陶瓷固定柱上的，并通过陶瓷固定柱固定在石墨舟叶之间。陶瓷支撑圈硬度较大，员工在插取硅片时容易撞击陶瓷支撑圈，而使得硅片发生崩点、碎片等情况。本专利技术通过3点解决上述问题，其一选用石墨圈与陶瓷圈结合的方式代替原有的陶瓷支撑圈，其二适当减少陶瓷固定柱并相应的减少支撑圈的数量，增加陶瓷支撑柱之间的间距，其三减小支撑圈的厚度。通过上述三方面降低硅片在装卸时与陶瓷固定柱及支撑圈之间的碰撞并损坏硅片的概率。其中石墨材料既能承受高温同时还具有质软的特点，即使发生碰撞也能减小发生崩点、碎片的机率，而采用陶瓷圈与石墨圈并用的方式也能在降低发生崩点、碎片机率的同时保持绝缘的需求。此外，由于采用陶瓷圈加石墨圈的方式代替原先的陶瓷圈，还获得了一下效果，石墨具有导热性好的优点，其散热能力更佳，能够保证其中的陶瓷固定柱在镀膜时温度均匀，防止因温度不均造成的断裂，也能保证在镀膜后陶瓷固定柱的温度更快的下降，当然也能增进其中陶瓷圈的散热；此外在镀膜加热后陶瓷圈会发生膨胀，由于石墨其为层状的微观结构并且质软，具有一定的伸缩性，石墨圈可以通过自身的特性避免将陶瓷圈膨胀产生的应力作用到石墨舟叶上，减小石墨舟叶损坏的概率，保证整个石墨舟具有较长的使用寿命。因此，本专利技术具有以下有益效果：(1)不仅适用于常规单、多晶工艺，并且也适用于现在流行的单、多晶PERC电池以及黑硅电池工艺等；(2)使用本专利技术专利技术可以大幅度降低崩点、碎片的发生；(3)本专利技术专利技术简单、便于操作、不需要改造设备等易于操作、易于大规模实施。附图说明图1为现有技术中石墨舟的俯视示意图；图2为现有技术中支撑圈部分A处放大示意图图3为本专利技术中太阳能电池硅片镀膜用石墨舟的俯视示意图；图4为本专利技术中太阳能电池硅片镀膜用石墨舟中支撑圈部分B处放大示意图；图中：石墨舟叶1、陶瓷固定柱2、石墨固定块3、石墨螺母4、支撑圈5、石墨圈6、陶瓷圈7。具体实施方式下面结合具体实施方式对本专利技术的技术方案作进一步的说明。显然，所描述的实施例仅是的本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术中，若非特指，所有的设备和原料均可从市场上购得或是本行业常用的，下述实施例中的方法，如无特别说明，均为本领域常规方法。实施例1如图3～4所示，一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其由石墨舟叶1、陶瓷固定柱2、石墨固定块3、石墨螺母4和支撑圈5组成；石墨舟叶上边缘的固定孔间距为下边缘固定孔间距的两倍，上边缘有4个等距固定孔，下边缘有7个等距固定孔，陶瓷固定柱穿过固定孔将石墨舟叶固定在一起；石墨固定块设于石墨舟叶的两端用以固定石墨舟叶防止其水平移动，石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端将石墨舟片和陶瓷固定柱、石墨固定块固定在一起；陶瓷固定柱上设有支撑圈5支撑相邻石墨舟片，支撑圈由两端的石墨圈6和中间的陶瓷圈7组成，其中石墨圈和陶瓷圈的厚度为1mm，石墨圈的长度为4mm，陶瓷圈的长度为3mm。实施例2如图3～4所示，一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其由石墨舟叶1、陶瓷固定柱2、石墨固定块3和石墨螺母4组成；石墨舟叶上边缘的固定孔间距为下边缘固定孔间距的两倍，上边缘有4个等距固定孔，下边缘有7个等距固定孔，陶瓷固定柱穿过固定孔将石墨舟叶固定在一起；石墨固定块设于石墨舟叶的两端用以固定石墨舟叶防止其水平移动，石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端将石墨舟片和陶瓷固定柱、石墨固定块固定在一起；陶瓷固定柱上设有支撑圈5支撑相邻石墨舟片，支撑圈由陶瓷圈7组成，其中陶瓷圈的厚度为0.5mm，陶瓷圈的长度为11mm。实施例3如图3所示，一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其由石墨舟叶1、陶瓷固定柱2、石墨固定块3和石墨螺母4组成；石墨舟叶上边缘的固定孔间距为下边缘固定孔间距的两倍，上边缘有4个等距固定孔，下边缘有7个等距固定孔，陶瓷固定柱穿过固定孔将石墨舟叶固定在一起；石墨固定块设于石墨舟叶的两端用以固定石墨舟叶防止其水平移动，石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端将石墨舟片和陶瓷固定柱、石墨固定块固定在一起；陶瓷固定柱上设有支撑圈5支撑相邻石墨舟片，支撑圈由两端的陶瓷圈7和中间的石墨圈6组成，其中石墨圈和陶瓷圈的厚度为1mm，石墨圈的长度为5mm，陶瓷圈的长度为1mm。实施例4如图3所示，一种太阳能电池硅片镀膜用石本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：其由石墨舟叶、陶瓷固定柱、石墨固定块和石墨螺母；所述的石墨舟叶的上下边缘各设有一排固定孔，所述的陶瓷固定柱通过固定孔将若干石墨舟叶固定在一起；所述的石墨固定块设于石墨舟叶的两端，所述的石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端；所述的陶瓷固定柱上设有支撑圈支撑相邻石墨舟片。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：其由石墨舟叶、陶瓷固定柱、石墨固定块和石墨螺母；所述的石墨舟叶的上下边缘各设有一排固定孔，所述的陶瓷固定柱通过固定孔将若干石墨舟叶固定在一起；所述的石墨固定块设于石墨舟叶的两端，所述的石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端；所述的陶瓷固定柱上设有支撑圈支撑相邻石墨舟片。2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：所述的支撑圈由陶瓷圈或石墨圈中的至少一种组成并且必须包含陶瓷圈。3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其特征在于：所述的支撑圈由两端的石墨圈和...

【专利技术属性】
技术研发人员：许成德，陈健生，李鑫，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33