一种制结泵加热硅舟扩散炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种制结泵加热硅舟扩散炉，其包括炉体和设置在炉体内部的硅舟、泵热机构、移动机构和净化箱，其中所述泵热机构连接在硅舟底部、所述硅舟与泵热机构一体安置在所述移动机构上。本制结泵加热硅舟在硅舟本体上小型扩散泵对硅舟本体进行扩散加热，并将整个扩散炉内的蒸发过程形成双层蒸发，扩散炉有效改善了现有的气体减压阀密封性能差的问题，该用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉结构设计合理简单，硅舟四周设有设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部，从技术参数的一致性，提高硅片质量，同时设有扩散炉本体内设有漏斗状抽气罩，排掉出舟时散发的大量高温有毒气体，确保作业的安全性能。

A Silicon Boat Diffusion Furnace Heated by Consolidation Pump

The utility model relates to a silicon boat diffusion furnace heated by a concreting pump, which comprises a furnace body and a silicon boat, a pump heat mechanism, a moving mechanism and a purifying box arranged inside the furnace body, wherein the pump heat mechanism is connected to the bottom of the silicon boat, and the silicon boat and the pump heat mechanism are integrated and arranged on the moving mechanism. The silicon boat is heated by a small diffusion pump on the silicon boat body, and the evaporation process in the diffusion furnace is double evaporated. The diffusion furnace effectively improves the poor sealing performance of the existing gas pressure relief valve. The structure design of the propeller device and the diffusion furnace with the device is reasonable and simple, and the silicon boat is surrounded by edges and corners. The structure fence can block the air flow directly to the inside of the silicon boat, improve the quality of the silicon wafer from the consistency of technical parameters. At the same time, the diffusion furnace body is equipped with funnel-shaped suction hood to discharge a large amount of high-temperature toxic gas emitted from the boat, so as to ensure the safety of the operation.

【技术实现步骤摘要】
一种制结泵加热硅舟扩散炉
本技术涉及一种制结泵加热硅舟扩散炉。
技术介绍
随着晶体硅太阳能电池制作技术的日益发展与成熟，在保证现有电池产品光电转换效率及质量的基础上如何有效降低制造成本、提高自身产品市场竞争力已成为光伏界各电池生产厂家决策者所普遍关注和急需解决的一个世纪问题。扩散炉是大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。在对硅片进行加工时，硅片一般是放置在硅舟中，硅舟放置于扩散炉内，然而加工过程中，硅舟两端的硅片与硅舟中间的硅片技术参数差异较大，甚至会导致加工出来的硅片出现不合格。因此常用的扩散炉加工出来的硅片技术参数一致性较差。另外硅舟本体加热对所制得PN结的质量有着很大影响。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种制结泵加热硅舟扩散炉。为解决上述技术问题，本制结泵加热硅舟扩散炉包括炉体和设置在炉体内部的硅舟、泵热机构、移动机构和净化箱，其中所述泵热机构连接在硅舟底部、所述硅舟与泵热机构一体安置在所述移动机构上。作为优化，所述泵热机构包括扩散泵油、扩散泵底板，所述扩散泵底板包括加热板、加热管、顶紧螺栓、不锈钢板和固定螺栓，其中所述加热板上开有沟槽，所述加热管匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，所述加热板及其沟槽内的加热管通过所述顶紧螺栓连接在所述扩散泵底板上，并通过旋拧该顶紧螺栓，使得所述加热板上表面紧贴所述扩散泵底板下表面，所述不锈钢板设置在所述顶紧螺栓下方，并通过所述固定螺栓紧固连接在所述加热板上。作为优化，所述移动机构上均匀排列有栅栏，所述栅栏置于硅舟四周，栅栏外侧面设有棱角结构。作为优化，所述加热板上所开的沟槽为若干同心环形沟槽，加热管上部略高出沟槽上沿1mm。作为优化，所述加热板与不锈钢板之前填充有保温棉。作为优化，所述移动机构包括有伺服电机、减速机、同步带及同步带的传动机构；所述移动机构炉体内，通过炉体内的导轨固定连接。本技术一种制结泵加热硅舟在硅舟本体上小型扩散泵对硅舟本体进行扩散加热，并将整个扩散炉内的蒸发过程形成双层蒸发，扩散炉有效改善了现有的气体减压阀密封性能差的问题，该用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉结构设计合理简单，硅舟四周设有设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部，从而减小硅舟上硅片受不均匀气流而导致的不合格品量，提高加工出来的硅片的技术参数的一致性，提高硅片质量，同时设有扩散炉本体内设有漏斗状抽气罩，排掉出舟时散发的大量高温有毒气体，确保作业的安全性能。附图说明下面结合附图对本技术制结泵加热硅舟扩散炉作进一步说明：图1是本制结泵加热硅舟扩散炉的平面结构示意图；图2是本制结泵加热硅舟扩散炉的泵热机构的平面结构示意图；图3是本制结泵加热硅舟扩散炉的移动机构的平面结构示意图。具体实施方式如图1至所示，本制结泵加热硅舟扩散炉包括包括炉体1和设置在炉体内部的硅舟2、泵热机构3、移动机构4和净化箱5，其中所述泵热机构3连接在硅舟2底部、所述硅舟2与泵热机构3一体安置在所述移动机构4上。所述泵热机构3包括扩散泵油301、扩散泵底板302，所述扩散泵底板302包括加热板303、加热管304、顶紧螺栓305、不锈钢板306和固定螺栓307，其中所述加热板303上开有沟槽，所述加热管304匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，所述加热板303及其沟槽内的加热管304通过所述顶紧螺栓305连接在所述扩散泵底板302上，并通过旋拧该顶紧螺栓305，使得所述加热板303上表面紧贴所述扩散泵底板302下表面，所述不锈钢板306设置在所述顶紧螺栓305下方，并通过所述固定螺栓307紧固连接在所述加热板303上。所述加热板303上所开的沟槽为若干同心环形沟槽，加热管304上部略高出沟槽上沿1mm。所述加热板303与不锈钢板306之前填充有保温棉308。所述移动机构4上均匀排列有栅栏401，所述栅栏401置于硅舟2四周，栅栏401外侧面设有棱角结构402。所述移动机构4包括有伺服电机、减速机、同步带及同步带的传动机构；所述移动机构4炉体1内，通过炉体1内的导轨101固定连接。上述实施方式旨在举例说明本技术可为本领域专业技术人员实现或使用，对上述实施方式进行修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，故本技术包括但不限于上述实施方式，任何符合本权利要求书或说明书描述，符合与本文所公开的原理和新颖性、创造性特点的方法、工艺、产品，均落入本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制结泵加热硅舟扩散炉，其特征是：包括炉体(1)和设置在炉体内部的硅舟(2)、泵热机构(3)、移动机构(4)和净化箱(5)，其中所述泵热机构(3)连接在硅舟(2)底部、所述硅舟(2)与泵热机构(3)一体安置在所述移动机构(4)上。

【技术特征摘要】
1.一种制结泵加热硅舟扩散炉，其特征是：包括炉体(1)和设置在炉体内部的硅舟(2)、泵热机构(3)、移动机构(4)和净化箱(5)，其中所述泵热机构(3)连接在硅舟(2)底部、所述硅舟(2)与泵热机构(3)一体安置在所述移动机构(4)上。2.根据权利要求1所述的制结泵加热硅舟扩散炉，其特征是：所述泵热机构(3)包括扩散泵油(301)、扩散泵底板(302)，所述扩散泵底板(302)包括加热板(303)、加热管(304)、顶紧螺栓(305)、不锈钢板(306)和固定螺栓(307)，其中所述加热板(303)上开有沟槽，所述加热管(304)匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，所述加热板(303)及其沟槽内的加热管(304)通过所述顶紧螺栓(305)连接在所述扩散泵底板(302)上，并通过旋拧该顶紧螺栓(305)，使得所述加热板(303)上表面紧贴所述扩散泵底板(302)下表...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪昭辉，张文，李明，郭卫保，
申请(专利权)人：张家港国龙光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32