用于衬底容器的缓冲保持器制造技术

本发明专利技术提供一种衬底保持器(110)，其呈现可适应上面的衬底对齐的位置的大变化的基本上均匀接触面(128)。允许所述均匀接触面(128)偏转并压缩以便消除衬底(114)被所述衬底保持器(110)损坏或被无意地夹紧于所述衬底保持器(110)内或者被所述均匀接触面(128)按压过紧的可能。在具有此布置的情况下，不利用粘合剂或胶带，因此不存在污染微环境的挥发性有机化合物的伴随除气或由于此些粘合剂及胶带与洗涤过程不兼容而导致的并发事件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于衬底容器的缓冲保持器相关申请案交叉参考本申请案主张于2016年2月5日提出申请且标题为“用于衬底容器的缓冲保持器(CushionRetainerforSubstrateContainer)”的第62/292,055号美国临时申请案的权益。此申请案的全部内容以引用方式并入本文中。
本专利技术一般来说涉及将衬底保持于衬底容器中，且更具体来说涉及用于衬底容器的缓冲保持器。
技术介绍
前开统一传送盒(FOUP)是用于存储且输送晶片及其它盘状衬底的容器。许多常规FOUP利用包含挠曲以抵靠衬底边缘以提供保持力及缓冲功能的多个悬臂或桥状结构的模制聚合物保持器。保持器位于FOUP门的内侧面上使得在装设门时悬臂或桥状结构面向且接触衬底边缘。然而，已知衬底变得卡住且夹紧于常规保持器的悬臂或桥状结构之间。衬底的夹紧可损坏在衬底的边缘附近的周边部分且可致使保持器无法提供所要缓冲功能。另外，衬底的夹紧可致使衬底在移除门后即刻变得从容器驱出，这可不仅对经夹紧衬底而且对装纳于容器内的其它衬底造成损坏。衬底从容器的此非预期驱出也可对制造过程造成一般中断及污染风险。现在衬底正以越来越大的大小制造。另外，半导体工业中存在趋向于实施具有减小厚度的衬底的趋势。因此，一些衬底具有因分层过程的效应而翘曲的趋势。结合由于重力的下垂，翘曲量值及方向的随机性可致使衬底的前部边缘的对齐超出保持器外侧可允许容限，从而导致衬底与保持器的悬臂或桥状结构的不对准。参考图1，描绘与前开统一传送盒(FOUP)36内的平面衬底32及非平面衬底34啮合的常规衬底保持器30。常规衬底保持器30安装到FOUP36的门38且包含悬置于悬臂或桥状结构44上的衬底啮合部分42。衬底保持器30的预期功能是用以抵靠衬底32、34的前部或前边缘46挠曲以提供对衬底32、34的保持力及缓冲。根据预期设计，平面衬底32安座于晶片啮合部分42内。然而，非平面衬底34被描绘为卡住于邻近衬底啮合部分42之间。在此情境中，常规衬底保持器30可损坏非平面衬底34。另外，非平面衬底34可变得夹紧于邻近衬底啮合部分42之间，使得在将门38及常规衬底保持器30从FOUP36移除时，非平面晶片34以非预期且不可预测方式从FOUP36的晶片托架48驱出。非平面晶片34的此驱出不仅可损坏非平面晶片34，而且损坏装纳于FOUP36内的其它晶片，并且也可导致对制造过程的一般中断及污染风险。不对准可致使保持器无法提供对衬底的所要缓冲功能。已建议其它布置。举例来说，在一个布置中，已提出具有安装到固体覆盖主体的背面的固体可压缩支撑单元的保持器。然而，此布置确实限制可压缩支撑单元可偏转的量且因此对平面衬底提供过多压力，因此可能导致损坏。如从上文论述可见，此项技术中存在对补救这些问题的保持器的需要。下文论述用于解决这些问题的若干个实施例。
技术实现思路
本专利技术一般来说涉及衬底保持器，其呈现可适应上面的衬底对齐的位置的大变化的基本上均匀接触面。均匀接触面消除衬底被衬底保持器损坏或被无意地夹紧于所述衬底保持器内的可能。另外，所述衬底保持器具有保持器缓冲垫及安装结构，所述安装结构经配置以在所述缓冲垫的所述外周边部分处固定所述保持器缓冲垫且允许所述缓冲垫的中心区域相对于所述安装结构偏转。在操作中，将衬底放置于衬底容器中且通过以下操作保持所述衬底：按压所述保持器缓冲垫的所述中心区域以抵靠所述衬底，同时允许所述中心区域压缩并偏转以便不损坏所述衬底。此外，在所揭示实施例中不利用粘合剂或胶带，因此不存在污染微环境的挥发性有机化合物的伴随除气，或由于此些粘合剂及胶带与洗涤过程不兼容而导致的并发事件。在一些实施例中，揭示用以支撑消耗性泡沫、橡胶或弹性体插入件的临时替换衬底保持器。本专利技术的衬底保持器可为模制塑料组件，其使用与标准模制保持器相同的特征附接到FOUP门的内侧面。标准塑料缓冲使用悬臂或桥状特征将小负载施加到衬底边缘，然而所揭示衬底保持器并不具有用于将负载直接施加到衬底的这些悬臂或桥状特征。替代地，安装结构经设计以用于出于缓冲衬底边缘的目的而支撑泡沫、橡胶或弹性体插入件。安装结构在不使用粘合剂或胶带的情况下通过使用保持具有或不具有倒钩的插入件或销与承窝连接件的周边部分的特征而保持消耗性泡沫、橡胶或弹性体缓冲垫。在一些实施例中，缓冲垫包覆模制到安装结构上。在其它实施例中，缓冲垫的周边部分可经形成具有通过切穿安装结构的狭槽或凹槽保持的全长度倒钩。所揭示安装结构容纳经简化组合件且移除泡沫、橡胶或弹性体保持器缓冲垫以用于洗涤操作及用于周期性替换。在一些实施例中，门配置有用以在不需要中间安装结构的情况下直接附接保持器缓冲垫的必要安装特征(例如钩、支柱或狭槽)。在一个说明性实施例中，用于衬底容器的衬底保持器包括包含具有界定厚度尺寸的厚度的主体部分的保持器缓冲垫。主体部分包含在厚度尺寸上可压缩的柔性材料。安装结构经配置以在不使用粘合剂的情况下固定保持器缓冲垫。在一些实施例中，柔性材料是泡沫材料、橡胶材料或弹性材料中的一者。安装结构可经配置以安装到衬底容器的门，所述衬底容器是FOUP。在各种实施例中，所述安装结构经配置以通过所述主体部分的总体尺寸的压缩而固定所述保持器缓冲垫，所述安装结构响应于所述总体尺寸的压缩而施加反作用力以将所述保持器缓冲垫保持于所述安装结构内，所述安装结构经配置以安装到所述衬底容器。在一些实施例中，所述安装结构界定凹部，所述保持器缓冲垫安置于所述凹部中。在一些实施例中，经压缩的总体尺寸是正交于所述厚度尺寸的横向尺寸。所述横向尺寸的压缩可使所述主体部分弯曲以沿所述厚度尺寸的方向界定所述主体部分的弯曲部。在一些实施例中，所述安装结构的所述凹部经配置以容纳所述主体部分的所述弯曲部。所述安装结构可进一步包含界定所述凹部的最小横向尺寸的至少一个横向突出部。在一些实施例中，安装结构包含经配置以用于将安装结构耦合到标准FOUP门的闩锁臂。在本专利技术的各种实施例中，所述安装结构包含具有由多个横越部件隔开的侧部件的框架，每一横越部件界定安装面，所述保持器缓冲垫耦合到所述多个横越部件中的每一者的所述安装面。横越部件相对于侧部件横向延伸。侧部件与多个横越部件可为单件式的。所述多个横越部件中的每一者可为弧形的使得所述安装面是凹面的或凸面的。在一些实施例中，安装特征从框架延伸以用于将安装结构耦合到衬底容器。轴向部件可桥接所述多个横越部件中的邻近者。在本专利技术的各种实施例中，所述多个横越部件包含多个伸出部，所述多个伸出部中的至少一者安置于所述多个横越部件中的每一者上，所述多个伸出部延伸到所述主体部分的所述厚度中或延伸穿过所述主体部分的所述厚度。所述保持器缓冲垫的所述主体部分可界定多个安装孔，其各自定位于所述主体部分上以用于与所述多个伸出部中的对应一者配接且各自经经定尺寸以用于与所述多个伸出部中的所述对应一者的摩擦配合。在一些实施例中，安装孔穿过主体部分的厚度。在本专利技术的各种实施例中，多个伸出部沿所述厚度尺寸的方向从所述主体部分的面延伸，其中所述多个横越部件界定多个孔口。所述多个孔口中的至少一者由所述多个横越部件中的每一者界定，且所述伸出部中的每一者经定大小且定位于所述主体部分上以与所述多个孔口配接。所述多个伸出部及所述多个孔口可经定尺寸以用于其间的摩擦本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于衬底容器的衬底保持器，其包括：保持器缓冲垫，其包含主体部分，所述主体部分具有外周边部分、中心区域及界定厚度尺寸的厚度，所述主体部分由在所述厚度尺寸上可压缩的柔性材料形成；及安装结构，其经配置以在所述外周边部分处固定所述保持器缓冲垫且允许所述中心区域相对于所述安装结构偏转。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.05 US 62/292,0551.一种用于衬底容器的衬底保持器，其包括：保持器缓冲垫，其包含主体部分，所述主体部分具有外周边部分、中心区域及界定厚度尺寸的厚度，所述主体部分由在所述厚度尺寸上可压缩的柔性材料形成；及安装结构，其经配置以在所述外周边部分处固定所述保持器缓冲垫且允许所述中心区域相对于所述安装结构偏转。2.根据权利要求1所述的衬底保持器，其中在将压力施加到所述中心区域时所述柔性材料不仅能够压缩而且能够偏转，并且所述柔性材料由泡沫材料、橡胶材料或弹性材料中的一者形成。3.根据权利要求2所述的衬底保持器，其进一步以组合形式包括用于装纳衬底的衬底容器，其中所述安装结构经配置以安装到所述衬底容器的门，其中所述保持器缓冲垫具有经配置以啮合所述衬底的第一侧及面向所述门且与所述安装结构间隔开的对置侧，借此所述安装结构经配置以允许所述中心区域偏转以便防止对所述衬底的损坏。4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底保持器，其中所述安装结构经配置以通过所述主体部分的总体尺寸的压缩而固定所述保持器缓冲垫，所述安装结构响应于所述总体尺寸的压缩而施加反作用力以在不使用粘合剂的情况下将所述保持器缓冲垫保持于所述安装结构内，所述安装结构经配置以安装到所述衬底容器。5.根据权利要求4所述的衬底保持器，其中所述安装结构界定凹部，所述保持器缓冲垫安置于所述凹部中。6.根据权利要求5所述的衬底保持器，其中所述总体尺寸是正交于所述厚度尺寸的横向尺寸。7.根据权利要求6所述的衬底保持器，其中所述横向尺寸的压缩使所述主体部分弯曲以沿所述厚度尺寸的方向界定弯曲部，所述安装结构的所述凹部经配置以容纳所述弯曲部。8.根据权利要求6所述的衬底保持器，其中所述安装结构包含界定所述凹部的最小横向尺寸的至少一个横向突出部。9.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底保持器，其中所述安装结构包含具有由多个单件式横越部件隔开的侧部件的框架，每一横越部件界定安装面，所述保持器缓冲垫耦合到所述多个横越部件中的每一者的所述安装面。10.根据权利要求9所述的衬底保持器，其中所述多个横越部件中的每一者均为弧形的，使得所述安装面是凹面的或凸面的。11.根据权利要求9所述的衬底保持器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·富勒，C·J·哈尔，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国,US