一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，包括主体、进气管、出气管一、通气槽和支撑座，主体设外壳，外壳内安装有第一隔板、第二隔板和第三隔板，第二隔板内安装旋转轴二，外壳上安装有减速电机一，且输出端连接旋转轴二，旋转轴二下端连接斜齿轮一，斜齿轮一两侧对称啮合连接有斜齿轮二，斜齿轮二连接丝杠，丝杠上螺纹连接有搅拌杆，搅拌杆上活动套接有搅拌套，搅拌套上安装有搅拌桨，旋转轴二上安装有喷头上端转动连接有出水管。本发明专利技术利用搅拌桨细化尾气气泡，喷头旋转喷水，使得尾气与碱液充分接触，净化效果好，设置过滤网、海绵吸附板和活性炭吸附板安装和更换方便，有效提高了工作效率，装置移动、运输方便，设计合理。

A Purification Device for Tail Gas Treatment in the Production of Amorphous Silicon Films

The invention discloses a tail gas treatment and purification device for amorphous silicon film production, which comprises a main body, an intake pipe, an outlet pipe, a ventilation groove and a support seat. The main body is provided with a shell, in which a first partition, a second partition and a third partition are installed, a rotating shaft is installed in the second partition, a decelerating motor is installed on the shell, and the output terminal is connected with a rotating shaft and two lower ends of the rotating shaft are connected. The helical gear is connected with helical gear one, helical gear two sides are symmetrically meshed with helical gear two, helical gear two are connected with screw, screw thread on screw is connected with agitator rod, agitator sleeve is connected with movable sleeve on agitator rod, agitator impeller is installed on agitator sleeve, and the upper end of nozzle is rotated on rotary shaft two to connect with outlet pipe. The invention uses agitator to refine tail gas bubbles and spray water by rotating nozzle to make tail gas fully contact with alkali liquor, and has good purification effect. The installation and replacement of filter screen, sponge adsorption plate and activated carbon adsorption plate are convenient, the working efficiency is effectively improved, the device is convenient to move and transport, and the design is reasonable.

【技术实现步骤摘要】
一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置
本专利技术涉及空气污染治理设备
，具体是一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置。
技术介绍
非晶硅薄膜是太阳能电池核心原材料之一，也称微晶硅，随着太阳能应用的普及，非晶硅薄膜的生产也逐渐规模化，在生产程中产生大量易燃易爆、有毒有害物质，直接排出会造成空气污染，损害人体健康。中国专利申请号201710016760.5，授权公告号CN106731611A，公开了一种多晶硅废气处理与余热利用装置及工艺，包括废气冷凝回收罐、废气淋洗塔A、废气淋洗塔B、碱液池和液封水槽，废气冷凝回收罐串接在用于废气汇总的废气管中，废气管末端连接所述的废气淋洗塔A，废气淋洗塔A的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔A通过连通管连接废气淋洗塔B，废气淋洗塔B的底部设置在碱液池中，废气淋洗塔B通过排气管连接设置在液封水槽的放空管，碱液池还通过碱液管分别连接至废气淋洗塔A和废气淋洗塔B的底部，并在碱液管管路中设置有碱液泵，废气淋洗塔A的反应区设置有余热利用机构，该专利技术仍存在不足：碱液与废气接触不够充分，净化效果差。
技术实现思路
1、要解决的问题针对现有非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置中碱液与废气接触不够充分，净化效果差的问题，本专利技术的目的在于提供一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，利用搅拌桨细化尾气气泡，喷头旋转喷水，使得尾气与碱液充分接触以解决上述
技术介绍
中提出的问题。2、技术方案为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，包括主体、进气管、出气管一、通气槽和支撑座，所述主体两侧分别连接进气管和出气管一，所述主体上端安装通气槽，所述主体底端连接支撑座，所述主体设有外壳，所述外壳内部安装有第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述第二隔板为中空结构，且内部安装有旋转轴二，所述旋转轴二上端连接有轴承一，所述轴承一转动连接外壳的顶端，所述外壳上安装有减速电机一，且输出端连接旋转轴二，所述旋转轴二下端连接斜齿轮一，所述斜齿轮一两侧对称啮合连接有斜齿轮二，所述斜齿轮二连接丝杠，所述丝杠上连接有轴承二和轴承三，所述轴承二转动连接第二隔板，左侧轴承三转动连接第一隔板，右侧轴承三转动连接第三隔板，所述丝杠上螺纹连接有搅拌杆，所述搅拌杆与外壳滑动连接，所述搅拌杆上活动套接有搅拌套，所述搅拌套上安装有搅拌桨，所述旋转轴二上安装有皮带轮一，所述皮带轮上下均套接有皮带，所述第二隔板两侧对称设置有喷头，所述喷头上安装有皮带轮二，所述皮带穿过第二隔板，且套接皮带轮二，所述喷头上端转动连接有出水管，净化过程中减速电机一运转，斜齿轮一和两侧斜齿轮二啮合连接，使得搅拌杆左右移动，搅拌套在水流作用下旋转，搅拌桨搅动，细化尾气气泡，使尾气与碱性溶液充分接触，同时皮带传动，喷头旋转喷水，喷出的碱性溶液与上升的尾气作用，加强净化，尾气净化效果好，净化效率高。作为本专利技术进一步的方案：所述进气管包括管体、过滤网、卡板、旋转轴一和旋钮一，所述外壳左端敞口，且设有外螺纹，所述管体与外壳左端口匹配设置，所述管体内活动安装有过滤网，所述旋转轴一穿过管体，且两端分别连接卡板和旋钮一，所述卡板为梯形结构，通过螺纹连接方式将管体安装好后，放入过滤网，接着转动旋钮一，将卡板旋转至过滤网外侧，即可实现过滤网的固定，以避免尾气中的大体积杂物进入装置内部，造成管道堵塞，影响装置工作，过滤网安装和更换方便，有效提高了工作效率。作为本专利技术再进一步的方案：所述第一隔板左侧安装有扰流板一，所述扰流板一左侧对应过滤网，所述第三隔板右侧腔室内均匀设置有扰流板二，扰流板一和扰流板二具有打散、分散尾气的作用，使得尾气净化更加充分。作为本专利技术再进一步的方案：所述扰流板一右侧安装有换热管，所述换热管内装有换热介质，所述外壳上下端均连接有介质流动管，所述介质流动管与换热管连通，尾气与换热管充分接触，换热介质吸收热量，实现了资源再利用，同时使得尾气降温，以减小装置的工作负荷，保护设备。作为本专利技术再进一步的方案：所述出水管为F型结构，所述外壳上端安装有水泵，所述出水管另一端穿过外壳，且连接水泵的出水端，所述水泵的抽水端连接有进水管，所述进水管另一端连通外壳的下端，循环使用碱性溶液，环保节能。作为本专利技术再进一步的方案：所述第二隔板两侧对称设置有出气管二，所述出气管二为单侧敞口结构，所述出气管二上均匀设置有出气头一，所述出气头一内安装有单向阀一，所述第一隔板对应左侧出气管二设置通孔，所述第二隔板内安装有出气管三，所述出气管三一侧密封穿过第二隔板左侧，所述出气管三另一侧连通右侧出气管二，出气管二上方的腔室内装有碱性溶液，尾气经过初步过滤和换热降温后，从通孔进入左侧出气管二，并从出气头一以气泡的形式均匀、慢速排出，与碱性溶液接触、混合，发生中和反应，碱性溶液同时吸附杂质和沉淀，接着通过出气管三、右侧出气管二和出气头一进入第二隔板右侧腔室，重复净化。作为本专利技术再进一步的方案：所述扰流板二下方设置有出气管四，所述出气管四为单侧敞口，所述出气管四左侧密封穿过第三隔板，所述出气管四上安装有出气头二，所述出气头二内安装有单向阀二，所述出气管四上方设置有可拆卸安装的海绵吸附板和活性炭吸附板，所述活性炭吸附板上方安装有尾气检测器，所述海绵吸附板和活性炭吸附板右端密封延伸至外壳外部，所述海绵吸附板和活性炭吸附板左侧上下端和右侧下端均设置有固定块，左侧固定块固定安装在第三隔板上，右侧固定块安装在外壳内壁上，所述海绵吸附板和活性炭吸附板右侧上端均设置有活动板，所述外壳对应活动板设有安装槽一，所述安装槽一内安装有弹簧一，所述弹簧一另一端固定连接活动板，所述活动板滑动连接外壳，所述活动板上方设有偏心轮，所述偏心轮右侧连接有旋转轴三，所述旋转轴三外部连接有轴承四，所述轴承四转动连接外壳，所述旋转轴三另一侧连接有伸缩杆，所述伸缩杆右侧连接有旋钮二，所述旋钮二上设置有卡孔，所述外壳对应卡孔设置有卡杆，需要更换海绵吸附板和活性炭吸附板时，拉起旋钮二，使得卡杆和卡孔分离，转动旋钮二，偏心轮离开海绵吸附板、活性炭吸附板表面，弹簧一拉动活动板，向外拉出海绵吸附板和活性炭吸附板即可更换，安装时利用偏心轮抵住活动板即可紧固海绵吸附板和活性炭吸附板，安装、拆卸方便，且不需要打开外壳。作为本专利技术再进一步的方案：所述通气槽内部装有通气液，所述出气管一另一端延伸至通气液内，净化后的尾气通入通气液后排出，防止直接排入空气造成着火，甚至爆炸，以保证生产安全。作为本专利技术再进一步的方案：所述支撑座两侧对称设有支撑腿，所述支撑腿上端固定连接外壳，所述支撑腿侧面固定连接有安装板，所述安装板上端固定安装有减速电机二，所述减速电机二外罩接有保护箱二，所述减速电机二的输出端连接有旋转轴四，所述旋转轴四底端连接有绕线辊，所述绕线辊上前后对称绕接有钢绳，所述钢绳另一端固定连接有移动杆，所述移动杆包括连接杆、滚轮、弹簧二和定位槽，所述连接杆连接钢绳，且上端铰接安装板，所述连接杆下端安装有滚轮，所述支撑腿上对应连接杆设有安装槽二，所述弹簧二一端固定连接安装槽二，所述弹簧二另一端固定连接连接杆，所述连接杆上设置有定位槽，所述安装板对应定位槽设置有定位杆，装置固定时连接杆在弹簧二作用下收在安装槽二内，需要移动设备时，减速电机二运转，绕线辊转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，包括主体（1）、进气管（2）、出气管一（3）、通气槽（4）和支撑座（5），所述主体（1）两侧分别连接进气管（2）和出气管一（3），所述主体（1）上端安装通气槽（4），所述主体（1）底端连接支撑座（5），其特征在于，所述主体（1）设有外壳（6），所述外壳（6）内部安装有第一隔板（49）、第二隔板和第三隔板（35），所述第二隔板为中空结构，且内部安装有旋转轴二（22），所述旋转轴二（22）上端连接有轴承一，所述轴承一转动连接外壳（6）的顶端，所述外壳（6）上安装有减速电机一（23），且输出端连接旋转轴二（22），所述旋转轴二（22）下端连接斜齿轮一（21），所述斜齿轮一（21）两侧对称啮合连接有斜齿轮二（20），所述斜齿轮二（20）连接丝杠（19），所述丝杠（19）上连接有轴承二和轴承三，所述轴承二转动连接第二隔板，左侧轴承三转动连接第一隔板（49），右侧轴承三转动连接第三隔板（35），所述丝杠（19）上螺纹连接有搅拌杆（18），所述搅拌杆（18）与外壳（6）滑动连接，所述搅拌杆（18）上活动套接有搅拌套（50），所述搅拌套（50）上安装有搅拌桨，所述旋转轴二（22）上安装有皮带轮一，所述皮带轮上下均套接有皮带（24），所述第二隔板两侧对称设置有喷头（25），所述喷头（25）上安装有皮带轮二，所述皮带（24）穿过第二隔板，且套接皮带轮二，所述喷头（25）上端转动连接有出水管（27）。...

【技术特征摘要】
1.一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，包括主体（1）、进气管（2）、出气管一（3）、通气槽（4）和支撑座（5），所述主体（1）两侧分别连接进气管（2）和出气管一（3），所述主体（1）上端安装通气槽（4），所述主体（1）底端连接支撑座（5），其特征在于，所述主体（1）设有外壳（6），所述外壳（6）内部安装有第一隔板（49）、第二隔板和第三隔板（35），所述第二隔板为中空结构，且内部安装有旋转轴二（22），所述旋转轴二（22）上端连接有轴承一，所述轴承一转动连接外壳（6）的顶端，所述外壳（6）上安装有减速电机一（23），且输出端连接旋转轴二（22），所述旋转轴二（22）下端连接斜齿轮一（21），所述斜齿轮一（21）两侧对称啮合连接有斜齿轮二（20），所述斜齿轮二（20）连接丝杠（19），所述丝杠（19）上连接有轴承二和轴承三，所述轴承二转动连接第二隔板，左侧轴承三转动连接第一隔板（49），右侧轴承三转动连接第三隔板（35），所述丝杠（19）上螺纹连接有搅拌杆（18），所述搅拌杆（18）与外壳（6）滑动连接，所述搅拌杆（18）上活动套接有搅拌套（50），所述搅拌套（50）上安装有搅拌桨，所述旋转轴二（22）上安装有皮带轮一，所述皮带轮上下均套接有皮带（24），所述第二隔板两侧对称设置有喷头（25），所述喷头（25）上安装有皮带轮二，所述皮带（24）穿过第二隔板，且套接皮带轮二，所述喷头（25）上端转动连接有出水管（27）。2.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，其特征在于，所述进气管（2）包括管体（7）、过滤网（8）、卡板（9）、旋转轴一和旋钮一（10），所述外壳（6）左端敞口，且设有外螺纹，所述管体（7）与外壳（6）左端口匹配设置，所述管体（7）内活动安装有过滤网（8），所述旋转轴一穿过管体（7），且两端分别连接卡板（9）和旋钮一（10），所述卡板（9）为梯形结构。3.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，其特征在于，所述第一隔板（49）左侧安装有扰流板一（11），所述扰流板一（11）左侧对应过滤网（8），所述第三隔板（35）右侧腔室内均匀设置有扰流板二。4.根据权利要求3所述的一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，其特征在于，所述扰流板一（11）右侧安装有换热管（12），所述换热管（12）内装有换热介质，所述外壳（6）上下端均连接有介质流动管，所述介质流动管与换热管（12）连通。5.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，其特征在于，所述出水管（27）为F型结构，所述外壳（6）上端安装有水泵（26），所述出水管（27）另一端穿过外壳（6），且连接水泵（26）的出水端，所述水泵（26）的抽水端连接有进水管（28），所述进水管（28）另一端连通外壳（6）的下端。6.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜生产用尾气处理净化装置，其特征在于，所述第二隔板两侧对称设置有出气管二（14），所述出气管二（14...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军宁，李军军，代恒，
申请(专利权)人：中山市睿普自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44