一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器及传感器阵列制造技术

本实用新型专利技术公开了本实用新型专利技术公开了一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，包括依次层叠设置的硅衬底、支撑膜、加热电阻、隔离膜和检测电极，所述支撑膜用以提供整体支撑作用，加热电阻用以提供工作所需的温度，隔离膜将加热电阻及检测电极进行电隔离，检测电极用以检测电阻变化；该传感器具有基体结构和悬臂结构，该悬臂结构的端部为卷曲状，且其上设有气敏材料。本实用新型专利技术还提供了一种由具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器组成的传感器阵列。本实用新型专利技术的优点在于，该传感器功耗低、尺寸小、集成度高，生产工艺简单，易于定位，有效提高了生产效率。

A Single Cantilever Gas Sensor and Sensor Array with Curl Structure

The utility model discloses a single cantilever gas sensor with a coiled structure, which comprises a silicon substrate, a supporting film, a heating resistor, an isolating film and a detection electrode arranged in sequence. The supporting film is used to provide an integral supporting function, a heating resistor is used to provide the temperature required for work, and an isolating film is used to electrically isolate the heating resistor and the detection electrode. The sensor has a base structure and a cantilever structure. The end of the cantilever structure is curled and gas sensitive material is arranged on it. The utility model also provides a sensor array composed of a single cantilever gas sensor with a curling structure. The utility model has the advantages of low power consumption, small size, high integration, simple production process, easy positioning and effective improvement of production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器及传感器阵列
本技术属于本技术属于微电子机械系统和气体检测
，具体涉及一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器及传感器阵列。
技术介绍
基于微电子机械系统(MEMS)技术的气体传感器，由于其小尺寸、低功耗、高灵敏度和快速响应等特点，逐步显现出巨大的应用潜力，将有望取代基于传统技术的气体传感器，在物联网、移动端和人工智能等领域广泛应用。而在MEMS气体传感器中，又因采用金属氧化物半导体(MOS)材料的传感器具有广泛的检测范围，在未来的大规模应用中具有更为广阔的市场空间。目前MEMSMOS气体传感器中，主要以基于悬膜式微型加热器的研究居多，该结构的传感器具有较低的功耗，一般可低至20毫瓦，如专利号为201520759054.6的技术专利提供了一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，其具有自下而上依次设置的硅衬底框架、加热膜层、加热电极层和敏感膜层，其中加热膜层包括加热膜区，该加热膜区通过四根悬梁与硅衬底框架连接。又如专利号为CN201520759055.0的技术专利提供了一种具有两支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，该传感器也包括自下而上依次设置的硅衬底框架、加热膜层、加热电极层和敏感膜层，其中加热膜层包括加热膜区，该加热膜区通过两根悬梁与硅衬底框架连接。这些多悬梁式气体传感器功耗虽然较低，但随着移动端和物联网应用的高速发展，其已不能满足需要。同时多悬梁式气体传感器在制备时，存在工艺复杂、定位困难、效率低下的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于：如何进一步降低悬梁式气体传感器的功耗。本技术采用以下技术方案解决上述技术问题：一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，具有基体结构和悬梁结构，其包括自下而上依次层叠设置的如下部分：硅衬底；支撑膜，为氮化硅膜，包括第一基部，所述第一基部的一侧边设有向上翘曲的第一悬臂，所述第一悬臂远离第一基部的端部设有第一卷曲部；支撑膜上设有第一孔，所述第一孔自第一悬臂靠近第一基部的一端延伸至第一卷曲部；加热电阻，包括第二基部，所述第二基部的一侧边设有向上翘曲的第二悬臂，所述第二悬臂远离第二基部的端部设有第二卷曲部；第二基部相对于第二悬臂的一侧开设有第一窗口，所述第二悬臂上设有沿第二悬臂长度方向延伸至第二卷曲部的第二窗口，所述第二窗口与第一窗口连通；第二基部位于第二窗口两侧的位置上分别设有第一引线；隔离膜，为氮化硅膜，包括第三基部，所述第三基部的一侧边设有向上翘曲的第三悬臂，所述第三悬臂远离第三基部的端部设有第三卷曲部；所述第三基部上对应于第一引线的位置设有透过孔，所述第一引线穿过相应透过孔暴露在外；所述隔离膜的厚度大于加热电阻的厚度；所述隔离膜上设有第二孔，所述第二孔自第三悬臂靠近第三基部的一端延伸至第三卷曲部，并于第一孔对应设置；检测电极，包括第四基部，所述第四基部的一侧边设有向上翘曲的第四悬臂，所述第四悬臂远离第四基部的端部设有第四卷曲部；第四基部背离第四悬臂的一侧设有第三窗口，第四悬臂上设有沿第四悬臂长度方向延伸至第四卷曲部、并将第四卷曲部分割的第四窗口，所述第四窗口与第三窗口连通，并将检测电极分割为两部分；所述第四基部不覆盖所述透过孔，且其位于第三窗口两侧的位置上均设有第二引线；所述硅衬底、第一基部、第二基部、第三基部和第四基部对应设置形成所述基体结构；所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂对应设置，且所述第四卷曲部、第三卷曲部、第二卷曲部及第一卷曲部由内向外依次设置形成所述悬梁结构；所述第一卷曲部外包裹有气敏材料，所述气敏材料与第四悬臂接触。优选地，本技术所述的一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂的水平投影均呈矩形。优选地，本技术所述的一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂的水平投影均呈等腰梯形，且沿远离基体结构的方向，第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂的宽度逐渐增大。优选地，本技术所述的一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，所述第四基部位于透过孔背离第三悬臂的一侧，且第四悬臂位于两个透过孔之间。优选地，本技术所述的一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，所述第四基部位于透过孔靠近第三悬臂的一侧。优选地，本技术所述的一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，所述支撑膜、加热电阻、隔离膜及检测电极的厚度均为本技术还提供了一种传感器阵列，由多个上述的一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器构成。本技术技术有益效果：本专利技术技术方案采用的单悬梁式结构，将有效区设置在悬梁的端部，通过减小有效区面积和降低悬梁数量使得传感器的功耗降至1毫瓦；该气体传感器的卷曲结构可以比同等面积的平面型结构加载更多的敏感材料，有利于提供传感器的灵敏度和稳定性；其尺寸更小、集成度更高，集成度较现有多悬梁式结构提高一个数量级；本技术提出的卷曲的单悬梁式气体传感器的制备方法工艺简单、易于定位，有效提高了生产效率，同时也更易于制备具有气质材料的复合结构的气敏材料。附图说明图1为本技术实施例一所述的具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器的结构示意图；图2为图1的爆炸示意图；图3为图2中A处放大示意图；图4为图2中B处放大示意图；图5为本技术实施例二所述的具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器的爆炸示意图；图6为本技术实施例三所述的传感器阵列的结构示意图。具体实施方式为便于本领域技术人员理解本技术技术方案，现结合说明书附图对本技术技术方案做进一步的说明。实施例一参阅图1至图4，本实施例提供了一种翘曲的单悬梁式气体传感器，包括硅衬底1、支撑膜2、加热电阻3、隔离膜4、检测电极5和气敏材料6。该传感器具有基体结构和悬梁结构，一般情况下，基体结构呈矩形，悬梁结构设置在基体结构一长边的中部，因而，该传感器的水平投影呈“T”型。所述硅衬底1、支撑膜2、加热电阻3、隔离膜4及检测电极5自下而上依次层叠设置，其具体结构如下：所述硅衬底1的上、下端面呈矩形；所述支撑膜2用以对整个悬梁结构起支撑作用，其为一氮化硅层。包括第一基部21、第一悬臂22和第一卷曲部23。所述第一基部21呈矩形，所述第一悬臂22与第一基部21的一长边的中部连接，且第一悬臂22向上翘曲；所述第一卷曲部23设置在第一悬臂22远离第一基部21的端部。所述加热电阻3由金属材料构成，一般为金属铂，其用以为传感器工作提供所需的工作温度。该加热电阻3包括第二基部31、第二悬臂32和第二卷曲部33，所述第二基部31呈矩形，所述第二悬臂32位于第二基部31一长边的中部，且第二悬臂32向上翘曲；所述第二卷曲部33位于第二悬臂32远离第二基部31的端部；第二基部31相对于第二悬臂32的一侧开设有第一窗口34，所述第二悬臂32上设有沿第二悬臂32长度方向延伸至第二卷曲部33的第二窗口35，所述第二窗口35与第一窗口34连通；第二基部位31于第二窗口35两侧的位置上分别设有第一引线(图中未示出)。所述隔离膜4为氮化硅膜，其设置目的是对加热电阻3和检测电极5进行电隔离。隔离膜4包括第三基部41、第三悬臂42和第三卷曲部43，所述第三悬臂41设置在第三基部41一长边的中部，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，其特征在于，具有基体结构和悬梁结构，其包括自下而上依次层叠设置的如下部分：硅衬底；支撑膜，为氮化硅膜，包括第一基部，所述第一基部的一侧边设有向上翘曲的第一悬臂，所述第一悬臂远离第一基部的端部设有第一卷曲部；所述支撑膜上设有第一孔，所述第一孔自第一悬臂靠近第一基部的一端延伸至第一卷曲部；加热电阻，包括第二基部，所述第二基部的一侧边设有向上翘曲的第二悬臂，所述第二悬臂远离第二基部的端部设有第二卷曲部；第二基部相对于第二悬臂的一侧开设有第一窗口，所述第二悬臂上设有沿第二悬臂长度方向延伸至第二卷曲部的第二窗口，所述第二窗口与第一窗口连通；第二基部位于第二窗口两侧的位置上分别设有第一引线；隔离膜，为氮化硅膜，包括第三基部，所述第三基部的一侧边设有向上翘曲的第三悬臂，所述第三悬臂远离第三基部的端部设有第三卷曲部；所述第三基部上对应于第一引线的位置设有透过孔，所述第一引线穿过相应透过孔暴露在外；所述隔离膜的厚度大于加热电阻的厚度；所述隔离膜上设有第二孔，所述第二孔自第三悬臂靠近第三基部的一端延伸至第三卷曲部，并于第一孔对应设置；检测电极，包括第四基部，所述第四基部的一侧边设有向上翘曲的第四悬臂，所述第四悬臂远离第四基部的端部设有第四卷曲部；第四基部背离第四悬臂的一侧设有第三窗口，第四悬臂上设有沿第四悬臂长度方向延伸至第四卷曲部、并将第四卷曲部分割的第四窗口，所述第四窗口与第三窗口连通，并将检测电极分割为两部分；所述第四基部不覆盖所述透过孔，且其位于第三窗口两侧的位置上均设有第二引线；所述硅衬底、第一基部、第二基部、第三基部和第四基部对应设置形成所述基体结构；所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂对应设置，且所述第四卷曲部、第三卷曲部、第二卷曲部及第一卷曲部由内向外依次设置形成所述悬梁结构；所述第一卷曲部外包裹有气敏材料，所述气敏材料与第四悬臂接触。...

【技术特征摘要】
1.一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，其特征在于，具有基体结构和悬梁结构，其包括自下而上依次层叠设置的如下部分：硅衬底；支撑膜，为氮化硅膜，包括第一基部，所述第一基部的一侧边设有向上翘曲的第一悬臂，所述第一悬臂远离第一基部的端部设有第一卷曲部；所述支撑膜上设有第一孔，所述第一孔自第一悬臂靠近第一基部的一端延伸至第一卷曲部；加热电阻，包括第二基部，所述第二基部的一侧边设有向上翘曲的第二悬臂，所述第二悬臂远离第二基部的端部设有第二卷曲部；第二基部相对于第二悬臂的一侧开设有第一窗口，所述第二悬臂上设有沿第二悬臂长度方向延伸至第二卷曲部的第二窗口，所述第二窗口与第一窗口连通；第二基部位于第二窗口两侧的位置上分别设有第一引线；隔离膜，为氮化硅膜，包括第三基部，所述第三基部的一侧边设有向上翘曲的第三悬臂，所述第三悬臂远离第三基部的端部设有第三卷曲部；所述第三基部上对应于第一引线的位置设有透过孔，所述第一引线穿过相应透过孔暴露在外；所述隔离膜的厚度大于加热电阻的厚度；所述隔离膜上设有第二孔，所述第二孔自第三悬臂靠近第三基部的一端延伸至第三卷曲部，并于第一孔对应设置；检测电极，包括第四基部，所述第四基部的一侧边设有向上翘曲的第四悬臂，所述第四悬臂远离第四基部的端部设有第四卷曲部；第四基部背离第四悬臂的一侧设有第三窗口，第四悬臂上设有沿第四悬臂长度方向延伸至第四卷曲部、并将第四卷曲部分割的第四窗口，所述第四窗口与第三窗口...

【专利技术属性】
技术研发人员：许磊，彭书峰，谢东成，周睿颖，
申请(专利权)人：合肥微纳传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34