The invention discloses a method for testing mercury cadmium telluride PN junction material. The method adopts dynamic magnetic field intensity to measure Hall of mercury cadmium telluride PN junction material. The experiment proves that the Hall measurement result of the method is more accurate, so the method of the invention can effectively solve the problem that Hall measurement of fixed magnetic field in the prior art can not accurately evaluate and characterize tellurium. The problems of conductive type, carrier concentration and mobility of Cd-Hg-Pn junction materials.
【技术实现步骤摘要】
一种对碲镉汞pn结材料进行测试的方法
本专利技术涉及红外探测器
，特别是涉及一种对碲镉汞pn结材料进行测试的方法。
技术介绍
随着红外技术的深入发展，先进的红外系统要求探测器具有超大规模凝视面阵、具有更高的探测识别能力、具备双/多色同时探测能力、高稳定性以及更加智能化等，因此高质量材料的制备成为高性能红外焦平面探测器研制的关键因素。而碲镉汞材料由于具有量子效率高、可高温工作、响应波长随组分变化连续可调等显著优点，成为红外焦平面探测器发展的重要材料。这要求材料的载流子浓度的分布具有高稳定性和高均匀性。为了满足高性能探测器的研制需求，必须要制备出高质量的碲镉汞pn结材料，这就要求必须准确表征出碲镉汞pn结材料的导电类型，并且碲镉汞pn结材料中起主导作用的载流子的浓度和迁移率具有高稳定性，起非主导作用的载流子的浓度严格可控，而载流子浓度和迁移率的有效控制直接决定器件p-n结的性能，也是提高碲镉汞探测器最终性能的关键所在。因此碲镉汞pn结材料导电类型、载流子的浓度和迁移率必须达到准确测量，否则无法对碲镉汞pn结材料的载流子浓度和迁移率进行有效控制，无法满足高质量材料...
【技术保护点】
1.一种对碲镉汞pn结材料进行测试的方法，其特征在于，包括：对碲镉汞pn结材料进行预处理；将预处理后的碲镉汞pn结材料进行变化磁场强度的霍尔测试；根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率。
【技术特征摘要】
1.一种对碲镉汞pn结材料进行测试的方法，其特征在于，包括：对碲镉汞pn结材料进行预处理；将预处理后的碲镉汞pn结材料进行变化磁场强度的霍尔测试；根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述碲镉汞pn结材料尺寸为5×5mm—15×15mm。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对碲镉汞pn结材料进行预处理，具体包括：对碲镉汞pn结材料进行清洗处理和吹干处理。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将预处理后的碲镉汞pn结材料进行变化磁场强度的霍尔测试，具体包括：将预处理后的碲镉汞pn结材料进行渐变磁场强度的霍尔测试。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述霍尔测试的磁场强度为由1T渐变为0T，或者，所述霍尔测试的磁场强度为由0T渐变为1T。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述磁场强度的步长为0.01-0.1T，电流为0.1mA。7.根据权利要求1-6中任意一项所述的方法，其特征在于，所述根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率，具体包括：将测试结果带入定量迁移率谱分析QMSA软件，通过QMSA软件确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率。8.根据权利要求1-6中任意一项所述的方法，其特征在于，所述根据测试结果确定碲镉汞pn结材料的霍尔系数RH、载流子浓度和迁移率，具体包括：根据测试结果获得碲镉汞pn结材料最终的载流子浓度和迁移率，并根据测试结果计算霍尔系数RH(0.1...
【专利技术属性】
技术研发人员：许秀娟，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11
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