【技术实现步骤摘要】
一种磁探针装置
本专利技术涉及磁诊断领域，特别是涉及一种磁探针装置。
技术介绍
容性耦合等离子体源(CCP)和感性耦合等离子体源(ICP)已被广泛应用于芯片生产、太阳能电池制备，平板显示器制造以及微机电加工等领域中。等离子体材料处理与加工已成为半导体行业中的核心技术。为了优化工艺参数，节约成本，提高产能，人们采用各种技术手段对等离子体源中的重要参数进行原位诊断。磁探针是对等离子体空间电磁场测量的重要工具，已经被应用于核聚变装置、磁镜装置、射频等离子体源以及爆炸等离子等领域。典型的磁探针结构非常简单，通常由数匝感应线圈制成，基本原理是利用法拉第电磁感应定律。当探针置于交变磁场中时，线圈两端的感应电动势Vp正比于磁场强度B，即：Vp(t)＝-jωnaBejωt。其中，ω为磁场角频率，n为探针线圈匝数，a为线圈横截面积。在感性耦合等离子体源中，通过磁探针不仅能获得磁场的空间分布，还能计算得到电流密度、电场以及电子功率沉积的空间分布，成为探索其物理本质的重要工具。但是，在容性耦合等离子体源中，由于放电由电场驱动，空间的磁场较弱，因此磁场测量相对困难。此外，探针与等离子体电...
【技术保护点】
1.一种磁探针装置，其特征在于，所述磁探针装置包括：磁探针本体和信号处理电路，所述磁探针本体输出端与所述信号处理电路的输入端连接；所述信号处理电路包括第一电容、第二电容、法拉第屏蔽装置和升压变压器，所述法拉第屏蔽装置固定于所述升压变压器的原边线圈和副边线圈之间；所述升压变压器的原边线圈设置中心抽头，并且所述中心抽头接地；所述原边线圈的第一端串联所述第一电容，所述原边线圈的第二端串联所述第二电容。
【技术特征摘要】
1.一种磁探针装置，其特征在于，所述磁探针装置包括：磁探针本体和信号处理电路，所述磁探针本体输出端与所述信号处理电路的输入端连接；所述信号处理电路包括第一电容、第二电容、法拉第屏蔽装置和升压变压器，所述法拉第屏蔽装置固定于所述升压变压器的原边线圈和副边线圈之间；所述升压变压器的原边线圈设置中心抽头，并且所述中心抽头接地；所述原边线圈的第一端串联所述第一电容，所述原边线圈的第二端串联所述第二电容。2.根据权利要求1所述的磁探针装置，其特征在于，所述磁探针装置还包括：示波器，所述信号处理电路的输出端与示波器连接，所述示波器用于显示所述信号处理电路的输出电压的参数。3.根据权利要求1所述的磁探针装置，其特征在于，所述磁探针本体具体包括：探针头、第一同轴线、第二同轴线和石英玻璃管；所述第一同轴线和所述第二同轴线平行放置，所述第一同轴线和所述第二同轴线整体的外部通过铝箔层包裹，通过铝箔层包裹的所述第一同轴线和所述第二同轴线插入固定于所述石英玻璃管内部；所述探针头由两匝线圈组成；所述探针头的第...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵凯，刘永新，王友年，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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