一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法技术

本发明专利技术提供了一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，包括如下步骤：A、在衬底材料上沉积稀土钡铜氧前驱膜；B、将步骤A制备的前驱膜进行熔融然后再凝固的热处理，即可；所述熔融然后再凝固的热处理采用先在760‑850℃下第一次保温1秒‑30分钟，然后在760‑850℃下第二次保温1秒‑30分钟。与现有技术相比，本发明专利技术具有如下的有益效果：降低对稀土钡铜氧高温超导前驱膜沉积过程中工艺的要求；采用该热处理工艺可以实现超导膜的高速率生长，生长速率达到1纳米/秒以上，且稀土钡铜氧化物具有优良的超导性能。

A Heat Treatment Method for High Performance Rare Earth Barium Copper Oxygen High Temperature Superconducting Films Grown at High Speed

The invention provides a heat treatment method for high-speed growth of high-performance rare earth barium-copper-oxygen high temperature superconducting film, which includes the following steps: A, depositing rare earth barium-copper-oxygen precursor film on the substrate material; B, melting and solidifying the precursor film prepared in step A, then heat treatment; the heat treatment of melting and solidification adopts first holding for 1 second to 30 at 760 850 C. Minutes, and then at 760 850 C for the second time holding 1 second 30 minutes. Compared with the existing technology, the present invention has the following beneficial effects: reducing the requirement for the process of depositing rare earth barium copper oxygen high temperature superconducting precursor film; adopting the heat treatment process, the high-speed growth of superconducting film can be realized, the growth rate can reach more than 1 nanometer/second, and the rare earth barium copper oxide has excellent superconducting performance.

【技术实现步骤摘要】
一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法
本专利技术涉及一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，属于第二代高温超导材料制备

技术介绍
稀土钡铜氧化物是一种实用超导材料，如何获得“锐利的双轴织构”是制备高性能薄膜的核心。目前，用于制备“锐利双轴织构”的稀土钡铜氧化物超导膜的制备方法包括，物理气相沉积、化学气相沉积，热蒸发和化学溶液沉积法等。所有沉积技术的核心就是在较苛刻的生长工艺窗口下，以较慢的沉积速率在沉底材料上逐层外延生长超导薄膜。生长工艺参数的偏离或高生长速率将导致超导膜的非取向生长，即形成多晶显微结构，该种显微结构将该生长条件下保持稳定并严重影响超导薄膜的超导电性。在稀土钡铜氧化物的平衡态相图中，存在“液相”的区域。一般认为，利用该“液相”的存在能够实现超导膜的高速外延取向生长，但目前尚无有效热处理工艺可以在超导膜的生长过程中利用“液相”并最终获得高性能的超导膜。
技术实现思路
针对现有技术中的不足，为了高速率生长高性能的超导膜，本专利技术提供一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法。本专利技术采用“熔融再凝固”的热处理工艺，将具有多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，其特征在于，包括以下步骤：A、在衬底材料上沉积稀土钡铜氧前驱膜；B、将步骤A制备的前驱膜进行熔融然后再凝固的热处理，即可。

【技术特征摘要】
1.一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，其特征在于，包括以下步骤：A、在衬底材料上沉积稀土钡铜氧前驱膜；B、将步骤A制备的前驱膜进行熔融然后再凝固的热处理，即可。2.根据权利要求1所述的高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，其特征在于，步骤A中，所述沉积方法包括物理气相沉积、化学气相沉积、热蒸发和化学溶液沉积中的至少一种。3.根据权利要求1所述的高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，其特征在于，步骤A中，所述衬底材料选择单晶衬底材料或织构金属基带衬底材料中的至少一种。4.根据权利要求1所述的高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，其特征在于，步骤A中，所述稀土钡铜氧中的稀土、钡、铜的原子比为0.5-2.5:1.5-2.5:2.5-3.5；所述稀土选自钆、钐、钕中的一种或几种。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵跃，吴蔚，储静远，张智巍，金之俭，洪智勇，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：上海,31