金刚线截断机对线装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域，公开了一种金刚线截断机对线装置，该金刚线截断机对线装置包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。当红外投影仪发出的红外线与硅锭上需要截断的划线重合时，控制器通过直线位移传感器测量划线所在位置，控制对应金刚线切割头与硅棒划线对齐，并进行切割。本实用新型专利技术的金刚线截断机对线装置自动化程度高，对线精度高，降低了工人操作劳动强度。

Alignment device of diamond wire cutter

The utility model relates to the technical field of silicon wafer processing, and discloses a diamond wire cutter alignment device. The diamond wire cutter alignment device comprises a frame body, a silicon rod placement platform at the lower part of the frame body, an infrared projector at the upper part of the frame body which can move along the direction of the arrangement of the silicon rods, a linear displacement sensor synchronously moving with the infrared projector, and a signal transmission device. The manual operation end of the linear displacement sensor is connected with the control host of the diamond wire cutter at the signal output end of the linear displacement sensor. When the infrared ray emitted by the infrared projector coincides with the scribed line which needs to be cut on the silicon ingot, the position of the scribed line is measured by the linear displacement sensor, and the corresponding diamond wire cutting head is aligned with the scribed line of the silicon rod, and the scribed line is cut. The alignment device of the diamond wire cutter of the utility model has high automation degree, high alignment accuracy, and reduces the worker's operating labor intensity.

【技术实现步骤摘要】
金刚线截断机对线装置
本技术涉及硅片加工
，特别是涉及一种金刚线截断机对线装置。
技术介绍
制造硅片前，由于被加工硅棒的两端(头、尾料)杂质含量较多，不能满足硅片制造的需求，所以必须先进行截断加工，目前通常采用在硅棒上划线，然后金刚线截断机大多是靠硅棒升降或钢线升降到一定位置后，通过肉眼查看硅棒的画线部分与钢线是否垂直来进行对线，明显存在精度问题，导致截断时与画线偏差较大，自动化程度低，费时费力，加工效率低。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种精度较高、自动化程度较高且效率高的金刚线截断机对线装置。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案提供了一种金刚线截断机对线装置，包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。进一步地，所述直线位移传感器为光栅尺，所述光栅尺包括标尺光栅和栅读数头。进一步地，所述硅棒放置台下方设置有滑轨，所述硅棒放置台借助于滑轨沿所述滑轨长度方向移本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金刚线截断机对线装置，其特征在于：包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。

【技术特征摘要】
1.一种金刚线截断机对线装置，其特征在于：包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。2.根据权利要求1所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述直线位移传感器为光栅尺，所述光栅尺包括标尺光栅和光栅读数头。3.根据权利要求1所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述硅棒放置台下方设置有滑轨，所述硅棒放置台借助于滑轨沿所述滑轨长度方向移动，所述滑轨与所述红外投影仪移动方向垂直。4.根据权利要求3所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述硅棒放置台上设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：王会敏，张浩强，李立伟，吕思迦，张建龙，尤志剑，
申请(专利权)人：邢台晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13