A cutting method for cutter wheel and multi-layer substrate can suppress the thermal effect caused by irradiation laser and make the adhesive not easy to adhere to the cutter wheel when cutting multi-layer substrate composed of different substrates and with bonding layer between layers. A groove is formed by laser cutting the first layer (11) from one side of the multilayer substrate (10). Moreover, the cutter wheel (20) with concentric circular abrasive marks is rolled to form a gap in the groove reaching the lowest layer (13). After turning over, the lowest layer is cut by laser from the back. Thus, when cutting the multilayer substrate (10), the thermal effect caused by the irradiation laser is suppressed, and the adhesive between the layers of the multilayer substrate is not easy to adhere to the inclined surface of the cutter wheel (20).
【技术实现步骤摘要】
刀轮以及多层基板的切割方法
本专利技术涉及将多个树脂基板通过粘接剂层叠的多层基板的切割方法及用于该切割的刀轮。
技术介绍
目前,在对内部具有粘接剂的多层基板进行切割时,从一面照射激光,沿期望的线切割基板,进一步翻转基板,从另一面沿该切割线照射激光,由此进行切割。此时,针对基板的材质,需要照射不同的激光,因此用于照射激光的头部的结构变得复杂,存在成本高的问题。因此,可以使用刀轮切割其一部分的切割工序。专利文献1公开了现有的呈圆板状且在外周具有刀尖的刀轮,在该刀尖部分放射线状具有研磨痕迹。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2012-71377号公报
技术实现思路
在针对每一种基板材质多次照射不同种类的激光的方法中,对于基板的热影响较大,因此有可能对基板的特性带来不良影响。另一方面,在如对比文件1那样的一边滚动这样的刀轮一边切割多层基板时,相互粘接树脂基板的粘接剂留在刀轮的刀尖的倾斜面。因此,随着刀轮的滚动,粘接剂转印到多层基板的其它部分,存在降低切割质量的问题。不容易清除附着在刀轮刀尖上的粘接剂,期望研究出粘接剂难以附着在刀尖上的切割方法。本专利技术是鉴于这样的现有 ...
【技术保护点】
1.一种刀轮,呈圆板状,并在外周部分具有截面V字形的倾斜面,所述倾斜面具有与所述刀轮的中心轴一致的同心圆状的研磨痕迹。
【技术特征摘要】
2017.06.23 JP 2017-122754;2018.05.22 JP 2018-097941.一种刀轮,呈圆板状,并在外周部分具有截面V字形的倾斜面,所述倾斜面具有与所述刀轮的中心轴一致的同心圆状的研磨痕迹。2.一种多层基板的切割方法,对至少两层树脂基板通过粘接层层叠而成的所述多层基板进行切割,所述切割方法包括:以所述多层基板中的最下层为下表面将所述多层基板配置在工作台上,使刀轮从所述多层基板的上表面滚动,从而沿切割线形成缝隙,将所述多层基板翻转,包含所述切割线在内地对所述多层基板照射激光来切割所述最下层,从而切割所述多层基板。3.根据权利要求2所述的多层基...
【专利技术属性】
技术研发人员:泷田阳平,关岛孝志,小木曾洋平,木下真司,
申请(专利权)人:三星钻石工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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