刀具罩制造技术

提供刀具罩，能够抑制切削液泄漏，并能够低价地制造。刀具罩具有提供切削液的切削液提供喷嘴(101)。切削液提供喷嘴具有喷出切削液的管(110)、将管的基端(110c)侧夹紧的第1块(107)、第2块(108)以及夹紧单元(113)。第1块具有：收纳室(119)，其对管的基端侧进行收纳；以及第1半圆柱凹部(123)，其在收纳室的延伸方向上延伸。第2块具有：第2半圆柱凹部(124)，其与第1半圆柱凹部对置，形成有与管的直径相同的内径；以及凸部(133)，其从第2半圆柱凹部的内壁突出。在将管收纳于收纳室并利用夹紧单元通过第1半圆柱凹部和第2半圆柱凹部将管夹紧时，管被凸部压扁而推展，在管的基端侧形成鼓出密封部(S)。

Tool hood

The tool cover is provided to suppress the leakage of cutting fluid and can be manufactured at a low cost. The tool cover has a cutting fluid supply nozzle (101) that provides cutting fluid. The cutting fluid provides a nozzle with a tube (110) for ejecting the cutting fluid, a first block (107), a second block (108) for clamping the base end (110c) side of the tube, and a clamping unit (113). The first block has a receiving chamber (119), which receives the base end side of the pipe, and the first half cylindrical concave part (123), which extends in the extending direction of the receiving chamber. The second block has: the second half cylindrical concave part (124), which is opposite to the first half cylindrical concave part, forming the same inner diameter as the pipe; and the convex part (133), which protrudes from the inner wall of the second half cylindrical concave part. When the pipe is placed in the receiving chamber and clamped by the clamping unit through the first and second half cylindrical concave parts, the pipe is flattened and pushed forward by the convex part, and a bulging sealing part (S) is formed at the base end of the pipe.

【技术实现步骤摘要】
刀具罩
本专利技术涉及刀具罩，该刀具罩具有向切削刀具提供切削液的切削液提供喷嘴。
技术介绍
在半导体器件的制造工序中，在大致圆板形状的晶片的正面上呈格子状形成有分割预定线，在由分割预定线划分出的区域内形成有器件等。然后，晶片被切削装置沿着分割预定线切削而分割成各个半导体芯片。在使用切削装置的切削加工中，使高速旋转的切削刀具沿着晶片的分割预定线切入。在切削加工中，经由切削液提供喷嘴向切削刀具的侧面提供切削液，进行切削屑的清洗、加工部分的冷却以及润滑等。在切削装置中，切削液提供喷嘴配设在覆盖切削刀具而形成的刀具罩中，以两根管的方式夹着切削刀具与切削刀具的切削方向平行并且与对晶片进行保持的保持工作台的保持面平行地配设。并且，切削液提供喷嘴中，将在与两根管的延伸方向垂直的方向上朝向切削刀具的两个侧面喷出切削液的多个喷出口沿切削进给方向排列配设。作为切削装置的切削液提供喷嘴，除了如专利文献1所公开的那样与呈块状的刀具罩一体形成的类型之外，还包含如专利文献2所公开的那样将供切削液流通的管与刀具罩连接而形成的类型。专利文献1：日本特开2010-46726号公报专利文献2：日本特开2011-1142本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刀具罩，其配设在将主轴支承为旋转自如的主轴外壳的前端，将安装于该主轴的切削刀具覆盖，具有向该切削刀具的两个侧面提供切削液的切削液提供喷嘴，该切削液提供喷嘴在该切削刀具的切削进给方向上延伸，夹着该切削刀具而配设，其中，该切削液提供喷嘴具有：管，其在该切削进给方向上排列有喷出该切削液的多个喷出口，从该管的一个端部提供切削液，在另一个端部具有封闭部；第1块和第2块，它们将该管的一个端部侧的外壁夹紧；以及夹紧单元，其通过该第1块和该第2块将该管夹紧，该第1块具有：圆柱状的收纳室，其从该管的一个端部按照规定的长度对该管进行收纳，具有按照比该管的直径大的内径而形成的底部；第1半圆柱凹部，其在该收纳...

【技术特征摘要】
2017.06.26 JP 2017-1237991.一种刀具罩，其配设在将主轴支承为旋转自如的主轴外壳的前端，将安装于该主轴的切削刀具覆盖，具有向该切削刀具的两个侧面提供切削液的切削液提供喷嘴，该切削液提供喷嘴在该切削刀具的切削进给方向上延伸，夹着该切削刀具而配设，其中，该切削液提供喷嘴具有：管，其在该切削进给方向上排列有喷出该切削液的多个喷出口，从该管的一个端部提供切削液，在另一个端部具有封闭部；第1块和第2块，它们将该管的一个端部侧的外壁夹紧；以及夹紧单元，其通过该第1块和该第2块将该管夹紧，该第1块具有：圆柱状的收纳室，其从该管的一个端部按照规定的长度对该管进行收纳，具有按照比该管的直径大的内径而形成的底部；第1半圆柱凹部，其在该收纳室...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本和久，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP