一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器及其制备方法。经过制备混合溶液、多层薄膜、高温烧结、金属纳米粒子、电极等步骤制备所述基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器。本发明专利技术所述制备方法适用范围广，可以在多种大尺寸衬底上实现基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备，有利于降低生产成本，而且制造设备简单，工艺成熟，方便规模化生产，另外，本发明专利技术所述的紫外光电探测器光电响应性能优良。

【技术实现步骤摘要】
一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器及其制备方法
本专利技术涉及光电探测器领域，特别涉及一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器及其制备方法。
技术介绍
随着现代工业的高速发展，温室气体对臭氧层造成了严重的破坏，臭氧层变薄，甚至臭氧层局部出现了空洞。臭氧层的变薄或者空洞会导致入射到地球表面的紫外线增加。过量的紫外线对地球生物而言有极大的危害。特别对于人类而言，过高的紫外剂量照射很容易灼伤皮肤甚至诱发皮肤癌等严重疾病。因此，加强对户外紫外线的监测就显得非常重要。ZnO是一种无毒、生物兼容性极佳、原材料丰富的Ⅱ-Ⅵ族宽带隙半导体材料，也是一种新兴的紫外光电材料，在光催化降解、气敏传感、光电探测、光电显示等领域具有广阔的应用前景。室温下，未参杂的ZnO的吸收带边在360nm附近，属于近紫外波段，且具有较好的综合光电性能。因此，ZnO材料是一种制造紫外探测的理想材料。现有技术中有较多利用ZnO薄膜来制备紫外探测器的。如CN1400674A该专利技术利用光刻胶遮挡和磁控溅射的方式溅射出电极，制备紫外探测器。还有如CN106711283A将ZnO制作成墨水，通过喷墨打印的方式制造紫外光电探测器。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器，其特征在于，所述紫外光电探测器由衬底和衬底上的ZnO薄膜、ZnO薄膜上的ZnO纳米网格、ZnO纳米网格上的金属纳米粒子以及电极构成。

【技术特征摘要】
1.一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器，其特征在于，所述紫外光电探测器由衬底和衬底上的ZnO薄膜、ZnO薄膜上的ZnO纳米网格、ZnO纳米网格上的金属纳米粒子以及电极构成。2.根据权利1所述的一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器，其特征在于，所述金属纳米粒子包含Pt、Ag、Ni、Ti、Fe、Cu中的至少一种。3.根据权利1所述的一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器，其特征在于，所述衬底为玻璃、蓝宝石、硅、石英、金属中的一种。4.一种根据上述权利要求中任一项所述的基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)混合溶液的制备：将醋酸锌和乙醇按0.08-0.8g:20-160mL的比例制备混合溶液，搅拌30-70min，制得混合溶液A；然后将醋酸锌、碳酸锌、乙醇按0.08-0.8g:0.035-0.4g:20-160mL的比例制备混合溶液，搅拌30-70min，制得混合溶液B；(2)薄膜C的制备：在衬底上滴加4-12滴混合溶液A，接着第一次利用旋涂仪以350-500r/min的速度旋转衬底30-90s，接着第二次以1200-1600r/min的速度旋转10-50s，接着第三次以3500-5500r/min的速度旋转50-140s，并在旋转过程中滴加4-15滴混合溶液A，制得薄膜C，备用；(3)低温烘干：在60-130℃下烘烤薄膜C8-40min，备用；(4)以步骤(3)所得薄膜为基础，依次重复步骤(2)和(3)5-25次，制得薄膜D；(5)以薄膜D为基础，使用混合溶液B替代步骤(2)中的混合溶液A，依次按照步骤(2)和(3)重复1-3次，制得多层薄膜E；(6)高温烧结：将多层薄膜E以每分钟3-8...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨为家，沈耿哲，何鑫，梁萍，刘俊杰，刘铭全，刘艳怡，王诺媛，陈毅湛，
申请(专利权)人：五邑大学，
类型：发明
国别省市：广东,44