【技术实现步骤摘要】
一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置
本专利技术涉及非晶硅薄膜生产
，具体是一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置。
技术介绍
非晶硅薄膜太阳能电池生产时，其中pin膜的沉积是利用PECVD技术在非硅衬底上制备晶粒较小的多晶硅薄膜的一种方法，该薄膜是一种p-i-n结构，主要特点是在p层和n层之间有一层较厚的多晶硅的本征层（i层），其制备温度很低（100～200℃），目前用这种方法制备的电池，试验室最高效率已达10.7％。薄膜沉积后，采用激光设备对沉积膜进行高速、精确地划刻，随着技术的发展，激光作为一个功能强大的生产性工具，已广泛应用于制造、表面处理和材料加工领域；中国专利申请号201120438439.4授权公告号CN202336668U公开的一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，包括机架，所述机架下部设有基座，所述基座上设置有激光聚焦头和用于传送材料基板的传送装置，还包括设置于所述机架上的气浮机构，所述气浮机构产生定向气流，用于整平放置于所述气浮机构中的材料基板，通过上下夹持的气浮机构，可以在不接触材料基板的前提下很好的将变形的材料基板整平，使其能...
【技术保护点】
1.一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置，包括装置本体（1）和支撑柱（11），所述支撑柱（11）固定连接装置本体（1），所述装置本体（1）内底部固定安装下气浮板（10），下气浮板（10）从左到右依次设有三个，左侧的两个下气浮板（10）之间设有能够产生激光聚焦光束的激光聚焦头，左侧的两个下气浮板（10）上侧对应设有上气浮板（15），其特征在于，所述装置本体（1）的左右端面开设有出料口（14）和进料口（9），所述上气浮板（15）上端面固定连接螺纹杆一（17），所述螺纹杆一（17）螺纹连接旋转柱（18），所述旋转柱（18）通过轴承一转动连接装置本体（1）内壁，旋转柱（18）上固定...
【技术特征摘要】
1.一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置，包括装置本体（1）和支撑柱（11），所述支撑柱（11）固定连接装置本体（1），所述装置本体（1）内底部固定安装下气浮板（10），下气浮板（10）从左到右依次设有三个，左侧的两个下气浮板（10）之间设有能够产生激光聚焦光束的激光聚焦头，左侧的两个下气浮板（10）上侧对应设有上气浮板（15），其特征在于，所述装置本体（1）的左右端面开设有出料口（14）和进料口（9），所述上气浮板（15）上端面固定连接螺纹杆一（17），所述螺纹杆一（17）螺纹连接旋转柱（18），所述旋转柱（18）通过轴承一转动连接装置本体（1）内壁，旋转柱（18）上固定安装锥齿轮二（19），所述锥齿轮二（19）啮合连接锥齿轮三（20），所述锥齿轮三（20）对称设置，对称设置的锥齿轮三（20）分别固定安装在转轴（21）的左右端面，所述转轴（21）通过轴承转动连接固定板（22），且贯穿固定板（22），所述固定板（22）固定连接装置本体（1）顶部，所述转轴（21）上固定安装锥齿轮五（24），所述锥齿轮五（24）啮合连接锥齿轮四（23），所述锥齿轮四（23）固定安装在传动杆二（44）上，所述传动杆二（44）通过轴承转动连接固定板一，且贯穿固定板一，固定板一固定连接装置本体（1），所述锥齿轮四（23）啮合连接锥齿轮一（12），所述锥齿轮一（12）固定安装在传动杆一（13）上，传动杆一（13）通过固定板二固定连接装置本体（1），固定板二的连接方式同固定板一，锥齿轮一（12）啮合连接锥齿轮七，所述锥齿轮七固定连接转轴二，所述转轴二通过轴承转动连接装置本体（1），所述转轴二固定连接把手二（45），所述转轴二上螺纹连接螺帽，所述装置本体（1）内顶部均匀固定安装吸头（25），所述吸头（25）通过回收管（26）连接抽风机（27）的输入端，所述抽风机（27）的输出端通过回收管（26）连接收集箱（28）。2.根据权利要求1所述的一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置，其特征在于，所述收集箱（28）顶部设有出气口（29），出气口（29）内固定安装过滤网，收集箱（28）内设有活性炭过滤层（30）和滤布层（31），所述活性炭过滤层（30）和滤布层（31）固定连接收集箱（28）内壁，所述滤布层（31）下侧设有螺纹杆二（33），所述螺纹杆二（33）通过轴承转动连接收集箱（28）内壁，且贯穿收集箱（28），所述螺纹杆二（33）固定连接把手一（32），螺纹杆二（33）上螺纹连接滑块（36），所述滑块（36）下端面固定连...
【专利技术属性】
技术研发人员：汤新刚，刘文仓，何武岗，
申请(专利权)人：中山市睿普自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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