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本发明公开了一种用于制造非晶硅薄膜的二次激光装置,包括装置本体和支撑柱,支撑柱固定连接装置本体,装置本体内设有上气浮板、下气浮板、激光聚焦头和清洁箱,装置本体开设有出料口和进料口,上气浮板上端面固定连接螺纹杆一,螺纹杆一螺纹连接旋转柱,旋转...该专利属于中山市睿普自动化科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山市睿普自动化科技有限公司授权不得商用。
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