【技术实现步骤摘要】
一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉
本技术涉及一种加热器，具体涉及一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉。
技术介绍
20世纪90年代以来，随着溅射技术的不断发展，各种溅射膜极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求，特别在微电子、显示器、存储等领域，得到了广泛的应用。目前的各种溅射薄膜主要采用真空磁控溅射法来生产，在生产的过程中，先对靶材进行绑定，然后在高真空室中充入所需要的惰性气体，在被溅射的靶极与阳极之间加一个正交磁场和电场，在电场的作用下，惰性气体电离成正离子和电子，离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。在靶材和背板绑定时，需要将焊料加热熔化，均匀地涂在靶材和背板上，冷却后两者得到牢固的结合，目前的做法是在绑定平台上，将焊料加热熔化，然后进行绑定。这种做法，生产效率低，焊料的加热不是很充分，容易产生应力造成靶材开裂，在使用过程中会造成绑定不牢，进而影响最终产品的质量，同时焊料在加热过程中容易氧化，绑定不好导致脱绑，因此，解决靶材绑定效率及焊料加热过久高温氧化的问题就显得尤为重要了。技术内...
【技术保护点】
1.一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，包括外箱体，其特征在于，还包括底座、焊剂箱、加热器、测温元件、控制箱、温度控制器、定时器和报警器，所述的底座下方设置有滚轮，所述的滚轮上设置有制动杆，所述的底座上设置有控制箱，所述的外箱体底部固定在底座上，所述的外箱体和焊剂箱之间形成加热腔体，所述的焊剂箱放置在加热腔体中，所述的焊剂箱上设置顶盖，所述的加热腔体的底面和每个侧面设置加热器，所述的加热腔体内填充保温材料，所述的焊剂箱中设置有测温元件，所述控制箱上设置温度控制器、定时器、报警器和电源开关，所述的测温元件、加热器、温度控制器、定时器、报警器、电源开关通过导线和控制箱连接在一起。
【技术特征摘要】
1.一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉，包括外箱体，其特征在于，还包括底座、焊剂箱、加热器、测温元件、控制箱、温度控制器、定时器和报警器，所述的底座下方设置有滚轮，所述的滚轮上设置有制动杆，所述的底座上设置有控制箱，所述的外箱体底部固定在底座上，所述的外箱体和焊剂箱之间形成加热腔体，所述的焊剂箱放置在加热腔体中，所述的焊剂箱上设置顶盖，所述的加热腔体的底面和每个侧面设置加热器，所述的加热腔体内填充保温材料，所述的焊剂箱中设置有测温元件，所述控制箱上设置温度控制器、定时器、报警器和电源开关，所述的测温元件、加热器、...
【专利技术属性】
技术研发人员：高建杰，李金龙，孟红波，刘正国，
申请(专利权)人：洛阳丰联科绑定技术有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41
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