一种平面靶材绑定辅助装置制造方法及图纸

一种平面靶材绑定辅助装置，属于靶材绑定技术领域，包括底座、保护板和铜背板，所述底座横截面呈凹字型，底座两个外侧面向内倾斜，保护板的上表面为向下凹的弧形面，底座内侧面和外侧面之间从上到下依次设置若干通孔，通孔从底座外侧面向底座内侧面倾斜，通孔的中心轴线与水平面的夹角为锐角，通孔上安装弹性组件，弹性组件由固定端、活动端和弹簧组成，弹簧从通孔中穿过，弹簧一端与固定端连接，弹簧另一端与活动端连接，固定端通过螺栓固定在底座外侧面，活动端放置在保护板的上表面上。本实用新型专利技术可以预先使铜背板呈现向下弯曲的趋势从而抵消靶材绑定过程中产生的形变，以达到绑定所需的平整度要求，使用方便，适用于不同生产线需求。线需求。线需求。

【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材绑定辅助装置


[0001]本技术涉及靶材绑定
，具体涉及一种平面靶材绑定辅助装置。

技术介绍

[0002]在平板显示器行业，包括TFT与Touch Panel行业的表面镀膜时，膜层起导电线路与透明导电膜功能时，对蚀刻线路精度与表面粗糙度有极高的要求，在镀膜时，大量使用金属靶材与ITO靶材，为了迅速冷却靶材，使靶材原子能有效、均匀沉积在面板基片上，靶材必须绑定在铜背板上。
[0003]在现有技术中，通常采用钎焊技术进行靶材绑定加工，焊料为金属铟，在加热过程中，沿铜背板的长度方向的中部会在竖直方向向上拱起，为使铜背板保持平直状态，要对铜背板进行校正，校正后的形状为向上弯曲的微凹形，用以抵消一部分向下弯曲的趋势，通常的校正方法是在沿铜背板的长度方向的中部设置有配重块，通过配重块使铜背板压贴于加热平台，从而抵消铜背板在加热过程中竖直方向的形变，由于配重块直接接触并压紧铜靶材，铜靶材的材质较软，容易对铜靶材的表面刮伤，且配重块重量大，人工搬运比较费力，同时对于不同的生产线，靶材绑定时铜背板产生的形变幅度不同，因而对铜背板的校正幅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面靶材绑定辅助装置，其特征在于：包括底座、设置在底座内的保护板和设置在保护板上的铜背板，所述底座横截面呈凹字型，所述底座两个外侧面向内倾斜，所述保护板的上表面为向下凹的弧形面，所述底座内侧面和外侧面之间从上到下依次设置若干通孔，所述通孔从底座外侧面向底座内侧面倾斜，所述通孔的中心轴线与水平面的夹角为锐角，所述通孔上安装弹性组件，所述弹性组件由固定端、活动端和弹簧组成，所述弹簧从通孔中穿过，所述弹簧一端与固定端连接，所述弹簧另一端与活动端连接，所述固定端通过螺栓固定在底座外侧面，所述活动端放置在保护板的上表面上。2.如权利要求1所述的一种平面靶材绑定辅助装置，其特征在于：所述保护板的形状为长条矩形，所述保护板的底面为平面，所述保护板的长度大于所述铜背板的长度，所述保护板的宽度大于所述铜背板的宽度，所述保护板的底面长度与底座内底面的长度相等，所述保护板的底面宽度小于底...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雪凤，李帅方，念雯雯，
申请(专利权)人：洛阳丰联科绑定技术有限公司，
类型：新型
国别省市：