【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置
本专利技术涉及光伏领域，具体涉及一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置。
技术介绍
硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅在制作过程中需要经过硅片清洗作业，现有的清洗装置往往只具有一种方式的清洗功能，并且清洗后难以干燥，增加了流水线生产的时间。
技术实现思路
专利技术目的：本专利技术旨在克服现有技术的缺陷，提供一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置。技术方案：一种硅片清洗装置，包括控制器、硅片承载装置、底板、顶板以及连接底板和顶板的侧壁部，所述底板处固定有圆柱形的储液容器，所述储液容器具有注液管和出液管，所述注液管和出液管处均具有阀门，所述储液容器内具有超声装置，所述顶板和底板之间连接有3个相互平行的光杆，所述顶板处还具有第一电机，所述底板处具有轴承座，轴承座处具有第一轴承，所述第一轴承和第一电机之间连接有丝杆，3个光杆和所述丝杆处均套有一个滑块，所...
【技术保护点】
1.一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，其特征在于，包括控制器、硅片承载装置、底板、顶板以及连接底板和顶板的侧壁部，所述底板处固定有圆柱形的储液容器，所述储液容器具有注液管和出液管，所述注液管和出液管处均具有阀门，所述储液容器内具有超声装置，所述顶板和底板之间连接有3个相互平行的光杆，所述顶板处还具有第一电机，所述底板处具有轴承座，轴承座处具有第一轴承，所述第一轴承和第一电机之间连接有丝杆，3个光杆和所述丝杆处均套有一个滑块，所述硅片承载装置包括圆板、与圆板固定的圆环柱形部和与圆板固定的圆柱形部，所述圆柱形部具有倒锥台形凹槽，所述圆柱形部的外圆周壁处具有呈环形排列的多个第一...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置，其特征在于，包括控制器、硅片承载装置、底板、顶板以及连接底板和顶板的侧壁部，所述底板处固定有圆柱形的储液容器，所述储液容器具有注液管和出液管，所述注液管和出液管处均具有阀门，所述储液容器内具有超声装置，所述顶板和底板之间连接有3个相互平行的光杆，所述顶板处还具有第一电机，所述底板处具有轴承座，轴承座处具有第一轴承，所述第一轴承和第一电机之间连接有丝杆，3个光杆和所述丝杆处均套有一个滑块，所述硅片承载装置包括圆板、与圆板固定的圆环柱形部和与圆板固定的圆柱形部，所述圆柱形部具有倒锥台形凹槽，所述圆柱形部的外圆周壁处具有呈环形排列的多个第一凹槽，所述圆环柱形部的内圆周壁具有呈环形排列的多个第二凹槽，所述圆环柱形部还具有多个连通第二凹槽和圆环柱形部外圆周壁的连通孔，所述第一凹槽、第二凹槽以及连通孔的数量相等，所述圆环柱形部与第二轴承的内圈固定，第二轴承的外圈与4个滑块均固定连接，所述圆环柱形部的外圆周壁固定有圆环部；所述侧壁部的内侧具有第一安装凹槽，所述第一安装凹槽内安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的活动端固定有第二电机，第二电机的电机轴具有能够与所述圆环部抵接并驱动圆环部转动的主动摩擦辊；所述顶板通过连接支架连接有圆盘部，所述圆盘部具有第一内腔和第二内腔，所述圆盘部还连接有多个第一喷嘴和多个第二喷嘴，所有的第一喷嘴均与第一内腔连通，所有的第二喷嘴均与第二内腔连通，所述第一内腔连接有进液管，进液管处...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈春成，戚建静，
申请(专利权)人：江苏晶品新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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