【技术实现步骤摘要】
一种高温扩散舟
本技术属于半导体加工设备
，涉及一种高温扩散舟。
技术介绍
扩散舟是在半导体生产中用于高温扩散时装载硅片必不可少的工具之一，传统的扩散舟主要是在石英基板上进行刻槽，其具有产品承载数量少、易变形、对产品造成损伤等不足，且不能根据产品数量对扩散舟进行调节，使用不便，因此，设计一种能够折叠，占用空间小，能够加大对产品圆片的放置，方便调节的高温扩散舟很有应用前景。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于克服现有技术存在的缺点，提出设计一种高温扩散舟，具有占用空间小，易于放置的特点，能够加大对圆片的放置，并能够根据圆片的数量调节高温扩散舟，使用方便，提高了工作效率。本技术涉及的高温扩散舟，其主体结构包括底板和支架；所述的底板为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽，底板两个侧面上对称开设有滑轨；凹槽内部设置有四个支架；其中两个支架设置在底板的两端，其底端两侧与底板铰接；另外两个支架设置在底板的中间位置，其底端两侧置于滑轨中，与滑轨滑动连接；底板侧面位于滑轨上方的位置均匀设置有定位孔；定位孔内置有定位销。作为优化，所述的支架包括设置在底端的横向支撑和立柱；所述的横...
【技术保护点】
1.一种高温扩散舟，其主体结构包括底板（1）和支架（2）；其特征在于：所述的底板（1）为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽（3），底板（1）两个侧面上对称开设有滑轨（4）；凹槽（3）内部设置有四个支架（2）；其中两个支架（2）设置在底板（1）的两端，其底端两侧与底板（1）铰接；另外两个支架（2）设置在底板（1）的中间位置，其底端两侧置于滑轨（4）中，与滑轨（4）滑动连接；底板（1）侧面位于滑轨（4）上方的位置均匀设置有定位孔（5）；定位孔（5）内置有定位销。
【技术特征摘要】
1.一种高温扩散舟，其主体结构包括底板（1）和支架（2）；其特征在于：所述的底板（1）为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽（3），底板（1）两个侧面上对称开设有滑轨（4）；凹槽（3）内部设置有四个支架（2）；其中两个支架（2）设置在底板（1）的两端，其底端两侧与底板（1）铰接；另外两个支架（2）设置在底板（1）的中间位置，其底端两侧置于滑轨（4）中，与滑轨（4）滑动连接；底板（1）侧面位于滑轨（4）上方的位置均匀设置有定位孔（5）；定位孔（5）内置有定位销。2.根据权利要求1所述的高温扩散舟，其特征在于：所述的支架（2）包括设置在底端的横向支撑（21）和立柱（22）；所述的横...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭城，吕明，王永超，郭英云，
申请(专利权)人：山东科芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。