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本实用新型属于半导体加工设备技术领域，涉及一种高温扩散舟；其结构包括底板和支架；所述的底板为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽，底板两个侧面上对称开设有滑轨；凹槽内部设置有四个支架；其中两个支架设置在底板的两端，其底端两侧与底板铰接；另外...
该专利属于山东科芯电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东科芯电子有限公司授权不得商用。

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