一种硅晶片装载架制造技术

本实用新型专利技术属于电子元器件技术领域，涉及一种硅晶片装载架；其结构包括连接板和支撑杆；连接板左右对称设置，每个连接板上对称设置有扇形环形槽和矩形卡槽，卡槽均匀分布在扇形环形槽上；连接板之间设置有四个支撑杆；支撑杆包括上支撑杆和下支撑杆；上支撑杆贯穿在扇形环形槽靠近顶端的一侧；下支撑杆贯穿在扇形环形槽靠近底端的一侧；每个支撑杆的两端均设置有与卡槽匹配使用的卡块；每个支撑杆内侧面均匀设置有用于卡嵌晶片的三角插槽；该装载架实现了不同尺寸晶片的装载，支撑杆能够迅速定位，保证三角插槽上下对称，可拆卸连接在支撑杆上的卡块使得装载架拆装方便快捷，并能够根据实际需要调节晶片装载量，操作方便，应用范围广。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶片装载架
本技术属于电子元器件
，涉及一种硅晶片装载架，特别是一种适用于圆晶片装载的硅晶片装载架。
技术介绍
硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，利用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体、自动化和计算机等技术的发展，硅片的应用非常广泛，涉及航空航天、工业、农业和国防等多个领域。硅片的制作工艺复杂，对其质量要求较高，其中，晶片清洗是生产晶片的重要步骤之一，是获取高质量晶片的关键，晶片装载架是晶片清洗过程中，用于装载晶片的装置。目前，现有晶片装载架不便于安装和拆卸，使用不便，且不能放置多种尺寸的晶片。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于克服现有技术存在的缺点，提出设计一种硅晶片装载架，以解决上述问题，方便调节和拆卸，能够适应于不同尺寸晶片的装载，应用范围广。本技术涉及的硅晶片装载架，其主体结构包括连接板和支撑杆；所述的连接板左右对称设置，每个连接板上对称设置有扇形环形槽和矩形卡槽，卡槽均匀分布在扇形环形槽上；连接板之间设置有四个支撑杆；支撑杆包括上支撑杆和下支撑杆；上支撑杆贯穿在扇形环形槽靠近顶端的一侧；下支撑杆贯穿在扇形环形槽靠近底端的一侧；每个支撑杆的两端均设置有与卡槽匹配使用的卡块；每个支撑杆内侧面均匀设置有用于卡嵌晶片的三角插槽。进一步的，所述的卡块靠近支撑杆端部的一侧设置有凸块，当卡块完全卡扣在卡槽中时，凸块紧贴连接板外侧面，用于对卡块进行定位，并方便手动造作卡块。进一步的，所述的支撑杆一端与卡块固定设置，另一端与卡块可拆卸式连接，使用时，首先将与支撑杆固定连接的卡块卡扣在卡槽内，然后再将另一端的卡块卡扣在卡槽内，便于支撑杆在扇形环形槽中的迅速定位，保证了上支撑杆与下支撑杆上的三角插槽上下对称，有利于装载晶片，且能够调节与支撑杆可拆卸式连接的卡块在支撑杆上的位置，从而调节两连接板之间的距离，能够根据需要装载不同数量的晶片，使用灵活，操作方便快捷。进一步的，所述的上支撑杆为两个，且处于同一水平面上；下支撑杆为两个，且处于同一水平面上，有利于晶片的稳固放置。本技术与现有技术相比，具有以下优点：扇形环形槽及卡槽的配合设置，使得支撑杆方便安装和调节，实现了不同尺寸晶片的装载；固定卡扣在支撑杆上的卡块与凸块的配合设置，使得支撑杆能够迅速定位，保证三角插槽上下对称，可拆卸连接在支撑杆上的卡块使得装载架拆装方便快捷，并能够根据实际需要调节晶片装载量；其整体结构简单，设计合理，应用环境良好。附图说明图1为本技术的主视图；图2为本技术的右视图；图3为本技术的俯视图；其中，1连接板、2支撑杆、3扇形环形槽、4卡槽、5卡块、6三角插槽、7凸块、21上支撑杆、22下支撑杆。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。下面通过具体实施例并结合附图对本技术作进一步说明。实施例1：本实施例所述的硅晶片装载架，其主体结构包括连接板1和支撑杆2；所述的连接板1左右对称设置，每个连接板1上对称设置有扇形环形槽3和矩形卡槽4，卡槽4均匀分布在扇形环形槽3上；连接板1之间设置有四个支撑杆2；支撑杆2包括上支撑杆21和下支撑杆22；上支撑杆21贯穿在扇形环形槽3靠近顶端的一侧；下支撑杆22贯穿在扇形环形槽3靠近底端的一侧；每个支撑杆2的两端均设置有与卡槽4匹配使用的卡块5；每个支撑杆2内侧面均匀设置有用于卡嵌硅晶片的三角插槽6。本实施例所述的卡块5靠近支撑杆2端部的一侧设置有凸块7，当卡块5完全卡扣在卡槽4中时，凸块7紧贴连接板1外侧面，用于对卡块5进行定位，并方便手动造作卡块5。本实施例所述的支撑杆2一端与卡块5固定设置，另一端与卡块5可拆卸式连接，使用时，首先将与支撑杆2固定连接的卡块5卡扣在卡槽4内，然后再将另一端的卡块5卡扣在卡槽4内，便于支撑杆2在扇形环形槽3中的迅速定位，保证了上支撑杆21与下支撑杆22上的三角插槽6上下对称，有利于装载晶片，且能够调节与支撑杆2可拆卸式连接的卡块5在支撑杆2上的位置，从而调节两连接板1之间的距离，能够根据需要装载不同数量的晶片，使用灵活，操作方便快捷。本实施例所述的上支撑杆21为两个，且处于同一水平面上；下支撑杆22为两个，且处于同一水平面上，有利于晶片的稳固放置。本实施例在使用时，将两个上支撑杆21贯穿在扇形环形槽3中，根据晶片尺寸的不同，选择不同高度的卡槽4，然后将每个上支撑杆21两端的卡块5卡扣在相应卡槽4中，将上支撑杆21位置固定，使得两个上支撑杆21处于同一水平面上，按照上述同样步骤将位于两个上支撑杆21的下方的两个下支撑杆22固定在扇形环形槽3中；将晶片竖直插在三角插槽6中，三角插槽6的设置减小了装载架与晶片的接触面积，提高了晶片清洗效果，上支撑杆21和下支撑杆22能够根据晶片的尺寸，固定在不同高度的卡槽4内；调节方便，应用范围广。上述具体实施方式仅是本技术的具体个案，本技术的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样，任何符合本技术权利要求书且任何所属
的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本技术的专利保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅晶片装载架，其主体结构包括连接板（1）和支撑杆（2）；其特征在于：所述的连接板（1）左右对称设置，每个连接板（1）上对称设置有扇形环形槽（3）和矩形卡槽（4），卡槽（4）均匀分布在扇形环形槽（3）上；连接板（1）之间设置有四个支撑杆（2）；支撑杆（2）包括上支撑杆（21）和下支撑杆（22）；上支撑杆（21）贯穿在扇形环形槽（3）靠近顶端的一侧；下支撑杆（22）贯穿在扇形环形槽（3）靠近底端的一侧；每个支撑杆（2）的两端均设置有与卡槽（4）匹配使用的卡块（5）；每个支撑杆（2）内侧面均匀设置有用于卡嵌硅晶片的三角插槽（6）。

【技术特征摘要】
1.一种硅晶片装载架，其主体结构包括连接板（1）和支撑杆（2）；其特征在于：所述的连接板（1）左右对称设置，每个连接板（1）上对称设置有扇形环形槽（3）和矩形卡槽（4），卡槽（4）均匀分布在扇形环形槽（3）上；连接板（1）之间设置有四个支撑杆（2）；支撑杆（2）包括上支撑杆（21）和下支撑杆（22）；上支撑杆（21）贯穿在扇形环形槽（3）靠近顶端的一侧；下支撑杆（22）贯穿在扇形环形槽（3）靠近底端的一侧；每个支撑杆（2）的两端均设置有与卡槽（4）匹配使...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭城，吕明，王永超，郭英云，
申请(专利权)人：山东科芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37