【技术实现步骤摘要】
一种抛光片超声清洗用单片竖插装置
本技术属于抛光加工
,具体涉及一种抛光片超声清洗用单片竖插装置。
技术介绍
精密石英研磨片的抛光加工工艺中,在抛光加工结束后,晶片也就是抛光片表面会附着残留的抛光液,抛光液的成份包括抛光粉、水、防锈液等。需要将其超声清洗去除。传统的清洗方式,晶片放入塑料篮筐内,塑料框再放入超声波清洗机内,晶片在框内相互重叠,重叠处由于清洗液不易进入及超声功率衰减等原因,清洗后仍存在抛光液油粉残留,不能彻底清除残留物。因此急需一种能够解决现有问题的代替传统的塑料篮筐的抛光片超声清洗用单片竖插装置。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,确保每一晶片单独插入到所述插孔内,避免了片与片之间的重叠问题,增大晶片和清洗液的接触面积,满足清洗后的晶片洁净度要求。本技术提供了如下的技术方案:一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,包括1个支撑架和2个并列设置的第一固定板,所述支撑架的两端垂直设有所述第一固定板,所述支撑架上设有多个用于晶片插入的插孔,所述支撑架上并列设有若干槽杆,所述槽杆沿长度方向等距设有若干卡槽,相邻的两个所述槽杆上的相邻 ...
【技术保护点】
1.一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,包括1个支撑架和2个并列设置的第一固定板,所述支撑架的两端垂直设有所述第一固定板,所述支撑架上设有多个用于晶片插入的插孔,所述支撑架上并列设有若干槽杆,所述槽杆沿长度方向等距设有若干卡槽,相邻的两个所述槽杆上的相邻的两个所述卡槽构成所述插孔。
【技术特征摘要】
1.一种抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,包括1个支撑架和2个并列设置的第一固定板,所述支撑架的两端垂直设有所述第一固定板,所述支撑架上设有多个用于晶片插入的插孔,所述支撑架上并列设有若干槽杆,所述槽杆沿长度方向等距设有若干卡槽,相邻的两个所述槽杆上的相邻的两个所述卡槽构成所述插孔。2.根据权利要求1所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述支撑架由多个并列的支撑底杆组成,所述支撑底杆与所述槽杆平行,所述支撑底杆位于相邻的两个所述槽杆的中间的正下方。3.根据权利要求2所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置,其特征在于,所述支撑底杆和所述槽杆均为圆柱形,所述卡槽为圆环形,一个所述卡槽沿所述槽杆周向分布。4.根据权利要求3所述的抛光片超声清洗用单片竖插装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:孟为民,
申请(专利权)人:菲特晶南京电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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