【技术实现步骤摘要】
一种能抑制沟道迁移率低下的IGBT新结构的制备方法
本专利技术涉及一种IGBT结构的制备方法,特别提供一种能抑制沟道迁移率低下的IGBT新结构的制备方法。
技术介绍
IGBT是绝缘栅双极型晶体管(IsolatedGateBipolarTransistor)的简称,它是八十年代初诞生,九十年代迅速发展起来的新型复合电力电子器件。1980年之后国际上主流的半导体功率器件由可控硅发展为更先进的绝缘栅双极晶体管(IGBT)。随着电力电子变换系统对于效率和体积提出更高的要求,碳化硅(SiC)将会是越来越合适的半导体器件。以SiC为基的IGBT器件将是实现其高功率密度的一种非常有效的手段。原有结构IGBT的沟道迁移率由于高浓度而产生了低下问题;在P型扩散层的掺杂浓度从2×1016cm-3到1×1017cm-3增大后,其沟道迁移率也会随之下降,阀值电压设定自由度比较低。
技术实现思路
为了解决上述问题,本专利技术的目的是提供了一种能抑制沟道迁移率低下,提高阀值电压设定自由度的IGBT新结构的制备方法。为达到上述目的,本专利技术的技术方案如下:一种能抑制沟道迁移率低下的IGBT新结构的制备方法包括如下步骤:步骤一、选择晶圆材料SiC作为衬底,从下往上依次生长p+型集电极层(1)、n+场截止层(2)和n-漂移层(3);步骤二、刻蚀n-漂移层(3)形成栅槽,在所述n-漂移层(3)的上表面生长掩模层(17);步骤三、制作p型基区(4)、n+发射极(5)和p+扩散层(6);步骤四、加入栅极氧化层(18);步骤五、在栅槽内加满栅极电极(19),并在栅极氧化层(18)和栅极电极(19)上 ...
【技术保护点】
1.一种能抑制沟道迁移率低下的IGBT新结构的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤一、选择晶圆材料SiC作为衬底,从下往上依次生长p+型集电极层(1)、n+场截止层(2)和n‑漂移层(3);步骤二、刻蚀n‑漂移层(3)形成栅槽,在所述n‑漂移层(3)的上表面生长掩模层(17);步骤三、制作p型基区(4)、n+发射极(5)和p+扩散层(6);步骤四、加入栅极氧化层(18);步骤五、在栅槽内加满栅极电极(19),并在栅极氧化层(18)和栅极电极(19)上方覆盖一绝缘层(20);步骤六、形成发射极的欧姆接触层(21),引出表面电极(22);步骤七、形成集电极电极层(23)。
【技术特征摘要】
1.一种能抑制沟道迁移率低下的IGBT新结构的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤一、选择晶圆材料SiC作为衬底,从下往上依次生长p+型集电极层(1)、n+场截止层(2)和n-漂移层(3);步骤二、刻蚀n-漂移层(3)形成栅槽,在所述n-漂移层(3)的上表面生长掩模层(17);步骤三、制作p型基区(4)、n+发射极(5)和p+扩散层(6);步骤四、加入栅极氧化层(18);步骤五、在栅槽...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈译,陈利,
申请(专利权)人:厦门芯一代集成电路有限公司,
类型:发明
国别省市:福建,35
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